本發(fā)明涉及大功率激光放大裝置。

背景技術(shù)：

近年來，面向使用大型激光器的新產(chǎn)業(yè)開發(fā)而盛行基礎(chǔ)科學(xué)或材料開發(fā)、醫(yī)療應(yīng)用等的研究開發(fā)。為了獲得大功率激光而放大所輸入的種子光的激光放大裝置成為了必要。激光放大裝置具備激光介質(zhì)單元、使激發(fā)光入射到激光介質(zhì)單元內(nèi)的激發(fā)光源，通過以接觸于激光介質(zhì)單元內(nèi)的激光介質(zhì)的主表面的形式使冷卻介質(zhì)流動從而對其實行冷卻(參照專利文獻(xiàn)1)。

現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)

專利文獻(xiàn)

專利文獻(xiàn)1：日本專利申請公開2009-49439號公報

技術(shù)實現(xiàn)要素：

發(fā)明所要解決的技術(shù)問題

然而，雖然激光介質(zhì)有冷卻的必要，但是因為被放大了的激光透過在主表面上流動的冷卻介質(zhì)內(nèi)，所以激光的穩(wěn)定性和聚焦特性的質(zhì)量由于冷卻介質(zhì)的流速等而會發(fā)生劣化。

本發(fā)明就是借鑒了這樣的技術(shù)問題而做出的不懈努力之結(jié)果，其目的在于提供一種高質(zhì)量地放大激光為可能的激光放大裝置。

解決技術(shù)問題的手段

為了解決以上所述技術(shù)問題，本發(fā)明的第1激光放大裝置的特征在于：具備激光介質(zhì)單元、使激發(fā)光入射到所述激光介質(zhì)單元內(nèi)的激發(fā)光源、被配置于所述激光介質(zhì)單元周圍的冷卻介質(zhì)流路，在放大并輸出被輸入到所述激光介質(zhì)單元內(nèi)的激光的激光放大裝置中，所述激光介質(zhì)單元具備板狀第1激光介質(zhì)、板狀第2激光介質(zhì)、被配置于所述第1激光介質(zhì)與所述第2激光介質(zhì)之間的密封材料，所述第1激光介質(zhì)和所述第2激光介質(zhì)沿著這些介質(zhì)的厚度方向排列而配置，所述第1激光介質(zhì)與所述第2激光介質(zhì)之間的空間為密閉空間，并處于減壓環(huán)境下或者填充有氣體。

根據(jù)該裝置，通過使激發(fā)光入射到激光介質(zhì)，從而在激光介質(zhì)發(fā)生激發(fā)并且使作為種子光的激光入射后，被放大的激光從激光介質(zhì)被輸出。另外，在有多個激光介質(zhì)的情況下倍增率也變高。

在此，冷卻介質(zhì)流路是被設(shè)置于激光介質(zhì)單元的周圍，并且是從外側(cè)冷卻激光介質(zhì)單元。然后，第1激光介質(zhì)與第2激光介質(zhì)之間的空間為密閉空間并處于真空等減壓環(huán)境下，或者填充有氣體。因此，通過其空間內(nèi)的激光因為不會被在激光介質(zhì)的主表面上進(jìn)行流動的冷卻介質(zhì)干涉，所以被放大的激光的晃動等被抑制并且激光的穩(wěn)定性和聚焦特性等的質(zhì)量提高。

另外，在氣體被填充于上述空間內(nèi)的情況下，比固體占據(jù)的情況好的優(yōu)點在于由菲涅爾反射引起的能量損耗的減輕或能夠抑制波陣面失真的發(fā)生。

關(guān)于第2激光放大裝置，所述第1激光介質(zhì)以及所述第2激光介質(zhì)的材料的特征為：分別是陶瓷激光介質(zhì)。

作為激光介質(zhì)而使用熱導(dǎo)率低的玻璃也是可能的，但是對于以高重復(fù)頻率輸出高脈沖能量的激光來說從冷卻性能的觀點出發(fā)優(yōu)選激光介質(zhì)的熱導(dǎo)率要相對高一點。陶瓷激光介質(zhì)眾所周知其熱導(dǎo)率高于玻璃等，并且能夠以高重復(fù)頻率輸出高脈沖能量的激光。

