技術總結(jié)
本實用新型屬于微電子加工設備技術領域，具體涉及一種DBC生產(chǎn)用銅片氧化治具。本氧化治具包括形成有支撐平面的呈框架結(jié)構的支撐框，所述支撐框的內(nèi)沿尺寸小于待氧化銅片的外沿尺寸；所述支撐框的中部設置有支撐梁；所述支撐框的左右兩側(cè)分別設置有將所述支撐框抬高的支撐立板，所述支撐立板的底端沿邊緣向外彎折形成隔絕平板；所述支撐框的前后兩側(cè)分別設置有擋板，所述擋板的底端位置高于所述支撐立板的底端位置。本氧化治具能夠使銅片表面均勻氧化，去除氧化時的邊緣效應，并且能夠避免銅片高溫變軟坍塌的變形問題。

技術研發(fā)人員：占湘湘;岑福星;林曉光;趙建光
受保護的技術使用者：南京中江新材料科技有限公司
文檔號碼：201621478279
技術研發(fā)日：2016.12.30
技術公布日：2017.07.18