1.一種用于機(jī)臺(tái)RF電感線(xiàn)圈的防電弧擊傷裝置，所述RF電感線(xiàn)圈裸露設(shè)于機(jī)臺(tái)的RF發(fā)生系統(tǒng)中，其兩端分別連接至RF發(fā)生器和機(jī)臺(tái)腔體中的電極，形成RF路徑，其特征在于，所述防電弧擊傷裝置包括設(shè)于RF電感線(xiàn)圈外部的絕緣保護(hù)體，所述絕緣保護(hù)體至少將所述RF電感線(xiàn)圈與RF路徑外部相隔離。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于機(jī)臺(tái)RF電感線(xiàn)圈的防電弧擊傷裝置，其特征在于，所述絕緣保護(hù)體為包覆于所述RF電感線(xiàn)圈表面的絕緣保護(hù)層。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的用于機(jī)臺(tái)RF電感線(xiàn)圈的防電弧擊傷裝置，其特征在于，所述絕緣保護(hù)層為同心包覆于所述RF電感線(xiàn)圈表面的絕緣單層或復(fù)合層結(jié)構(gòu)。
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的用于機(jī)臺(tái)RF電感線(xiàn)圈的防電弧擊傷裝置，其特征在于，所述絕緣保護(hù)層為包覆于所述RF電感線(xiàn)圈表面的絕緣涂層結(jié)構(gòu)。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的用于機(jī)臺(tái)RF電感線(xiàn)圈的防電弧擊傷裝置，其特征在于，所述絕緣保護(hù)層為包覆于所述RF電感線(xiàn)圈表面的特氟龍絕緣噴涂層結(jié)構(gòu)。
6.根據(jù)權(quán)利要求2所述的用于機(jī)臺(tái)RF電感線(xiàn)圈的防電弧擊傷裝置，其特征在于，所述絕緣保護(hù)層為包覆于所述RF電感線(xiàn)圈表面的絕緣膠帶裹繞層結(jié)構(gòu)。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于機(jī)臺(tái)RF電感線(xiàn)圈的防電弧擊傷裝置，其特征在于，所述絕緣保護(hù)體為罩于所述RF電感線(xiàn)圈外部的絕緣保護(hù)套。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的用于機(jī)臺(tái)RF電感線(xiàn)圈的防電弧擊傷裝置，其特征在于，所述絕緣保護(hù)套固設(shè)于所述RF電感線(xiàn)圈外部，并與所述RF電感線(xiàn)圈保持間隙。
9.根據(jù)權(quán)利要求7或8所述的用于機(jī)臺(tái)RF電感線(xiàn)圈的防電弧擊傷裝置，其特征在于，所述絕緣保護(hù)套具有與所述RF電感線(xiàn)圈輪廓相適應(yīng)的內(nèi)腔。
10.根據(jù)權(quán)利要求7或8所述的用于機(jī)臺(tái)RF電感線(xiàn)圈的防電弧擊傷裝置，其特征在于，所述絕緣保護(hù)套為剛性特氟龍絕緣保護(hù)套。