技術(shù)特征：

技術(shù)總結(jié)
基板處理裝置具有：對(duì)保持于基板保持工具的基板進(jìn)行處理的處理室；以及將基板移載到基板保持工具的移載機(jī)，其中，移載機(jī)具備：基臺(tái)；設(shè)置在基臺(tái)上，與設(shè)置在基臺(tái)的殼體外的第一機(jī)構(gòu)部連接的第一移動(dòng)部；以及設(shè)置在第一移動(dòng)部上，與設(shè)置在第一移動(dòng)部的殼體內(nèi)的第二機(jī)構(gòu)部連接的第二移動(dòng)部，且構(gòu)成為在鉛垂方向上，第一機(jī)構(gòu)部的設(shè)置位置和第二機(jī)構(gòu)部的設(shè)置位置至少一部分重疊。

技術(shù)研發(fā)人員：小前泰彰;野上孝志;谷山智志;小竹繁
受保護(hù)的技術(shù)使用者：株式會(huì)社日立國(guó)際電氣
技術(shù)研發(fā)日：2016.03.17
技術(shù)公布日：2017.09.26