1.一種離子注入機的石墨電極棒，其特征在于，包括：外層石墨電極棒以及內(nèi)層支撐棒；其中：
所述外層石墨電極棒中沿長度方向上設(shè)有中空通道；
所述內(nèi)層支撐棒設(shè)置在所述外層石墨電極棒的中空通道內(nèi)；
所述內(nèi)層支撐棒的硬度大于所述外層石墨電極棒的硬度。
2.如權(quán)利要求1所述的離子注入機的石墨電極棒，其特征在于，所述中空通道貫穿所述外層石墨電極棒。
3.如權(quán)利要求1所述的離子注入機的石墨電極棒，其特征在于，所述內(nèi)層支撐棒為內(nèi)層金屬支撐棒。
4.如權(quán)利要求1所述的離子注入機的石墨電極棒，其特征在于，所述內(nèi)層支撐棒的形狀為棱柱狀。
5.如權(quán)利要求1所述的離子注入機的石墨電極棒，其特征在于，所述內(nèi)層支撐棒的橫截面形狀與所述中空通道橫截面的形狀相匹配。
6.如權(quán)利要求5所述的離子注入機的石墨電極棒，其特征在于，所述內(nèi)層支撐棒橫截面的面積尺寸小于所述中空通道橫截面的面積尺寸。
7.如權(quán)利要求6所述的離子注入機的石墨電極棒，其特征在于，所述內(nèi)層支撐棒穿過所述中空通道后，所述內(nèi)層支撐棒的外壁與所述中空通道的內(nèi)部緊密貼合。
8.如權(quán)利要求1所述的離子注入機的石墨電極棒，其特征在于，所述內(nèi)層支撐棒的長度大于所述外層石墨電極棒的長度。
9.如權(quán)利要求8所述的離子注入機的石墨電極棒，其特征在于，所述內(nèi)層支撐棒超出所述外層石墨電極棒的部分作為所述離子注入機的石墨電極棒的固定端。
10.如權(quán)利要求9所述的離子注入機的石墨電極棒，其特征在于，所述離子注入機的石墨電極棒的固定端與傳動裝置連接，所述傳動裝置用于帶動所述離子注入機的石墨電極棒的固定端轉(zhuǎn)動，以使得所述離子注入機的石墨電極棒隨所述固定端的轉(zhuǎn)動而轉(zhuǎn)動。