1.一種石英燈管制備工藝,其特征在于,步驟如下:(1)對石英燈管進行除應力流處理;(2)向石英燈管中充入氮氣以去除殘余氧氣,并對石英燈管內(nèi)鎢絲定性;(3)抽真空,向石英燈管中充入鹵素混合氣;(4)將石英燈管冷卻到-180℃,使鹵素氣體液化;(5)進行燈管密封。
2.如權(quán)利要求1所述的石英燈管制備工藝,其特征在于,所述除應力流處理是將拉制的石英燈管放入密閉的加熱設(shè)備中,將其內(nèi)部溫度升高到800-1000℃,保溫3-5h,同時,抽真空。
3.如權(quán)利要求1所述的石英燈管制備工藝,其特征在于,所述鹵素混合氣由氮氣和鹵素氣體組成,其中氮氣含量為90%。
4.如權(quán)利要求1所述的石英燈管制備工藝,其特征在于,所述鹵素混合氣的氣壓控制在3.5±0.5atm。