技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明提供一種離子注入設(shè)備的運(yùn)轉(zhuǎn)方法，所述離子注入設(shè)備設(shè)有離子源與引出電極系統(tǒng)，在所述離子注入設(shè)備離子注入結(jié)束后，進(jìn)行基板交換期間，向所述離子源施加規(guī)定電壓設(shè)定倍數(shù)的電弧電壓，向所述引出電極系統(tǒng)施加規(guī)定電壓設(shè)定倍數(shù)的引出電壓和規(guī)定電壓設(shè)定倍數(shù)的加速電壓，若所述離子注入設(shè)備發(fā)生異常放電，則重新啟動(dòng)所述離子注入設(shè)備，再進(jìn)行離子注入；若所述離子注入設(shè)備未發(fā)生異常放電，則將電弧電壓、引出電壓和加速電壓恢復(fù)至規(guī)定電壓后，再進(jìn)行離子注入；使得所述離子注入設(shè)備中淀積物的異常放電提前發(fā)生，減少離子注入時(shí)發(fā)生淀積物的異常放電。

技術(shù)研發(fā)人員：張豪峰;陳建榮;任思雨;蘇君海;李建華
受保護(hù)的技術(shù)使用者：信利（惠州）智能顯示有限公司
文檔號(hào)碼：201611195015
技術(shù)研發(fā)日：2016.12.22
技術(shù)公布日：2017.05.31