本實用新型涉及半導(dǎo)體制造加工領(lǐng)域，尤其涉及一種去除框架上污染物的等離子清洗機及其推片機構(gòu)。

背景技術(shù)：

引線框架作為集成電路的芯片載體，是一種借助于鍵合材料(金絲、鋁絲、銅絲)實現(xiàn)芯片內(nèi)部電路引出端與外引線的電氣連接，形成電氣回路的關(guān)鍵結(jié)構(gòu)件，它起到了和外部導(dǎo)線連接的橋梁作用，絕大部分的半導(dǎo)體集成塊中都需要使用引線框架，是電子信息產(chǎn)業(yè)中重要的基礎(chǔ)材料。在半導(dǎo)體制造加工過程中會在引線框架上遺留溢膠、氧化物等污染物，影響焊線效果，因此需要等離子清洗技術(shù)清洗該污染物。目前對引線框架進行清洗時，缺少對單件引線框架的自動化整體清洗設(shè)備，自動化程度低容易造成二次污染并且增加生產(chǎn)成本，并且各部件之間移送效率低，嚴(yán)重影響生產(chǎn)效率。傳統(tǒng)的推動引線框架的推動部件不能察覺引線框架受到的阻力，容易造成引線框架折斷，產(chǎn)生次品。

因此，亟需一種自動化程度高、能高效清洗單件引線框架的等離子清洗機和一種能提高良品率的推片機構(gòu)。

技術(shù)實現(xiàn)要素：

本實用新型所要解決的技術(shù)問題一是，提供一種能夠提高良品率的推片機構(gòu)。為解決上述技術(shù)問題一，本實用新型提供一種推片機構(gòu)，包括：推片組件；用于驅(qū)動所述推片組件的推片傳送組件；連接到所述推片組件的控制組件；所述推片組件包括：推動件；連接到所述推動件的彈性組件；連接到所述彈性組件的傳感器；所述控制組件連接到所述傳感器，用于在所述推動件受到阻力時輸出報警信號使所述推動件停止推動。

作為一種優(yōu)選方案，所述推片機構(gòu)還包括傳送軌道，所述推片組件可移動地安裝到所述傳送軌道。

作為一種優(yōu)選方案，所述推片機構(gòu)為第一推片機構(gòu)，所述推動件為第一推動件，包括第一推動件安裝部和第一推動部，所述第一推動部位于所述第一推動件的第一端，所述第一推動件安裝部位于所述第一推動件的第二端；所述推片組件為第一推片組件，還包括相對位置固定的第一擋板和第二擋板，用于限制所述第一推動件的移動距離，所述第一推動件安裝部位于所述第一擋板和第二擋板之間，所述第一推動部穿過所述第一推動件，所述彈性組件為第一彈性組件，安裝到所述第一推動件和第二擋板之間。

作為一種優(yōu)選方案，所述第一推動部的自由端具有凹槽，用于收容物料的邊緣使推動物料更穩(wěn)定。

作為一種優(yōu)選方案，所述推片機構(gòu)為第二推片機構(gòu)，所述推動件為第二推動件，包括第二推動件安裝部、第二推動部和第三推動部，所述第二推動部位于所述第二推動件安裝部的第一端，所述第三推動部位于所述第二推動件安裝部的第二端；所述推片組件為第二推片組件，還包括第三擋板和第四擋板，用于限制所述第二推動件的移動距離，所述彈性組件為第二彈性組件，所述第二彈性組件包括安裝到所述第三擋板和所述第二推動件安裝部之間的第一彈簧、安裝到所述第二推動件安裝部和所述第三擋板之間的第二彈簧。

作為一種優(yōu)選方案，所述第二推動部的自由端、第三推動部的自由端兩者至少之一具有凹槽，用于收容物料的邊緣使推動物料更穩(wěn)定。

作為一種優(yōu)選方案，所述推片傳送組件包括驅(qū)動電機、連接到所述驅(qū)動電機的輸出軸、連接到所述輸出軸的第一驅(qū)動輪、與所述第一驅(qū)動輪連接的第二驅(qū)動輪、連接所述第一驅(qū)動輪和所述第二驅(qū)動輪的驅(qū)動傳送帶，所述推片組件直接或間接地連接到所述驅(qū)動傳送帶。

