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MOS晶體管的制作方法

文檔序號:12191531閱讀:來源:國知局

技術(shù)特征:

1.一種MOS晶體管,其特征在于,所述MOS晶體管包括源極(1)、漏極(3)、溝道區(qū)(2)、第一柵極(4)和第二柵極(5);

在位于所述源極(1)與所述漏極(3)之間的溝道區(qū)(2)的兩側(cè)表面上分別設(shè)置所述第一柵極(4)和所述第二柵極(5),所述溝道區(qū)(2)為過渡金屬硫族化合物。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的MOS晶體管,其特征在于,所述溝道區(qū)(2)選自于MoS2、MoSe2、WS2、WSe2中的一種。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的MOS晶體管,其特征在于,所述第一柵極(4)和所述第二柵極(5)中的每一個柵極包括金屬層(42、52)和氧化物層(41、51)。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的MOS晶體管,其特征在于,所述氧化物層(41、51)為HfO2。

5.根據(jù)權(quán)利要求1至4中任一項所述的MOS晶體管,其特征在于,所述MOS晶體管為PMOS晶體管。

6.根據(jù)權(quán)利要求1至4中任一項所述的MOS晶體管,其特征在于,所述MOS晶體管為NMOS晶體管。

7.根據(jù)權(quán)利要求1至4中任一項所述的MOS晶體管,其特征在于,所述MOS晶體管為增強型MOS晶體管。

8.根據(jù)權(quán)利要求1至4中任一項所述的MOS晶體管,其特征在于,所述MOS晶體管為耗盡型MOS晶體管。

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