【技術(shù)領(lǐng)域】

本發(fā)明涉及半導(dǎo)體制造加工領(lǐng)域，尤其涉及一種去除框架上污染物的等離子清洗機(jī)。

背景技術(shù)：

引線框架作為集成電路的芯片載體，是一種借助于鍵合材料(金絲、鋁絲、銅絲)實(shí)現(xiàn)芯片內(nèi)部電路引出端與外引線的電氣連接，形成電氣回路的關(guān)鍵結(jié)構(gòu)件，它起到了和外部導(dǎo)線連接的橋梁作用，絕大部分的半導(dǎo)體集成塊中都需要使用引線框架，是電子信息產(chǎn)業(yè)中重要的基礎(chǔ)材料。在半導(dǎo)體制造加工過程中會在引線框架上遺留溢膠、氧化物等污染物，影響焊線效果，因此需要等離子清洗技術(shù)清洗該污染物。目前對引線框架進(jìn)行清洗時，缺少對單件引線框架的自動化整體清洗設(shè)備，自動化程度低容易造成二次污染并且增加生產(chǎn)成本。

因此，亟需一種自動化程度高、能清洗單件引線框架的等離子清洗機(jī)。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本發(fā)明所要解決的技術(shù)問題是，提供一種自動化程度高、能清洗單件引線框架的等離子清洗機(jī)。

為解決以上技術(shù)問題，本發(fā)明的技術(shù)方案是：提供一種等離子清洗機(jī)，包括：料盒放置座，用于放置裝有引線框架的料盒；第一推片機(jī)構(gòu)，設(shè)于所述料盒放置座的第一端，用于將所述料盒內(nèi)的引線框架推出；載物臺移送組件，至少包括可沿x軸方向和z軸方向移動的第一載物臺，用于接收從所述料盒放置座離開的引線框架；傳送帶輸送組件，設(shè)于所述料盒放置座與所述第一載物臺之間，用于將所述引線框架從所述料盒放置座傳送至所述載物臺移送組件；下端開口的反應(yīng)倉，所述第一載物臺移動至所述反應(yīng)倉開口端下方時沿z軸方向向上移動與所述反應(yīng)倉密封形成密封腔體，用于使所述第一載物臺承載的引線框架在所述密封腔體內(nèi)完成清洗過程。

作為一種優(yōu)選方案，所述載物臺移送組件還包括可沿x軸方向和z軸方向移動的第二載物臺，用于接收從所述料盒放置座離開的引線框架，并傳送至反應(yīng)倉下端與所述反應(yīng)倉密封形成密封腔體，使所述第二載物臺承載的引線框架在所述密封腔體內(nèi)完成清洗過程；當(dāng)所述第一載物臺密封所述反應(yīng)倉的開口端時，所述第二載物臺位于所述第一推片機(jī)構(gòu)與所述第一載物臺之間，所述傳動帶輸送單元位于所述第一推片機(jī)構(gòu)和所述第二載物臺之間，用于將從料盒推出的引線框架傳送至第二載物臺；當(dāng)所述第二載物臺密封所述反應(yīng)倉的開口端時，所述第一載物臺位于所述第一推片機(jī)構(gòu)與所述第二載物臺之間，所述傳動帶輸送單元位于所述第一推片機(jī)構(gòu)和所述第一載物臺之間，用于將從料盒推出的引線框架傳送至第一載物臺。

作為一種優(yōu)選方案，所述第一推片機(jī)構(gòu)包括第一推片組件、用于驅(qū)動所述第一推片組件的推片傳送組件，所述第一推片組件包括第一推動件、連接到所述第一推動件的第一彈性組件、連接到所述第一彈性組件的傳感器、連接到傳感器的控制組件，用于當(dāng)所述推動件推動引線框架不順暢受到阻力時傳感器輸出報警信號使所述推動件停止推動。

作為一種優(yōu)選方案，所述料盒放置座安裝有第三升降裝置，用于控制所述料盒放置座沿z軸升降。

作為一種優(yōu)選方案，所述第一載物臺上設(shè)有用于收容所述引線框架的邊緣的收容件。

作為一種優(yōu)選方案，所述第一載物臺與所述反應(yīng)倉密封的表面設(shè)有密封圈。

作為一種優(yōu)選方案，所述傳送帶輸送組件與所述引線框架之間為滾動摩擦。

作為一種優(yōu)選方案，所述傳送帶輸送組件包括至少兩組傳送單元，每組傳送單元包括與所述引線框架接觸的主傳送裝置、輔傳送裝置，所述傳送帶輸送組件還包括同時驅(qū)動所有傳送單元的第一驅(qū)動件，所述第一驅(qū)動件通過聯(lián)動軸連接到所有傳送單元的主傳送裝置。