作為一種優(yōu)選方案，包括若干并排的推片組件，所述若干推片組件連接到一塊第一連接板使之能夠同步移動，所述第一連接板通過滑動座固定連接到所述驅(qū)動傳送帶，所述第一連接板通過滑動座滑動連接到所述傳送軌道。

作為一種優(yōu)選方案，所述滑動座與所述第一連接板之間通過第二連接板連接，所述第一連接板與所述第二連接板之間安裝有氣缸，用于使所述第一連接板帶動所述推片組件沿z軸升降。

本實用新型所要解決的技術(shù)問題二是，提供一種自動化程度高、能高效清洗單件引線框架的等離子清洗機。為解決上述技術(shù)問題二，本實用新型提供一種等離子清洗機，包括用于放置裝有引線框架的料盒的料盒放置座、下端開口的反應(yīng)倉、安裝到所述料盒放置座和所述反應(yīng)倉之間的載物臺移送組件、安裝到所述料盒放置座和所述載物臺移送組件之間的傳送帶輸送組件，所述傳送帶輸送組件用于將物料從所述料盒放置座移送至所述載物臺移送組件，所述載物臺移送組件用于將所述引線框架從所述料盒放置座移送至所述反應(yīng)倉，所述等離子清洗機還包括如上任意一項所述的推片機構(gòu)，用于物料在所述料盒放置座、載物臺移送組件、反應(yīng)倉三者之間的相互移送。

實施本實用新型取得的技術(shù)效果如下：通過推片傳送組件驅(qū)動推片組件移動，推片組件包括推動件、彈性組件、傳感器，推動件推動時受到阻力時傳感器輸出報警信號使控制組件控制推動件停止推動，能夠防止引線框架卡住時扔受到推力而折斷，從而提高良品率。傳送軌道使推片組件能夠沿固定方向移動，提高推動的準(zhǔn)確率，從而提高生產(chǎn)效率。第一推片機構(gòu)包括第一推片組件，第一推片組件包括第一推動件，第一推動件的第一推動件安裝部、第一推動部與第一擋板、第二擋板以及彈性組件相互配合，使第一推動件安裝部能夠在第一擋板和第二擋板之間移動，限制第一推動件的移動距離，此結(jié)構(gòu)簡單易行且占用體積小，從而能夠縮小機器的占地面積。第一推動部的自由端具有凹槽，使推動物料更穩(wěn)定。第二推片機構(gòu)包括第二推片組件，第二推片組件包括第二推動件，第二推動件的第二推動件安裝部、第二推動部、第三推動部與第三擋板、第四擋板以及彈性組件的第一彈簧、第二彈簧相互配合，使第二推動件安裝部能夠在第三擋板和第四擋板之間移動，限制第二推動件的移動距離，此結(jié)構(gòu)簡單易行且穩(wěn)定可靠，從而能夠提高生產(chǎn)效率。第二推動部的自由端、第三推動部的自由端兩者至少之一具有凹槽，用于收容物料的邊緣使推動物料更穩(wěn)定。推片組件包括驅(qū)動電機、輸出軸、第一驅(qū)動輪、第二驅(qū)動輪、驅(qū)動傳送帶，相互配合以實現(xiàn)動力輸出。推片機構(gòu)包括若干并排的推片組件，通過第一連接板、滑動座滑動連接到傳送軌道，使并排的若干推片組件能夠同步移動，提高生產(chǎn)效率。滑動座與第一連接板之間通過第二連接板連接，第一連接板與第二連接板之間安裝有氣缸，使推片組件能夠沿z軸升降從而推動任意高度的物料和/或避開載物臺上的物料。本實用新型提供的等離子清洗機包括料盒的料盒放置座、下端開口的反應(yīng)倉、安裝到所述料盒放置座和所述反應(yīng)倉之間的載物臺移送組件、安裝到所述料盒放置座和所述載物臺移送組件之間的傳送帶輸送組件以及上述的推片機構(gòu)，各部分之間相互配合能夠?qū)崿F(xiàn)單片引線框架清洗的自動化，提高生產(chǎn)效率。

