技術(shù)特征：

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明的目的在于提供一種能夠抑制加工過程中的損害的壓電薄膜、以及具備所述壓電薄膜的具有高可靠性的壓電薄膜元件。在將(K,Na)NbO3作為主成分的壓電薄膜中，在規(guī)定范圍的觀察視野內(nèi)觀察所述壓電薄膜的表面，在此情況下在所述壓電薄膜表面上排列有沿著該表面朝向第1方向具有細(xì)長形狀的多個第1結(jié)晶、沿著所述表面朝向與所述第1方向相交叉的第2方向具有細(xì)長形狀的多個第2結(jié)晶。

技術(shù)研發(fā)人員：廣瀬維子;大槻史朗
受保護(hù)的技術(shù)使用者：TDK株式會社
技術(shù)研發(fā)日：2016.09.26
技術(shù)公布日：2017.07.21