作為一種優(yōu)選方案，所述主傳送裝置包括與所述引線框架直接接觸的第一傳動帶以及驅(qū)動所述第一傳動帶的第一傳動輪組，所述第一傳動輪組連接到所述聯(lián)動軸。

作為一種優(yōu)選方案，還包括第二推片機(jī)構(gòu)，用于引線框架在所述料盒放置座、載物臺移送組件、反應(yīng)倉三者之間的相互移送，所述第二推片機(jī)構(gòu)包括第二推動件、連接到所述第二推動件的第二彈性組件、連接到所述第二彈性組件的傳感器、連接到傳感器的控制組件，用于當(dāng)所述推動件推動引線框架不順暢受到阻力時傳感器輸出報警信號使所述推動件停止推動，所述第二推動件包括方向相反的第一推動部和第二推動部。

實(shí)施本發(fā)明取得的技術(shù)效果如下：料盒放置座用于放置料盒，第一推片機(jī)構(gòu)用于將料盒從料盒放置座推入載物臺移送組件，第一載物臺可沿x軸和y軸升降，能夠方便地接收料盒內(nèi)不同高度的引線框架，也能夠方便地與反應(yīng)倉形成密封腔體，傳送帶輸送組件用于將引線框架從料盒放置座傳送至載物臺移送組件，整個過程能夠直接從裝有多個引線框架的料盒中取出引線框架并清洗，不需要人工參與，自動化程度高，大大提高了生產(chǎn)效率，并且第一載物臺直接與反應(yīng)倉形成密封腔體省去了傳統(tǒng)機(jī)器中反應(yīng)倉關(guān)閉密封蓋的過程，簡化了流程，提高了清洗效率。第二載物臺和第一載物臺交替與下端開口反應(yīng)倉形成密封腔體，最大程度上利用了工作時間，使反應(yīng)倉閑置的時間大大縮短，提高了生產(chǎn)效率。并且當(dāng)?shù)谝惠d物臺密封反應(yīng)倉開口端時，第二載物臺位于第一推片機(jī)構(gòu)和第一載物臺之間；第二載物臺密封反應(yīng)倉開口端時，第一載物臺位于第一推片機(jī)構(gòu)與第二載物臺之間，使反應(yīng)倉與料盒放置座之間只間隔一個載物臺的距離，最大程度的減小了機(jī)器的體積，使結(jié)構(gòu)更緊湊，占用體積小。第一推片機(jī)構(gòu)包括第一推動件、第一彈性組件、傳感器，能夠在受到阻力時輸出報警信號，防止引線框架損壞，提高了生產(chǎn)效率，降低了次品率。料盒放置座安裝有第三升降裝置，使之可以沿z軸升降，使第一推動組件能夠推動料盒內(nèi)不同高度的引線框架，提高了機(jī)器的性能。第一載物臺上設(shè)有收容件，用于收容引線框架邊緣，使引線框架在第一載物臺上能夠按照規(guī)則的方向排列，方便傳輸，從而提高清潔效率。傳送帶輸送組件與引線框架之間為滾動摩擦，可以極大降低粉塵污染的產(chǎn)生，降低良品率。第一載物臺設(shè)有密封圈，與反應(yīng)倉形成密封腔體時密閉性更好，引線框架清洗更完全，傳送帶輸送組件包括兩組傳送單元，每組傳送單元包括主傳送裝置和輔傳送裝置、第一驅(qū)動件，第一驅(qū)動件通過聯(lián)動軸驅(qū)動所有的主傳送裝置，減少了驅(qū)動機(jī)構(gòu)的設(shè)置，簡化了機(jī)器結(jié)構(gòu)，降低了生產(chǎn)成本。主傳送裝置包括與引線框架直接接觸的第一傳送帶，由第一傳動輪組驅(qū)動，第一傳送輪組連接到聯(lián)動軸，通過聯(lián)動軸驅(qū)動，這種驅(qū)動方式結(jié)構(gòu)簡單且穩(wěn)定。第二推片機(jī)構(gòu)用于引線框架在料盒放置座、載物臺移送組件、反應(yīng)倉三者之間的相互移送，第二推片機(jī)構(gòu)包括第二推動件，其第一推動部和第二推動部在第二彈性組件、傳感器、控制組件的相互配合下實(shí)現(xiàn)引線框架的無傷害推動，降低次品率，方向相反的第一推動部和第二推動部分別用于不同方向的推動，同時安裝在第二推動件上，簡化了機(jī)器結(jié)構(gòu)。

