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一種基于石墨烯量子點(diǎn)的THz單光子探測(cè)器的制作方法

文檔序號(hào):11686503閱讀:來源:國(guó)知局

技術(shù)特征:

1.一種基于石墨烯量子點(diǎn)的THz單光子探測(cè)器,其特征在于:采用石墨烯單量子點(diǎn)或者串聯(lián)石墨烯雙量子點(diǎn)與納米條帶石墨烯靜電計(jì)相耦合的基本結(jié)構(gòu);所述的基本結(jié)構(gòu)是:以硅基片、源極、漏極、側(cè)柵極、背柵極、庫(kù)侖島、靜電計(jì)和保護(hù)層為基本組成單元,將源極、漏極、側(cè)柵極、庫(kù)侖島和靜電計(jì)集成設(shè)置在硅基片表面形成的二氧化硅襯底上,將背柵極設(shè)置在硅基片的硅襯底上,其中,石墨烯單量子點(diǎn)或者串聯(lián)石墨烯雙量子點(diǎn)作為THz單光子探測(cè)器的庫(kù)侖島,庫(kù)侖島位于源極、漏極和側(cè)柵極之間,庫(kù)侖島附近集成一個(gè)石墨烯納米條帶作為石墨烯靜電計(jì);庫(kù)侖島與源極和漏極以隧道結(jié)的形式耦合,庫(kù)侖島與側(cè)柵極、背柵極和石墨烯靜電計(jì)以電容的形式耦合。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于石墨烯量子點(diǎn)的THz單光子探測(cè)器,其特征在于:所述二氧化硅襯底作為源極、漏極、側(cè)柵極、庫(kù)侖島、靜電計(jì)和硅基底的絕緣層,厚度為300±5 nm,所述硅基片是重?fù)诫s的,背柵極通過硅基片、二氧化硅襯底與量子點(diǎn)電容耦合。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于石墨烯量子點(diǎn)的THz單光子探測(cè)器,其特征在于:所述源極和漏極位于二氧化硅襯底上,中間是串聯(lián)的石墨烯雙量子點(diǎn),每個(gè)量子點(diǎn)以及兩個(gè)量子點(diǎn)之間,都有對(duì)應(yīng)的側(cè)柵單獨(dú)調(diào)控。

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