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一種DFB激光器的外延結(jié)構(gòu)的制作方法

文檔序號:11860409閱讀:來源:國知局

技術(shù)特征:

1.一種DFB激光器的外延結(jié)構(gòu),包括InP襯底,在InP襯底上自下而上依次設(shè)置有緩沖層、下限制層、下波導(dǎo)層、有源層、上波導(dǎo)層、上限制層、第二緩沖層、腐蝕阻擋層、包層和光柵層;在光柵層上面設(shè)置有二次外延層,其特征在于:所述二次外延層自下而上包括光柵包層、勢壘漸變層和歐姆接觸層,所述光柵包層自下而上包括光柵覆蓋層和過渡層,所述光柵覆蓋層厚度比光柵層厚度大1.5nm-8nm。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種DFB激光器的外延結(jié)構(gòu),其特征在于:所述光柵層的厚度為40 nm -50 nm,所述光柵覆蓋層厚度比光柵層厚度大2nm-4nm。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種DFB激光器的外延結(jié)構(gòu),其特征在于:所述光柵覆蓋層的平均生長速度為0.002 nm/s-0.003 nm/s,所述光柵覆蓋層的生長溫度為530-570°C;所述過渡層的平均生長速度為0.15 nm/s-0.55 nm/s,所述過渡層的生長溫度為650-690°C。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種DFB激光器的外延結(jié)構(gòu),其特征在于:所述過渡層的厚度是所述光柵覆蓋層厚度的10倍-20倍。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種DFB激光器的外延結(jié)構(gòu),其特征在于:所述光柵層的厚度為43 nm;光柵層中光柵周期為210 nm;所述光柵覆蓋層的厚度為47 nm。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種DFB激光器的外延結(jié)構(gòu),其特征在于:所述勢壘漸變層自下而上包括波長為1300nm的第一勢壘漸變層和波長為1500nm的第二勢壘漸變層。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種DFB激光器的外延結(jié)構(gòu),其特征在于:所述歐姆接觸層的上端面為單脊波導(dǎo)結(jié)構(gòu)。

8.根據(jù)權(quán)利要求1至7任一項所述的一種DFB激光器的外延結(jié)構(gòu)及其制備方法,其特征在于:所述光柵層的波長為1100nm。

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