技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明涉及激光器技術(shù)領(lǐng)域，提供了一種掩埋結(jié)構(gòu)激光器及其制造方法。其中，激光器包括襯底、臺(tái)面結(jié)構(gòu)、掩埋結(jié)構(gòu)和電極接觸層，臺(tái)面結(jié)構(gòu)位于襯底上；掩埋結(jié)構(gòu)由至少一層第一材料層和至少一層第二材料層構(gòu)成，第二材料層覆蓋于第一材料層上，并且第二材料層上對(duì)應(yīng)臺(tái)面結(jié)構(gòu)的臺(tái)頂區(qū)域設(shè)置有凹槽結(jié)構(gòu)；電極接觸層位于第二材料層上。本發(fā)明實(shí)施例克服了現(xiàn)有技術(shù)中存在的掩膜層與高電阻層(即掩埋材料)接觸區(qū)域會(huì)過度生長(zhǎng)，形成尖銳邊角造成漏電流，會(huì)對(duì)器件在較小的電壓下?lián)舸┑膯栴}，提高了激光器工作的可靠性。

技術(shù)研發(fā)人員：李密鋒;湯寶;羅飚
受保護(hù)的技術(shù)使用者：武漢光迅科技股份有限公司;武漢電信器件有限公司
文檔號(hào)碼：201610969583
技術(shù)研發(fā)日：2016.10.31
技術(shù)公布日：2017.05.31