陶瓷激光介質(zhì)例如能夠使用作為摻雜物的稀土金屬特別是含有選自nd、yb、er、ce、cr、cr:nd以及tm當(dāng)中至少1種以上的摻雜物的yag。另外，作為陶瓷激光介質(zhì)能夠使用作為摻雜物的含有上述稀土金屬的氧化釔(y2o3)。另外，也能夠使用yag(y3al5o12)、lu2o3和sc2o3等。

還有，如此透明陶瓷結(jié)晶其由現(xiàn)有的制造方法制得的激光介質(zhì)的厚度的上限值為10mm左右，根據(jù)本裝置，因為使用了多個激光介質(zhì)所以能夠提高最終被輸出的激光的放大率。

關(guān)于第3激光放大裝置，所述激光介質(zhì)單元具備被相對配置的一對凸緣(法蘭)、連接所述凸緣之間并且能夠調(diào)整所述凸緣之間的距離的3根以上支柱，所述第1激光介質(zhì)以及所述第2激光介質(zhì)的排列方向在所述支柱的長邊方向上為一致，通過調(diào)整所述凸緣之間的距離從而就能夠調(diào)整所述密封材料所承受的壓力。

因為3根以上支柱介于凸緣之間，所以凸緣的主表面位置唯一地由支柱位置來決定。在第1激光介質(zhì)與第2激光介質(zhì)之間介有用于保持密閉狀態(tài)的密封材料，但是在憑借這些介質(zhì)的對密封材料的壓力為適當(dāng)?shù)那闆r下密閉狀態(tài)被充分保持。因為凸緣之間的長度能夠被調(diào)整，所以能夠?qū)⒈皇┘佑诩す饨橘|(zhì)之間的密封材料的壓力設(shè)定在所希望的值，并且能夠充分保持密閉狀態(tài)。

第4激光放大裝置的特征在于：具備激光介質(zhì)單元、使激發(fā)光入射到所述激光介質(zhì)單元內(nèi)的激發(fā)光源、被配置于所述激光介質(zhì)單元周圍的冷卻介質(zhì)流路，在放大并輸出被輸入到所述激光介質(zhì)單元內(nèi)的激光的激光放大裝置中所述激光介質(zhì)單元具備板狀的第1激光介質(zhì)、板狀的第2激光介質(zhì)、被配置于所述第1激光介質(zhì)與所述第2激光介質(zhì)之間的密封材料，所述第1激光介質(zhì)和所述第2激光介質(zhì)沿著這些介質(zhì)的厚度方向排列而配置，所述第1激光介質(zhì)與所述第2激光介質(zhì)之間的空間為密閉空間，并且填充有重水或者氟系惰性液體。在重水或者氟系惰性液體等被填充于上述空間內(nèi)的情況下，比固體占據(jù)的情況好的優(yōu)點在于由菲涅爾反射引起的能量損耗的減輕或波陣面失真的發(fā)生能夠被抑制。

發(fā)明效果

根據(jù)本發(fā)明的激光放大裝置，能夠高質(zhì)量地放大激光。

附圖說明

圖1是激光介質(zhì)單元的正面圖。

圖2是激光介質(zhì)單元的a-a箭頭截面圖。

圖3是激光介質(zhì)單元的b-b箭頭截面圖。

圖4是激光放大裝置的正面圖。

圖5是激光放大裝置的c-c箭頭截面圖。

圖6是將輔助要素設(shè)置于密封材料(o型圈)近旁的情況下的激光介質(zhì)單元的a-a箭頭截面圖。

具體實施方式

以下是就本發(fā)明所涉及的激光放大裝置進(jìn)行詳細(xì)說明。還有，在圖面的說明過程中將相同符號標(biāo)注于相同要素，并省略重復(fù)的說明。

圖1是激光介質(zhì)單元的正面圖。還有，在該圖中xyz表示三維直角坐標(biāo)系。被放大的成為種子光的激光的行進(jìn)方向為y軸方向，將垂直于y軸的2個方向分別設(shè)定為x軸方向以及z軸方向。

