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成像像素陣列和處理器系統(tǒng)的制作方法

文檔序號:12803291閱讀:來源:國知局

技術(shù)特征:

1.一種成像像素陣列,其特征在于包括:

第一襯底層;

第二襯底層;

在所述第一襯底層中形成的p型光電二極管;

源極跟隨器晶體管,其中所述源極跟隨器晶體管是p溝道金屬氧化物半導(dǎo)體場效應(yīng)晶體管;以及

互連層,所述互連層將所述第一襯底層耦接到所述第二襯底層。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的成像像素陣列,其特征在于還包括:

在所述第一襯底層中形成的轉(zhuǎn)移晶體管。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的成像像素陣列,其特征在于還包括:

在所述第二襯底層中形成的重置晶體管,其中所述重置晶體管是p溝道金屬氧化物半導(dǎo)體場效應(yīng)晶體管。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的成像像素陣列,其特征在于還包括:

在所述第二襯底層中形成的行選擇晶體管,其中所述行選擇晶體管是p溝道金屬氧化物半導(dǎo)體場效應(yīng)晶體管。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的成像像素陣列,其特征在于所述互連層包括金屬。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的成像像素陣列,其特征在于還包括:

在所述第一襯底層中形成的浮動(dòng)擴(kuò)散區(qū),其中所述浮動(dòng)擴(kuò)散區(qū)包括輕摻雜p型浮動(dòng)擴(kuò)散區(qū)。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的成像像素陣列,其特征在于還包括:

在所述第二襯底層中形成的額外的浮動(dòng)擴(kuò)散區(qū),其中所述額外的浮動(dòng)擴(kuò)散區(qū)包括輕摻雜p型浮動(dòng)擴(kuò)散區(qū)。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的成像像素陣列,其特征在于所述互連層插置在所述浮動(dòng)擴(kuò)散區(qū)和所述額外的浮動(dòng)擴(kuò)散區(qū)之間。

9.根據(jù)權(quán)利要求6所述的成像像素陣列,其特征在于還包括:

第三襯底層,其中所述第三襯底層包括選自由以下項(xiàng)構(gòu)成的組中的一個(gè)或多個(gè)電路:時(shí)鐘生成電路、像素尋址電路、信號處理電路、模擬數(shù)字轉(zhuǎn)換器電路、數(shù)字圖像處理電路和系統(tǒng)接口電路。

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的成像像素陣列,其特征在于還包括:

額外的互連層,所述額外的互連層將所述第二襯底層耦接到所述第三襯底層。

11.根據(jù)權(quán)利要求1所述的成像像素陣列,其特征在于還包括:

在所述第一襯底層的背側(cè)上形成的鈍化層。

12.根據(jù)權(quán)利要求1所述的成像像素陣列,其特征在于還包括:

與所述p型光電二極管相鄰的n型摻雜釘扎層。

13.根據(jù)權(quán)利要求1所述的成像像素陣列,其特征在于所述源極跟隨器晶體管形成于所述第二襯底層中。

14.一種處理器系統(tǒng),其特征在于包括:

中央處理單元;

存儲器;

輸入-輸出電路;以及

成像設(shè)備,其中所述成像設(shè)備包括具有圖像像素陣列的圖像傳感器,并且其中所述圖像傳感器包括:

上部晶圓,其中所述上部晶圓包括p型釘扎光電二極管陣列;

中部晶圓;

具有至少一個(gè)處理電路的下部晶圓;

源極跟隨器晶體管,所述源極跟隨器晶體管是p溝道金屬氧化物半導(dǎo)體場效應(yīng)晶體管;

第一互連層,所述第一互連層將所述上部晶圓耦接至所述中部晶圓;以及

第二互連層,所述第二互連層將所述中部晶圓耦接至所述上部晶圓。

15.根據(jù)權(quán)利要求14所述的處理器系統(tǒng),其特征在于所述中部晶圓具有耦接至所述第二互連層的硅通孔。

16.根據(jù)權(quán)利要求14所述的處理器系統(tǒng),其特征在于所述中部晶圓還包括重置晶體管和行選擇晶體管,其中所述重置晶體管和所述行選擇晶體管兩者都是p溝道金屬氧化物半導(dǎo)體場效應(yīng)晶體管。

17.根據(jù)權(quán)利要求16所述的處理器系統(tǒng),其特征在于所述圖像傳感器還包括:

在所述上部晶圓的背側(cè)上形成的鈍化層。

18.根據(jù)權(quán)利要求17所述的處理器系統(tǒng),其特征在于所述鈍化層包括所述上部晶圓中的n型注入物。

19.根據(jù)權(quán)利要求17所述的處理器系統(tǒng),其特征在于所述鈍化層包括帶正電的薄膜。

20.根據(jù)權(quán)利要求14所述的處理器系統(tǒng),其特征在于所述源極跟隨器晶體管形成于所述中部晶圓中。

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