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一種降低背照式CMOS圖像傳感器白像素的方法與流程

文檔序號:12275053閱讀:來源:國知局

技術(shù)特征:

1.一種降低背照式CMOS圖像傳感器白像素的方法,其特征在于,包括如下步驟:

步驟S1:在晶圓完成CMOS圖像傳感器像素區(qū)的工藝之后,對所述像素區(qū)表面沉積層間介質(zhì)層;

步驟S2:在所述晶圓保護層沉積完成后,且在所述晶圓封裝前,對所述晶圓表面進行至少一次紫外光照射,以降低背照式CMOS圖像傳感器白像素。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的降低背照式CMOS圖像傳感器白像素的方法,其特征在于,所述的紫外光照射為四次,所述步驟S2具體包括:

步驟S21:對所述晶圓表面進行第一次紫外光照射;

步驟S22:靜置所述晶圓第一預(yù)設(shè)時間后對晶圓表面進行第二次紫外光照射;

步驟S23:靜置所述晶圓第二預(yù)設(shè)時間后對晶圓表面進行第三次紫外光照射;

步驟S24:靜置所述晶圓第三預(yù)設(shè)時間后對晶圓表面進行第四次紫外光照射,以去除所述層間介質(zhì)層內(nèi)俘獲的電荷。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的降低背照式CMOS圖像傳感器白像素的方法,其特征在于,所述第一預(yù)設(shè)時間、第二預(yù)設(shè)時間和第三預(yù)設(shè)時間相同。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的降低背照式CMOS圖像傳感器白像素的,其特征在于,所述第一預(yù)設(shè)時間、第二預(yù)設(shè)時間和第三預(yù)設(shè)時間為10分鐘。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的降低背照式CMOS圖像傳感器白像素的方法,其特征在于,所述紫外光所選波長為280nm~330nm。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的降低背照式CMOS圖像傳感器白像素的方法,其特征在于,所述紫外光照射環(huán)境溫度控制為110~180℃。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的降低背照式CMOS圖像傳感器白像素的方法,其特征在于,所述紫外光強控制在210~270mv/cm2。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的降低背照式CMOS圖像傳感器白像素的方法,其特征在于,所述紫外光照時間控制為480s。

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