下面將結(jié)合附圖及實施例對本實用新型作進一步說明。

【附圖說明】

圖1所示為本實用新型提供的等離子清洗機的立體結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2為圖1所示等離子清洗機去掉封閉外殼后的立體結(jié)構(gòu)示意圖；

圖3為圖2所示等離子清洗機去掉封閉外殼后的俯視圖；

圖4為圖2所示等離子清洗機去掉封閉外殼后的側(cè)視圖；

圖5為圖2所示載物臺移送組件的立體結(jié)構(gòu)示意圖；

圖6為圖5所示載物臺移送組件的俯視圖；

圖7為圖2所示第一推片機構(gòu)的立體結(jié)構(gòu)示意圖；

圖8為圖7所示第一推片組件的立體結(jié)構(gòu)示意圖；

圖9為圖8所示第一推片組件的仰視圖；

圖10為圖9所示第一推片組件沿A-A方向的剖視圖；

圖11為圖7所示第一推片機構(gòu)的主視圖；

圖12為圖1所示第二推片機構(gòu)的內(nèi)部結(jié)構(gòu)示意圖；

圖13為圖12所示第二推片組件的側(cè)視圖；

圖14為圖2所示傳送帶輸送組件的立體結(jié)構(gòu)示意圖。

【具體實施方式】

參考圖1-圖4，本實用新型一實施例提供一種等離子清洗機，包括：料盒放置座110、第一推片機構(gòu)210、第二推片機構(gòu)250、載物臺移送組件310、傳送帶輸送組件410、下端開口的反應(yīng)倉510。還包括封閉外殼610，用于為上述部件提供清潔的環(huán)境，防止對引線框架造成污染。

料盒放置座110用于放置裝有引線框架的料盒112，本實施例中料盒放置座110放置有四個料盒112，應(yīng)當(dāng)注意的是，料盒112的數(shù)量不因為本實施例的描述而受到限制。料盒為兩相對端開口的盒體，裝有若干層引線框架，兩端的開口使引線框架能夠方便地被推出或推入。料盒放置座110安裝有第三升降裝置(圖中未顯示)，用于控制所述料盒放置座110沿z軸升降，使料盒112中的各層引線框架能夠被推出或推入。

參考圖5、圖6，載物臺移送組件310用于接收從料盒放置座110離開的引線框架，載物臺移送組件310包括可沿x軸和z軸方向移動的第一載物臺320、可沿x軸和z軸方向移動的第二載物臺330、閉合的同步傳送帶340以及同步驅(qū)動件350。第一載物臺320或第二載物臺330沿x軸移動至反應(yīng)倉510下方時，沿z軸向上移動與反應(yīng)倉510密封形成密封腔體，用于使引線框架在其中完成清洗過程。

當(dāng)?shù)谝惠d物臺320密封反應(yīng)倉510的開口端時，第二載物臺330位于第一推片機構(gòu)210和第一載物臺320之間，傳動帶輸送單元410位于第一推片機構(gòu)210和第二載物臺330之間，用于將從料盒推出的引線框架傳送至第二載物臺330。第一載物臺320和第二載物臺330用于密封反應(yīng)倉510的表面均設(shè)有密封圈339。

當(dāng)?shù)诙d物臺330密封反應(yīng)倉510的開口端時，第一載物臺320位于第一推片機構(gòu)210和第二載物臺330之間，傳動帶輸送單元410位于第一推片機構(gòu)210和第一載物臺320之間，用于將從料盒推出的引線框架傳送至第一載物臺320。

第一載物臺320和第二載物臺330通過一條閉合的同步傳送帶340實現(xiàn)同步傳送，具體地說，第一載物臺320固定連接到同步傳送帶340的第一側(cè)邊帶340a，第二載物臺330固定連接到同步傳送帶340的第二側(cè)邊帶340b。同步傳送帶340安裝到第一傳動輪342和第二傳動輪344，同步驅(qū)動件350驅(qū)動第一傳動輪342轉(zhuǎn)動從而帶動同步傳送帶340移動。同步傳送帶340內(nèi)表面具有鋸齒，以便更好地與設(shè)有鋸齒的第一傳動輪342和第二傳動輪344配合。第一傳動輪342和第二傳動輪344支撐同步傳送帶340形成第一側(cè)邊帶340a和第二側(cè)邊帶340b。

