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半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)及其制造方法與流程

文檔序號(hào):12737226閱讀:來源:國知局

技術(shù)特征:

1.一種半導(dǎo)體結(jié)構(gòu),包括:

管芯,包括設(shè)置在所述管芯上方的管芯焊盤;

導(dǎo)電構(gòu)件,設(shè)置在所述管芯焊盤上方并且與所述管芯焊盤電連接;

模制件,圍繞所述管芯和所述導(dǎo)電構(gòu)件;以及

再分布層(RDL),設(shè)置在所述模制件、所述導(dǎo)電構(gòu)件和所述管芯上方,并且包括介電層和第一互連結(jié)構(gòu),

其中,所述第一互連結(jié)構(gòu)包括接合部分和多個(gè)通孔部分,所述接合部分設(shè)置在所述介電層上方,所述多個(gè)通孔部分從所述接合部分突出穿過所述介電層到達(dá)所述導(dǎo)電構(gòu)件,并且所述多個(gè)通孔部分中的每一個(gè)都與所述導(dǎo)電構(gòu)件至少部分地接觸。

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