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具有異質(zhì)結(jié)結(jié)構(gòu)的穿隧薄膜晶體管的制作方法

文檔序號(hào):11289701閱讀:來(lái)源:國(guó)知局

技術(shù)特征:

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明提供一種包含p?n異質(zhì)結(jié)結(jié)構(gòu)的薄膜晶體管TFT。p?n異質(zhì)結(jié)結(jié)構(gòu)可包含窄帶隙材料與寬帶隙材料之間的結(jié)??蔀檠趸铩⒌?、硒化物或硫化物的所述窄帶隙材料為所述TFT的有源溝道材料,且可提供相對(duì)較高的載流子遷移率。所述異質(zhì)結(jié)結(jié)構(gòu)促進(jìn)能帶間穿隧及TFT斷開電流的抑制。在各種實(shí)施方案中,所述TFT可形成于柔性襯底上且具有低溫處理能力。

技術(shù)研發(fā)人員:野村見次;約翰·賢哲·洪
受保護(hù)的技術(shù)使用者:追蹤有限公司
技術(shù)研發(fā)日:2016.01.29
技術(shù)公布日:2017.09.26
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