載物臺移送組件310還包括沿x軸方向延伸的一對第一導(dǎo)軌362、第一連接件364，第一連接件364包括垂直于第一載物臺320的第一固定安裝部365、從第一固定安裝部365的第一側(cè)邊365a伸出的第一滑動安裝部366，第一固定安裝部365固定連接到同步傳送帶340的第一側(cè)邊帶340a，第一滑動安裝部366滑動連接到第一導(dǎo)軌362，第一載物臺320通過第一連接件364安裝到第一導(dǎo)軌362并可沿第一導(dǎo)軌362移動。第一連接件364固定安裝到第一載物臺320。

載物臺移送組件310還包括與所述第一導(dǎo)軌362平行的第二導(dǎo)軌372、第二連接件374，第二連接件374包括固定連接到所述第二側(cè)邊帶340b的第二固定安裝部375、固定連接第二固定安裝部375的第二滑動安裝部(圖中未顯示)，第二固定安裝部375固定連接到同步傳送帶的第二側(cè)邊帶340b，第二滑動安裝部滑動連接到第二導(dǎo)軌372，第二載物臺330通過第二連接件374安裝到第二導(dǎo)軌372并可沿第二導(dǎo)軌372移動。第二連接件374固定安裝到第二載物臺330。該成對的第二導(dǎo)軌372在成對的第一導(dǎo)軌362內(nèi)側(cè)，第一連接件364將第一載物臺320支撐起一定高度使第二載物臺330能夠從第一載物臺320下方穿過。為使第一載物臺320能夠沿z軸升降，第一載物臺320安裝有第一升降驅(qū)動件323，為使第二載物臺330能夠沿著z軸升降，第二載物臺330安裝有第二升降驅(qū)動件333。

第一載物臺320和第二載物臺330各設(shè)有若干用于放置引線框架的收容件382，每對收容件382包括兩根平行的收容條383，兩根收容條之間放置一個引線框架。兩根收容條之間的相對距離可調(diào)節(jié)，兩根收容條相對的內(nèi)側(cè)具有沿x軸延伸的收容槽384，用于收容引線框架的邊緣。收容槽384與第一載物臺320和/或第二載物臺330之間有一定高度，使引線框架底部懸空以達到更好的清洗效果。

參考圖7-12，第一推片機構(gòu)210設(shè)于料盒放置座110的第一端，用于將料盒內(nèi)的引線框架推出,第一推片機構(gòu)210包括傳送軌道220、第一推片組件230、推片傳送組件270、控制組件(圖中未顯示)。其中第一推片組件230滑動連接到傳送軌道220，推片傳送組件270用于驅(qū)動第一推片組件230沿傳送軌道220往復(fù)移動，控制組件用于在第一推片組件230受到阻力時輸出報警信號，使第一推片組件230停止推動，防止損壞引線框架。

第一推片組件230包括第一推動件232、連接到第一推動件232的第一彈性組件239、連接到第一彈性組件239的傳感器260，傳感器260感知到第一彈性組件239受到阻力時控制組件輸出報警信號使第一推片組件230停止推動。第一推動件232包括推動件安裝部234和第一推動部236a，第一推動部236a位于第一推動件232的第一端，推動件安裝部234位于第一推動件232的第二端，推動件安裝部234具有相對第一推動部236a凸起的凸起部234a，第一推片組件230還包括第一擋板262和第二擋板264，用于限制第一推動件232的移動距離，第一擋板262安裝到推動件安裝部234和第一推動部236a的連接處，第一彈性組件239安裝到第一推動件232和第二擋板264之間。第一推動件232通過滑塊265安裝到直線滑軌266，直線滑軌266安裝到第一擋板262和第二擋板264之間，使第一推動件232沿直線做往復(fù)運動。第一推動部236a的自由端具有橫向的凹槽237，用于收容引線框架的邊緣使推動引線框架更穩(wěn)定。

應(yīng)當(dāng)理解的是，傳感器260可以為壓力傳感器也可以為光電傳感器，壓力傳感器能夠直接檢測彈性組件的壓力，光電傳感器可以通過彈性組件經(jīng)過的位移判斷受到了壓力。

