技術(shù)總結(jié)
本實(shí)用新型公開了一種離子注入機(jī)的石墨電極棒，用以解決現(xiàn)有離子注入機(jī)的石墨電極棒易發(fā)生彎曲變形而導(dǎo)致離子注入機(jī)產(chǎn)生的離子束不均勻的問題。包括：外層石墨電極棒以及內(nèi)層支撐棒；其中：所述外層石墨電極棒中沿長度方向上設(shè)有中空通道；所述內(nèi)層支撐棒設(shè)置在所述外層石墨電極棒的中空通道內(nèi)；所述內(nèi)層支撐棒的硬度大于所述外層石墨電極棒的硬度。

技術(shù)研發(fā)人員：徐軻;胡江平
受保護(hù)的技術(shù)使用者：昆山工研院新型平板顯示技術(shù)中心有限公司
文檔號(hào)碼：201621092556
技術(shù)研發(fā)日：2016.09.29
技術(shù)公布日：2017.03.22