技術(shù)編號：11692226
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及使用了壓電薄膜的壓電薄膜元件、使用了該壓電薄膜元件的壓電致動器、壓電傳感器、具備該壓電致動器的硬盤驅(qū)動器、以及噴墨打印頭。背景技術(shù)近年來，在壓電材料非鉛化的期待不斷高漲的形勢下使用了鈮酸鉀鈉[(K,Na)NbO3∶KNN]類材料的高質(zhì)量薄膜的相關(guān)于制作以及元件應(yīng)用的研究開發(fā)正在積極地展開著。KNN類材料因?yàn)榧词故窃诜倾U壓電材料中也具有高居里溫度并且能夠獲得良好的壓電特性，所以被期待應(yīng)用到壓電薄膜元件。作為運(yùn)用到壓電薄膜元件的應(yīng)用例如有利用了將被施加于壓電薄膜的力轉(zhuǎn)換成電壓的壓電效應(yīng)的壓...
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