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有機發(fā)光器件及其制作方法與流程

文檔序號:12479535閱讀:來源:國知局

技術(shù)特征:

1.一種有機發(fā)光器件的制作方法,其特征在于,包括步驟:

在襯底基材上制作底電極;

利用蒸鍍技術(shù)以及光刻技術(shù)在所述底電極上制作有機電致發(fā)光組件;

在所述有機電致發(fā)光組件上制作頂電極。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的制作方法,其特征在于,利用蒸鍍技術(shù)以及光刻技術(shù)在所述底電極上制作有機電致發(fā)光組件的方法包括步驟:

在所述底電極上蒸鍍空穴注入層;

按共振模態(tài)所需厚度在所述空穴注入層上利用光刻技術(shù)制作能夠發(fā)出不同顏色光線的發(fā)光層各自對應(yīng)的空穴傳輸層;

在所述空穴傳輸層上蒸鍍對應(yīng)的發(fā)光層;

在所述發(fā)光層上蒸鍍電子傳輸層;

在所述電子傳輸層上蒸鍍電子注入層。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的制作方法,其特征在于,所述能夠發(fā)出不同顏色的發(fā)光層包括:能夠發(fā)出紅色光線的第一發(fā)光層、能夠發(fā)出綠色光線的第二發(fā)光層以及能夠發(fā)出藍色光線的第三發(fā)光層。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的制作方法,其特征在于,按共振模態(tài)所需厚度在所述空穴注入層上利用光刻技術(shù)制作能夠發(fā)出紅色光線的第一發(fā)光層對應(yīng)的空穴傳輸層的方法包括步驟:

按所述第一發(fā)光層對應(yīng)的空穴傳輸層共振模態(tài)所需厚度在所述空穴注入層上蒸鍍有機材料層;

在有機材料層上涂布覆蓋光阻層;

利用第一曝光光罩對所述光阻層進行曝光;所述第一曝光光罩相對于所述第一發(fā)光層的部分透光,其余部分不透光;

對經(jīng)曝光后的光阻層進行顯影,以將未被光照的光阻層去除;

將未被光阻層覆蓋的有機材料層刻蝕去除;

將被光照的光阻層剝離,從而形成所述第一發(fā)光層對應(yīng)的空穴傳輸層。

5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的制作方法,其特征在于,按共振模態(tài)所需厚度在所述空穴注入層上利用光刻技術(shù)制作能夠發(fā)出綠色光線的第二發(fā)光層對應(yīng)的空穴傳輸層的方法包括步驟:

按所述第二發(fā)光層對應(yīng)的空穴傳輸層共振模態(tài)所需厚度在所述空穴注入層上蒸鍍有機材料層;

在有機材料層上涂布覆蓋光阻層;

利用第二曝光光罩對所述光阻層進行曝光;所述第二曝光光罩相對于所述第二發(fā)光層的部分透光,其余部分不透光;

對經(jīng)曝光后的光阻層進行顯影,以將未被光照的光阻層去除;

將未被光阻層覆蓋的有機材料層刻蝕去除;

將被光照的光阻層剝離,從而形成所述第二發(fā)光層對應(yīng)的空穴傳輸層。

6.根據(jù)權(quán)利要求3所述的制作方法,其特征在于,按共振模態(tài)所需厚度在所述空穴注入層上利用光刻技術(shù)制作能夠發(fā)出綠色光線的第三發(fā)光層對應(yīng)的空穴傳輸層的方法包括步驟:

按所述第三發(fā)光層對應(yīng)的空穴傳輸層共振模態(tài)所需厚度在所述空穴注入層上蒸鍍有機材料層;

在有機材料層上涂布覆蓋光阻層;

利用第三曝光光罩對所述光阻層進行曝光;所述第三曝光光罩相對于所述第三發(fā)光層的部分透光,其余部分不透光;

對經(jīng)曝光后的光阻層進行顯影,以將未被光照的光阻層去除;

將未被光阻層覆蓋的有機材料層刻蝕去除;

將被光照的光阻層剝離,從而形成所述第三發(fā)光層對應(yīng)的空穴傳輸層。

7.根據(jù)權(quán)利要求4至6中任一項所述的制作方法,其特征在于,所述光阻層采用負光阻材料制作。

8.根據(jù)權(quán)利要求3至6中任一項所述的制作方法,其特征在于,所述第三發(fā)光層對應(yīng)的空穴傳輸層共振模態(tài)所需厚度大于所述第二發(fā)光層對應(yīng)的空穴傳輸層共振模態(tài)所需厚度,并且所述第二發(fā)光層對應(yīng)的空穴傳輸層共振模態(tài)所需厚度大于所述第一發(fā)光層對應(yīng)的空穴傳輸層共振模態(tài)所需厚度。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的制作方法,其特征在于,所述底電極和所述頂點極中的一個是透明的或半透明的,另一個是不透明且反射光的。

10.一種利用權(quán)利要求1至9中任一項所述的制作方法制作的有機發(fā)光器件。

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