技術特征：

1.晶圓熱壓超聲植球裝置，包括加熱臺、超聲桿和劈刀，劈刀安裝在超聲桿前端；其特征在于：在劈刀上纏繞有加熱線圈，加熱線圈通過開關與電源連接；

還包括測溫裝置，測溫裝置用于檢測劈刀頭溫度；所述測溫裝置與功率控制模塊連接，功率控制模塊與電源連接，功率控制模塊根據(jù)測溫裝置檢測到的劈刀頭溫度控制電源的功率大小，以使劈刀頭溫度維持在需要水平。

2.根據(jù)權利要求1所述的晶圓熱壓超聲植球裝置，其特征在于：所述測溫裝置為紅外測溫裝置或者熱電偶。