1.一種釹鐵硼薄片的制備方法,包括:
按設(shè)計成分配料、熔煉、速凝鑄片;
采用物理氣相沉積方法,將重稀土元素粒子或者高熔質(zhì)元素粒子沉積在釹鐵硼薄片上。
2.如權(quán)利要求1所述釹鐵硼薄片的制備方法,其特征在于:在惰性氣氛中物理氣相沉積,溫度為300~500℃,沉積速率為0.01~50μm/min。
3.如權(quán)利要求2所述釹鐵硼薄片的制備方法,其特征在于:惰性氣氛為氬氣或氦氣或真空,物理氣相沉積采用磁控濺射沉積、離子鍍沉積或蒸發(fā)源沉積。
4.如權(quán)利要求1所述釹鐵硼薄片的制備方法,其特征在于:高熔質(zhì)元素粒子采用Dy、Tb、W、Mo、V、Ti、Ta、Zr、Nb、Co、Cr或者Ga元素的粒子;重稀土元素粒子采用Dy或者Tb元素的粒子。
5.如權(quán)利要求1至4任一項所述釹鐵硼薄片的制備方法,其特征在于:將釹鐵硼合金薄片和重稀土靶材分別置于物理氣相沉積裝置內(nèi);抽真空至真空度高于2.0×10-2Pa,充入氬氣至0.2~1.0Pa;對釹鐵硼薄片加熱,開啟物理氣相沉積裝置,采用物理氣相沉積將重稀土粒子沉積在釹鐵硼薄片上;停止物理氣相沉積,待溫度降至室溫后取出釹鐵硼薄片。
6.如權(quán)利要求5所述釹鐵硼薄片的制備方法,其特征在于:對釹鐵硼薄片加熱的加熱溫度為300~500℃,重稀土粒子沉積速率為0.01~50μm/min。
7.如權(quán)利要求5所述釹鐵硼薄片的制備方法,其特征在于:重稀土靶材為元素Dy或者Tb中至少一種元素的純金屬、合金或氧化物。
8.如權(quán)利要求1至4任一項所述釹鐵硼薄片的制備方法,其特征在于:將釹鐵硼合金薄片和高熔質(zhì)靶材分別置于物理氣相沉積裝置內(nèi);抽真空至真空度高于2.0×10-2Pa,充入氬氣至0.2~1.0Pa;對釹鐵硼薄片加熱,開啟物理氣相沉積裝置,采用物理氣相沉積將高熔質(zhì)粒子沉積在釹鐵硼薄片上;停止物理氣相沉積,待溫度降至室溫后取出釹鐵硼薄片。
9.如權(quán)利要求8所述釹鐵硼薄片的制備方法,其特征在于:對釹鐵硼薄片加熱的加熱溫度為300~500℃,高熔質(zhì)粒子沉積速率為0.01~50μm/min。
10.如權(quán)利要求8所述釹鐵硼薄片的制備方法,其特征在于:高熔質(zhì)靶材為元素W、Mo、V、Ti、Ta、Zr、Nb、Co、Cr或者Ga中至少一種元素的純金屬、合金或氧化物。