本實施方式所涉及的激光放大裝置具備種子光進(jìn)行入射的激光介質(zhì)單元10。激光介質(zhì)單元10為包含多枚平板狀的激光介質(zhì)的柱狀單元。這些激光介質(zhì)薄板沿著種子光的行進(jìn)方向(y軸的正方向)被層疊并進(jìn)行排列。激發(fā)光ex從激光介質(zhì)單元10的外側(cè)被照射到激光介質(zhì)內(nèi)。多個激發(fā)光ex從多個光源向各個激光介質(zhì)的中央部照射。根據(jù)激發(fā)光ex的照射，從激光介質(zhì)的外周面向內(nèi)部入射激發(fā)光，并且激光介質(zhì)被激發(fā)，如果種子光被照射到被激發(fā)的狀態(tài)的激光介質(zhì)的話則激光被放大。例如，在使用由添加了yb(鐿)的yag構(gòu)成的激光介質(zhì)的情況下，種子光以及來自激光介質(zhì)的自然出射光的波長λ1為1030nm，激發(fā)光的波長λ2為940nm(λ1＞λ2)。激光介質(zhì)內(nèi)的yb的添加濃度適宜被設(shè)定為0.15質(zhì)量％～0.25質(zhì)量％。

圖2是圖1所表示的激光介質(zhì)單元的a-a箭頭截面圖，圖3是激光介質(zhì)單元的b-b箭頭截面圖。

激光介質(zhì)單元10具備被相對配置的一對金屬制的凸緣11、連接凸緣11之間并能夠調(diào)整凸緣11之間距離的多個支柱12。在圖1中表示了4根支柱12，但是如果支柱12的數(shù)量為3根以上的話則能夠容易固定凸緣11的主表面(xz面)的位置。即，因為平面由3點就可被決定，所以通過使3根以上的支柱介于凸緣11之間從而凸緣11的主表面位置就唯一地被支柱位置決定。

在支柱12的兩端設(shè)置螺釘部。凸緣11構(gòu)成具有開口op的圓環(huán)，在一方凸緣11上設(shè)置支柱12的螺釘部所貫通的開口(貫通孔)，在進(jìn)行相對的另一方凸緣11上設(shè)置為了固定支柱12螺釘部的螺孔，支柱12的螺釘部螺合于凸緣11的螺孔。具備螺合于貫通一方的凸緣11的支柱12的螺釘部的螺母13并且如果使螺母13旋轉(zhuǎn)的話，螺母13在y軸方向上推擠一方凸緣11，從而一對凸緣11之間的距離變短。

在一對凸緣11之間層疊配置多枚激光介質(zhì)薄板。即，平板狀的激光介質(zhì)14以圓板狀沿著y軸方向被配置多枚。在進(jìn)行鄰接的激光介質(zhì)14之間介有密封材料15。在y軸方向的兩端位置取代激光介質(zhì)14而配置由石英玻璃等構(gòu)成的窗口材料16，在激光介質(zhì)14與窗口材料16之間也介有密封材料15。密封材料15的形狀為圓環(huán)狀，其材料如果是能夠保持激光介質(zhì)14之間的空間的密閉狀態(tài)的材料的話則沒有特別的限定，能夠采用硅酮制的o型圈等。作為密封材料15還能夠使用樹脂、橡膠、玻璃、陶瓷、或者cu和al等金屬等，也可以交替重疊激光介質(zhì)14和密封材料15并在y軸方向上施加壓力從而將密封材料15壓合于激光介質(zhì)14的表面上。也可以用焊料或粘結(jié)劑來進(jìn)行粘合。

激光介質(zhì)14的材料全部是陶瓷激光介質(zhì)。作為激光介質(zhì)使用熱導(dǎo)率低的玻璃也是可能，但是對于以高重復(fù)頻率輸出高脈沖能量的激光來說從冷卻性能的觀點出發(fā)，優(yōu)選激光介質(zhì)的熱導(dǎo)率較高。陶瓷激光介質(zhì)眾所周知具有與單晶相同等的性質(zhì)，熱導(dǎo)率高于玻璃，并且能夠以高重復(fù)頻率輸出高脈沖能量的激光。

陶瓷激光介質(zhì)例如能夠使用作為摻雜物的稀土金屬特別是含有選自nd、yb、er、ce、cr、cr:nd以及tm當(dāng)中至少1種以上的摻雜物的yag。另外，作為陶瓷激光介質(zhì)能夠使用作為摻雜物的含有上述稀土金屬的氧化釔(y2o3)。另外，也能夠使用yag(y3al5o12)、lu2o3和sc2o3等。