推片傳送組件270包括驅(qū)動電機272、連接到驅(qū)動電機272的輸出軸274、連接到輸出軸274的第一驅(qū)動輪276、與第一驅(qū)動輪276連接的第二驅(qū)動輪278、連接第一驅(qū)動輪276和第二驅(qū)動輪278的驅(qū)動傳送帶280，第一推片組件230直接或間接地連接到驅(qū)動傳送帶280，第一驅(qū)動輪276靠近傳送軌道220的第一端，第二驅(qū)動輪278靠近傳送軌道220的第二端。驅(qū)動電機272和輸出軸274直接通過聯(lián)軸器273連接。

本實施例中，第一推片機構(gòu)210包括若干并排的第一推片組件230，若干第一推片組件230連接到一塊第一連接板282，第一連接板282連接到滑動座288，通過滑動座288固定連接到驅(qū)動傳送帶280，第一連接板282通過滑動座288 滑動連接到傳送軌道220。

第二推片機構(gòu)250能夠在料盒放置座110與反應(yīng)倉510之間沿x軸移動，用于引線框架在所述料盒放置座110、載物臺移送組件310、反應(yīng)倉510三者之間的相互移送。第二推片機構(gòu)250具有與第一推片機構(gòu)210相似的傳送軌道(圖中未顯示)、推片傳送組件(圖中未顯示)、控制組件(圖中未顯示)，第二推片組件230’連接到一塊第一連接板282，第一連接板282再通過第二連接板286連接到第二推片機構(gòu)250的傳送軌道，第一連接板282與第二連接板286之間連接有氣缸284，用于使第一連接板282帶動推片組件230沿z軸升降。

參考圖13，第二推片組件230’包括第二推動件232’、連接到第二推動件232’的第二彈性組件239’、連接到第二彈性組件239’的傳感器260，傳感器260感知到第二彈性組件239’受到阻力時控制組件輸出報警信號使第二推片組件230’停止推動。第二推動件232’包括第二推動件安裝部234’、第二推動部236a’和第三推動部236b’，第二推動部236a’位于第二推動件安裝部234’的第一端，第三推動部236b’位于第二推動件安裝部234’的第二端。第二推片組件230’還包括第三擋板262’和第四擋板264’，用于限制第二推動件232’的移動距離，第二彈性組件239’包括安裝到第三擋板262’和第二推動件安裝部234’之間的第一彈簧252’、安裝到第二推動件安裝部234’和第四擋板264’之間的第二彈簧254’，第二推動件232’通過滑塊265’安裝到直線滑軌266’，直線滑軌266’安裝到第三擋板262’和第四擋板264’之間，使第二推動件232’沿直線做往復(fù)運動。第二推動部236a’、第三推動部236b’的自由端具有橫向的凹槽237，用于收容引線框架的邊緣使推動引線框架更穩(wěn)定。

應(yīng)當(dāng)理解的是，傳感器260’可以為壓力傳感器也可以為光電傳感器，壓力傳感器能夠直接檢測彈性組件的壓力，光電傳感器可以通過彈性組件經(jīng)過的位移判斷受到了壓力。

參考圖14，傳送帶輸送組件410設(shè)于料盒放置座110與第一載物臺320之間，用于將引線框架從料盒放置座110傳送至載物臺移送組件。傳送帶輸送組件410與引線框架之間為滾動摩擦，可以減少粉塵污染的產(chǎn)生。傳送帶輸送組件410包括兩組傳送單元412，每組傳送單元412包括與引線框架接觸的主傳送裝置414、輔傳送裝置416，傳送帶輸送組件410還包括同時驅(qū)動所有傳送單元的第一驅(qū)動件418，第一驅(qū)動件418通過聯(lián)動軸419連接到所有傳送單元412的主傳送裝置414。主傳送裝置414包括與引線框架直接接觸的第一傳動帶420以及驅(qū)動第一傳動帶420的第一傳動輪組422，第一傳動輪組422連接到聯(lián)動軸419。

但并不能因此而理解為對本實用新型專利范圍的限制。應(yīng)當(dāng)指出的是，對于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來說，在不脫離本實用新型構(gòu)思的前提下，還可以做出若干變形和改進，如對各個實施例中的不同特征進行組合等，這些都屬于本實用新型的保護范圍。