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一種用液體大面積翻轉鐵電薄膜極化的裝置及其應用的制作方法

文檔序號:12479328閱讀:來源:國知局

技術特征:

1.一種用液體大面積翻轉鐵電薄膜極化的裝置,其特征在于,包括信號發(fā)生器、對電極、襯底、形成在襯底上的底電極、形成在底電極上的鐵電薄膜、容器和液體;所述對電極、襯底、底電極和鐵電薄膜均放置在容器內的液體中;所述底電極通過導線接地,所述底電極與導線連接處不與液體接觸;所述對電極通過導線連接信號發(fā)生器;所述信號發(fā)生器置于容器外。

2.根據(jù)權利要求1所述的一種用液體大面積翻轉鐵電薄膜極化的裝置,其特征在于,所述液體為去離子水。

3.根據(jù)權利要求1所述的一種用液體大面積翻轉鐵電薄膜極化的裝置,其特征在于,所述鐵電薄膜的制備方法為脈沖激光沉積方法。

4.根據(jù)權利要求1所述的一種用液體大面積翻轉鐵電薄膜極化的裝置,其特征在于,所述對電極為金屬電極。

5.根據(jù)權利要求1所述的一種用液體大面積翻轉鐵電薄膜極化的裝置,其特征在于,所述鐵電薄膜為鐵酸鉍,鋯鈦酸鉛,鈦酸鋇,鋰酸鈮,鉭鈮酸鉀,鈦酸鉛或鉭酸鍶鉍。

6.根據(jù)權利要求1所述的一種用液體大面積翻轉鐵電薄膜極化的裝置,其特征在于,所述底電極為鑭鍶錳氧,釕酸鍶或鎳酸鑭。

7.根據(jù)權利要求1所述的一種用液體大面積翻轉鐵電薄膜極化的裝置,其特征在于,所述襯底為鈦酸鍶或鋁酸鑭。

8.根據(jù)權利要求1所述的一種用液體大面積翻轉鐵電薄膜極化的裝置,其特征在于,所述底電極用銀膠與導線相連。

9.如權利要求1-8任一所述的一種用液體大面積翻轉鐵電薄膜極化的裝置的應用,其特征在于,所述裝置用于大面積翻轉鐵電薄膜極化,包括如下步驟:

1)將對電極、襯底、底電極和鐵電薄膜均放置在液體中;

2)用信號發(fā)生器向對電極施加與鐵電薄膜面外極化方向相反的電壓;

3)結束加電,停止信號發(fā)生器上的電壓輸出,取出鐵電薄膜并吹干。

10.根據(jù)權利要求9所述的一種用液體大面積翻轉鐵電薄膜極化的裝置的應用,其特征在于,步驟1)中先將底電極通過導線接地,再將對電極、襯底、底電極和鐵電薄膜放置在液體中;步驟2)中所加電壓為大小0-15V,頻率1kHZ-10MHZ的脈沖電壓,施加時間為1-5分鐘。

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