還有，如此透明陶瓷結(jié)晶其由現(xiàn)有的制造方法制得的激光介質(zhì)的厚度的上限值為10mm左右，但是使用10mm以上的陶瓷激光介質(zhì)也是可能的。另外，在陶瓷激光介質(zhì)的厚度為1mm以上20mm以下的情況下，本發(fā)明的構(gòu)造能夠在剛性和冷卻性能以及激光的質(zhì)量上發(fā)揮出特別優(yōu)異的效果。于是，如果由本裝置的話則因為使用了多個激光介質(zhì)，所以能夠提高最終被輸出的激光的放大率。

如圖1～圖3所示，沿著垂直于激光介質(zhì)單元10的y軸的直徑方向激發(fā)光ex從多個方向被照射于激光介質(zhì)14。各個激光介質(zhì)14由激發(fā)光ex而被激發(fā)。作為種子光的激光lb沿著y軸通過一方的窗口材料16入射到垂直于激光介質(zhì)主表面(xz面)的激光介質(zhì)群內(nèi)，透過這些激光介質(zhì)14并被放大，從而從另一方的窗口材料16輸出。

還有，如果將鄰接的激光介質(zhì)14作為平板狀的第1激光介質(zhì)以及平板狀的第2激光介質(zhì)，則這些激光介質(zhì)14的排列方向與支柱12的長邊方向(y軸)相一致，通過調(diào)整凸緣11之間的距離從而就能夠調(diào)整密封材料15所承受的壓力。在第1激光介質(zhì)與第2激光介質(zhì)之間介有用于保持密閉狀態(tài)的密封材料15，但是在憑借這些激光介質(zhì)的對密封材料15的壓力為適當(dāng)?shù)那闆r下密閉狀態(tài)被充分保持。因為凸緣11之間的長度能夠被調(diào)整，所以能夠?qū)⒈皇┘佑诩す饨橘|(zhì)之間密封材料15的壓力設(shè)定在所希望的值，并且能夠充分保持在激光介質(zhì)之間的空間中的密閉狀態(tài)。

即，在第1激光介質(zhì)與第2激光介質(zhì)之間配置密封材料15，第1激光介質(zhì)和第2激光介質(zhì)沿著這些激光介質(zhì)的厚度方向排列而配置，第1激光介質(zhì)與第2激光介質(zhì)之間的空間為密閉空間，并處于減壓環(huán)境下(小于1大氣壓，包括真空)或者填充有氣體[惰性氣體(空氣、n2，co2)、稀有氣體(ar、he)、重水或者氟系惰性液體等]。還有，在氣體被填充于上述空間的情況下，比固體占據(jù)于該空間內(nèi)的情況好的優(yōu)點在于由菲涅爾反射引起的能量損耗的減輕或波陣面失真的發(fā)生能夠被抑制。還有，在重水或者氟系惰性液體等被填充于上述空間內(nèi)的情況下，比固體占據(jù)于該空間內(nèi)的情況好的優(yōu)點在于由菲涅爾反射引起的能量損耗的減輕或波陣面失真的發(fā)生能夠被抑制。作為氟系惰性液體可以使用3m日本株式會社的fluorinert^tm(氟系惰性液體)等，作為進(jìn)行填充的液體除了氟系惰性液體之外也可以使用水、折射率匹配液以及油等。

根據(jù)該裝置，通過使激發(fā)光ex入射到激光介質(zhì)14從而激光介質(zhì)14被激發(fā)，如果使作為種子光的激光lb入射，則被放大了的激光lb通過激光介質(zhì)14從窗口材料16輸出。因為有多個激光介質(zhì)14所以倍增率也變高。

在此，冷卻介質(zhì)流路f1被設(shè)置于激光介質(zhì)單元10的周圍，從外側(cè)冷卻激光介質(zhì)單元。于是，第1激光介質(zhì)與第2激光介質(zhì)之間的空間為密閉空間并且處于真空等的減壓環(huán)境下，或者填充有氣體。因此，通過該空間的激光lb因為如現(xiàn)有的那樣不會被在激光介質(zhì)14的主表面上進(jìn)行流動的冷卻介質(zhì)干涉，所以被放大的激光lb的晃動等被抑制并且激光的穩(wěn)定性和聚焦特性等的質(zhì)量提高。

