技術編號：11289701
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。具有異質結結構的穿隧薄膜晶體管相關申請案的交叉參考本申請案請求2015年2月25日申請的美國申請案第14/631,667號的優(yōu)先權，所述申請案以全文引用的方式且出于所有目的并入本文中。技術領域本發(fā)明涉及薄膜晶體管，且更確切地說，涉及具有氧化物、硫化物、硒化物或氮化物溝道的薄膜晶體管。背景技術機電系統(tǒng)(EMS)包含具有電氣及機械元件、致動器、換能器、傳感器、光學組件(諸如鏡面及光學薄膜)及電子裝置的裝置。EMS裝置或元件可以多種尺度來制造，包含(但不限于)微尺度及納米尺度。舉例來說，微機電系統(tǒng)(M...
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