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一種用于低壓擴散的密封裝置的制作方法

文檔序號:12736511閱讀:來源:國知局

技術(shù)特征:

1.一種用于低壓擴散的密封裝置,包括石英管(1)、石英爐門(5)及密封圈(3),其特征在于:所述的石英管管口位置外層設有一圈隔熱材料層(2);所述的石英爐門(5)由兩部分構(gòu)成,即與石英管(1)管徑相匹配的內(nèi)圓柱(4),以及爐蓋(6);所述的爐門與石英管閉合時,密封圈與隔熱層相接觸,不直接與高溫爐管相接觸。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于低壓擴散的密封裝置,其特征在于:所述的隔熱層的厚度為5-10cm,寬度為10-50cm,并高于石英管口5-10cm。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于低壓擴散的密封裝置,其特征在于:所述的爐蓋直徑大于隔熱層直徑5-20cm。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于低壓擴散的密封裝置,其特征在于:所述的內(nèi)圓柱4由隔熱材料組成,直徑比石英爐管內(nèi)徑小1-5cm。

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