另外，如圖1以及圖3所示在凸緣11上設(shè)置在y軸方向貫通其的孔11b。沒有圖示的管子連通到孔11b的外側(cè)，從孔11b供給接觸于激光介質(zhì)單元10外表面上的冷卻介質(zhì)，并且被排出。從一方的凸緣11的孔11b被導(dǎo)入的冷卻介質(zhì)一邊接觸于激光介質(zhì)14的圍繞y軸的周圍的面一邊如圖3所表示的虛線箭頭f1那樣沿著y軸方向進(jìn)行流動，并從另一方凸緣11的孔11b排出。

還有，冷卻介質(zhì)流路f1被形成于激光介質(zhì)單元10與包圍其的筒體之間。如此筒體從激光介質(zhì)單元10來看既可以被設(shè)置于激發(fā)光源的外側(cè)(圖5的筒體24)，除此之外也可以被設(shè)置于激光介質(zhì)單元10與激發(fā)光源之間(圖5的透明筒體30)。在將為了劃分出冷卻介質(zhì)流路f1的筒體配置于激光介質(zhì)單元10與激發(fā)光源之間的情況下(圖5的透明筒體30)，透明筒體30是由透過激發(fā)光的透明材料例如石英玻璃構(gòu)成。

圖4是激光放大裝置的正面圖，圖5是激光放大裝置的c-c箭頭截面圖。

激光放大裝置具備所述激光介質(zhì)單元10、使激發(fā)光入射到激光介質(zhì)單元10內(nèi)的多個激發(fā)光源21、被配置于激光介質(zhì)單元10周圍的冷卻介質(zhì)流路f1(參照圖5)。

激光放大裝置放大從半導(dǎo)體激光元件等的種子光源被入射到激光介質(zhì)單元10內(nèi)的激光lb并進(jìn)行輸出。在激光介質(zhì)單元10的周圍對應(yīng)于必要配置以上所述的透明筒體30，并構(gòu)成冷卻介質(zhì)流路。從激發(fā)光源21輸出以上所述的激發(fā)光。激發(fā)光源21的數(shù)量在附圖中表示有12個，但是這個數(shù)量既可以12個以上也可以12個以下。

激發(fā)光源21被固定于設(shè)置于激光介質(zhì)單元10外側(cè)的一對大致圓環(huán)狀的金屬制的支撐構(gòu)件22。還有，激發(fā)光源21的電極部與支撐構(gòu)件22被絕緣。支撐構(gòu)件22具有凸緣狀的唇部，在唇部上固定有圓環(huán)狀的絕緣體23。在絕緣體23上固定有多個端子25，電力從端子25經(jīng)由配線w被提供給激發(fā)光源21。多個激發(fā)光源21既可以被串聯(lián)連接又可以被并聯(lián)連接。支撐構(gòu)件22具有在y軸方向上貫通其的孔22b。在一方的支撐構(gòu)件22的孔22b中連通沒有圖示的管子，冷卻介質(zhì)被導(dǎo)入到第2冷卻介質(zhì)流路f2內(nèi)，在另一方支撐構(gòu)件22的孔22b中也連通沒有圖示的管子，并排出冷卻介質(zhì)。在激發(fā)光源21與框體24之間也可以以來自激發(fā)光源21的激發(fā)光效率良好地被傳達(dá)到激光介質(zhì)單元的形式設(shè)置反射材料[反光片(reflector)]rf。

具有圓形開口的支撐構(gòu)件22的內(nèi)側(cè)的圓筒面被固定于激光介質(zhì)單元10的凸緣11的外周面。一對支撐構(gòu)件22被筒體24連接，在筒體24的內(nèi)面與激發(fā)光源21之間形成有第2冷卻介質(zhì)流路f2。還有，具有圓形開口的支撐構(gòu)件22的底面被固定于支撐臺26上。

還有，圖2所表示的密封材料15的結(jié)構(gòu)并不限定于以上所述的結(jié)構(gòu)。

圖6是將輔助要素設(shè)置于密封材料(o型圈)近旁的情況下的激光介質(zhì)單元的a-a箭頭截面圖。在密封材料15的直徑方向上輔助要素15a被配置于兩端，其作用是輔助憑借密封材料15的密封。作為輔助要素15a除了樹脂等粘結(jié)材料之外能夠使用剛性高于硅酮制的o型圈的墊圈。如此墊圈能夠采用以同心圓狀被配置于y軸周圍的2個圓環(huán)狀墊圈，在圓環(huán)狀墊圈之間能夠配置作為密封材料15的o型圈。作為墊圈材料除了cu和al等金屬之外使用玻璃材料和陶瓷也是可能的。

