技術(shù)編號：11289578
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及基板處理裝置以及半導(dǎo)體裝置的制造方法。背景技術(shù)作為半導(dǎo)體裝置(設(shè)備)的制造工序的一工序，進(jìn)行在基板上形成預(yù)定的膜的基板處理工序。進(jìn)行基板處理工序的基板處理裝置中，使用基板移載裝置來將收納于收容容器的基板移載到基板保持工具，在處理室內(nèi)進(jìn)行保持于基板保持工具的基板的處理。作為以往的基板移載裝置，例如有專利文獻(xiàn)1記載的基板移載裝置?，F(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)專利文獻(xiàn)專利文獻(xiàn)1：日本特開2013－131529號公報發(fā)明內(nèi)容發(fā)明所要解決的課題然而，以往的基板移載裝置的結(jié)構(gòu)中，能夠使基板移動的距離是固定的，有在...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。