技術(shù)總結(jié)
本實(shí)用新型提供一種大面積激光加熱系統(tǒng)，其包含激光模塊、反應(yīng)模塊以及導(dǎo)引模塊。激光模塊包含用以發(fā)射激光光束的垂直腔面發(fā)射激光器以及連接于垂直腔面發(fā)射激光器的激光調(diào)整機(jī)構(gòu)，其中垂直腔面發(fā)射激光器所發(fā)射的激光光束的入射角通過所述激光調(diào)整機(jī)構(gòu)進(jìn)行調(diào)整。反應(yīng)模塊包含用于承載樣品的樣品架。導(dǎo)引模塊連接于激光模塊以及反應(yīng)腔體之間，其中垂直腔面發(fā)射激光器所發(fā)射的激光光束通過導(dǎo)引模塊以導(dǎo)引至樣品的表面。本實(shí)用新型的大面積激光加熱系統(tǒng)在實(shí)現(xiàn)大面積加熱的同時(shí)，還可增加制造穩(wěn)定性并降低設(shè)備維護(hù)的成本。

技術(shù)研發(fā)人員：楊楷
受保護(hù)的技術(shù)使用者：鎧柏科技有限公司
文檔號碼：201621056273
技術(shù)研發(fā)日：2016.09.14
技術(shù)公布日：2017.06.23