本實(shí)用新型涉及晶硅太陽(yáng)能制造領(lǐng)域，具體地涉及一種用于低壓擴(kuò)散的密封裝置。

背景技術(shù)：

目前，產(chǎn)業(yè)化生產(chǎn)的晶硅太陽(yáng)能電池片的制備工藝流程一般情況下依次為：清洗制絨、擴(kuò)散制結(jié)、刻蝕、PECVD鍍膜、絲網(wǎng)印刷、燒結(jié)和分類檢測(cè)。其中，擴(kuò)散制結(jié)是最關(guān)鍵的工序之一。擴(kuò)散的不均勻性會(huì)直接影響電池片電性能參數(shù)的正態(tài)分布，導(dǎo)致低效電池片比例升高，特別是高方阻的電池片，擴(kuò)散不均勻性對(duì)電池片性能的影響將更加明顯。擴(kuò)散后方阻均勻性好將有利于后續(xù)工藝的相互匹配，使得電池片的整體電性能更加穩(wěn)定。而通過實(shí)驗(yàn)表明，擴(kuò)散爐內(nèi)的壓強(qiáng)越低，爐管內(nèi)湍流現(xiàn)象產(chǎn)生減少，管內(nèi)氣氛均勻性增加，有利于提高擴(kuò)散方阻的均勻性。而傳統(tǒng)的常壓擴(kuò)散對(duì)管內(nèi)壓強(qiáng)沒有要求，密封性較差，而低壓擴(kuò)散需要真空泵持續(xù)抽真空，所以對(duì)密封性的要求大大提升，如果密封不良，一方面無法形成低壓擴(kuò)散所需要的低壓環(huán)境；另一方面，在外部大氣壓力作用下，反應(yīng)管外氣體、雜質(zhì)等可進(jìn)入反應(yīng)管中，影響PN 結(jié)制備的質(zhì)量。又由于擴(kuò)散的特殊性，即高溫低壓，所以采用傳統(tǒng)的加密封圈實(shí)現(xiàn)密封時(shí)，密封圈直接跟爐管接觸很容易因溫度過高而老化甚至損壞，導(dǎo)致密封失效。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本實(shí)用新型的目的是提供一種用于低壓擴(kuò)散的密封裝置，達(dá)到低壓高溫環(huán)境下可以有效的實(shí)現(xiàn)密封效果。

本實(shí)用新型采用的技術(shù)解決方案是：提供一種用于低壓擴(kuò)散的密封裝置，包括石英管（1）、石英爐門（5）及密封圈（3）；所述的石英管管口位置外層設(shè)有一圈隔熱材料層（2）；所述的隔熱層的厚度為5-10cm，寬度為10-50cm，并高于石英管口5-10cm；所述石英爐門由兩部分構(gòu)成，即比石英管管徑小1-5cm的內(nèi)圓柱（4）以及比隔熱層2大5-20cm的爐蓋（6）；所述爐門與石英管閉合時(shí)，隔熱層與爐蓋相連處有密封圈；所述的內(nèi)圓柱（4）為隔熱材料。

本實(shí)用新型的有益效果是使密封圈不與高溫爐管直接接觸，而與隔熱材料層相接觸，并且通過內(nèi)圓柱隔熱層隔離爐門口的熱量，使?fàn)t口位置溫度降低，從而密封圈可以在正常的溫度范圍內(nèi)使用，減少了密封圈的老化和損壞，同時(shí)也可以達(dá)到了良好的密封效果。

附圖說明

圖1本實(shí)用新型中密封裝置的結(jié)構(gòu)示意圖

圖中：1表示石英管；2表示隔熱材料層；3表示密封圈；4表示內(nèi)圓柱；5表示石英爐門；6表示爐蓋。

具體實(shí)施方式

為了使本實(shí)用新型的目的、技術(shù)方案及優(yōu)點(diǎn)更加清楚明白，以下結(jié)合附圖及實(shí)施例，對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)行進(jìn)一步詳細(xì)說明。

在本實(shí)施例中，一種用于低壓擴(kuò)散的密封裝置包括：石英管（1）、石英爐門（5）及密封圈（3）；所述的石英管（1）管口位置外層焊接一圈隔熱材料；所述的隔熱層（2）的厚度為10cm，寬度為30cm，并超過石英管口10cm；所述石英爐門（3）由兩部分構(gòu)成，即與石英管管徑相匹配的內(nèi)圓柱（4），以及比隔熱層略大的金屬爐蓋（5），兩部分焊接在一起；所述爐門與石英管閉合時(shí)，隔熱層與爐蓋相連處有密封圈（6）；所述的內(nèi)圓柱（4）為隔熱材料。

最后所應(yīng)說明的是，以上實(shí)施例僅用于說明本實(shí)用新型的技術(shù)方案而非限制，本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員應(yīng)當(dāng)理解，可以對(duì)本實(shí)用新型的技術(shù)方案進(jìn)行修改或者等同替換，而不脫離本實(shí)用新型技術(shù)方案的精神和范圍，其均應(yīng)涵蓋在本實(shí)用新型的權(quán)利要求范圍中。