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三維集成結(jié)構(gòu)的制作方法

文檔序號:12537769閱讀:來源:國知局
技術(shù)總結(jié)
三維集成結(jié)構(gòu)由具有定向在第一方向上的第一部件的第一襯底和具有定向在第二方向上的第二部件的第二襯底形成?;ミB層級包括在第三方向上行進(jìn)的導(dǎo)電軌道。第二方向和第三方向之一與第一方向形成非直角并且非零角。由導(dǎo)電軌道中的至少一個導(dǎo)電軌道形成的電鏈路電連接第一或第二部件的兩個點。

技術(shù)研發(fā)人員:A·艾爾斯;B·博羅特
受保護(hù)的技術(shù)使用者:意法半導(dǎo)體(克洛爾2)公司
文檔號碼:201620488592
技術(shù)研發(fā)日:2016.05.25
技術(shù)公布日:2016.12.28

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