試制以上所述的激光介質(zhì)單元。

在該裝置中，由nd；yag構(gòu)成的各個激光介質(zhì)的直徑為100mm；厚度為10mm；數(shù)量為10枚；在激光介質(zhì)之間的密閉空間內(nèi)填充重水。作為種子光是使用波長為1064nm的激光，作為激發(fā)光源是使用12支閃光燈。在該情況下，通過層疊陶瓷激光介質(zhì)從而如大型激光棒那樣行使其功能，因為是被密閉的一體結(jié)構(gòu)并且因為冷卻介質(zhì)沒有橫穿過激光的傳輸路徑，所以能夠抑制由冷卻介質(zhì)引起的激光的特性劣化。支柱12的直徑為2mm。另外，全體尺寸為30cm左右，雖然是非常小型的但是能夠獲得50焦耳以上的激光輸出。

還有，在上述窗口材料的主表面(xz面)的光入射面上也可以設(shè)置相對于種子光的反射防止膜。由此，種子光能夠容易入射到前段的窗口材料，并且能夠從后段的窗口材料容易地出射。也可以對這些主面實行反射防止膜以外的反射防止處理。同樣，在激光介質(zhì)的光入射面上也可以設(shè)置相對于種子光的反射防止膜。也可以對這些主面實行反射防止膜以外的反射防止處理。反射防止膜或者反射防止處理不僅僅是各個光透過要素的光入射面，也可以被設(shè)于光出射面。作為反射防止膜例如能夠使用多層電介質(zhì)膜。作為多層電解質(zhì)膜眾所周知有氧化鈦與氧化硅的層疊物。也能夠適用激光介質(zhì)和折射率同等的折射率匹配液。還有，在稀有氣體被封入到激光介質(zhì)之間的密閉空間內(nèi)的情況下，能夠抑制由稀有氣體引起的激光介質(zhì)的劣化。

另外，因為抑制了由自然出射光引起的寄生振蕩，所以也可以用覆層(clad)材料來包圍以上所述的激光介質(zhì)的周圍。作為吸收自然出射光(1064nm)的覆層材料有添加了釤(samarium)的材料、添加了鉻的材料、添加了銅的材料等。具體地來說有添加了釤的yag、添加了釤的玻璃、添加了鉻的yag、添加了鉻的玻璃、添加了銅的yag、添加了銅的玻璃等。為了將這些覆層材料固定于激光介質(zhì)而要實行粘結(jié)或者接合。在粘結(jié)的情況下，粘結(jié)劑介于這些覆層材料之間。在使用粘結(jié)劑的情況下，能夠使用樹脂制折射率匹配粘結(jié)劑和玻璃制折射率匹配粘結(jié)劑等粘結(jié)劑。在不使用粘結(jié)劑的情況下能夠使用熱擴散接合、光學(xué)接觸(opticalcontact)、離子濺射接合等接合，在激光介質(zhì)元件的外表面以及覆層材料是由陶瓷構(gòu)成的情況下是使用陶瓷燒結(jié)接合，從而就能夠固定這些覆層材料。還有，相對于激發(fā)光(808nm)的反射防止膜的材料和粘結(jié)方法也與相對于種子光或者自然出射光的反射防止膜的材料和粘結(jié)方法相同。

另外，激光介質(zhì)也可以以進(jìn)行鄰接并相對的主表面彼此不成為平行的形式主表面從相對于y軸為垂直的面進(jìn)行傾斜。由此，就能夠減少起因于由主表面產(chǎn)生的不要的反射的寄生振蕩。即，各個激光介質(zhì)如果是板狀的則沒有必要是平行平板，且表面多少可以有點傾斜。另外，作為以上所述的冷卻介質(zhì)能夠使用液體或者氣體。作為液體能夠使用水，作為氣體能夠使用氦氣等，如果是具有冷卻性能的物質(zhì)的話則不限定于所述的這些。

符號說明

14.激光介質(zhì)

12.支柱

15.密封材料

11.凸緣