下面將結(jié)合附圖及實(shí)施例對本發(fā)明作進(jìn)一步說明。

【附圖說明】

圖1所示為本發(fā)明提供的等離子清洗機(jī)的立體結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2為圖1所示等離子清洗機(jī)去掉封閉外殼后的立體結(jié)構(gòu)示意圖；

圖3為圖2所示等離子清洗機(jī)去掉封閉外殼后的俯視圖；

圖4為圖2所示等離子清洗機(jī)去掉封閉外殼后的側(cè)視圖；

圖5為圖2所示載物臺移送組件的立體結(jié)構(gòu)示意圖；

圖6為圖5所示載物臺移送組件的俯視圖；

圖7為圖2所示第一推片機(jī)構(gòu)的立體結(jié)構(gòu)示意圖；

圖8為圖7所示第一推片組件的立體結(jié)構(gòu)示意圖；

圖9為圖8所示第一推片組件的仰視圖；

圖10為圖9所示第一推片組件沿a-a方向的剖視圖；

圖11為圖7所示第一推片機(jī)構(gòu)的主視圖；

圖12為圖1所示第二推片機(jī)構(gòu)的內(nèi)部結(jié)構(gòu)示意圖；

圖13為圖12所示第二推片組件的側(cè)視圖；

圖14為圖2所示傳送帶輸送組件的立體結(jié)構(gòu)示意圖。

【具體實(shí)施方式】

參考圖1-圖4，本發(fā)明一實(shí)施例提供一種等離子清洗機(jī)，包括：料盒放置座110、第一推片機(jī)構(gòu)210、第二推片機(jī)構(gòu)250、載物臺移送組件310、傳送帶輸送組件410、下端開口的反應(yīng)倉510。還包括封閉外殼610，用于為上述部件提供清潔的環(huán)境，防止對引線框架造成污染。

料盒放置座110用于放置裝有引線框架的料盒112，本實(shí)施例中料盒放置座110放置有四個料盒112，應(yīng)當(dāng)注意的是，料盒112的數(shù)量不因?yàn)楸緦?shí)施例的描述而受到限制。料盒為兩相對端開口的盒體，裝有若干層引線框架，兩端的開口使引線框架能夠方便地被推出或推入。料盒放置座110安裝有第三升降裝置(圖中未顯示)，用于控制所述料盒放置座110沿z軸升降，使料盒112中的各層引線框架能夠被推出或推入。

參考圖5、圖6，載物臺移送組件310用于接收從料盒放置座110離開的引線框架，載物臺移送組件310包括可沿x軸和z軸方向移動的第一載物臺320、可沿x軸和z軸方向移動的第二載物臺330、閉合的同步傳送帶340以及同步驅(qū)動件350。第一載物臺320或第二載物臺330沿x軸移動至反應(yīng)倉510下方時，沿z軸向上移動與反應(yīng)倉510密封形成密封腔體，用于使引線框架在其中完成清洗過程。

當(dāng)?shù)谝惠d物臺320密封反應(yīng)倉510的開口端時，第二載物臺330位于第一推片機(jī)構(gòu)210和第一載物臺320之間，傳動帶輸送單元410位于第一推片機(jī)構(gòu)210和第二載物臺330之間，用于將從料盒推出的引線框架傳送至第二載物臺330。第一載物臺320和第二載物臺330用于密封反應(yīng)倉510的表面均設(shè)有密封圈339。

當(dāng)?shù)诙d物臺330密封反應(yīng)倉510的開口端時，第一載物臺320位于第一推片機(jī)構(gòu)210和第二載物臺330之間，傳動帶輸送單元410位于第一推片機(jī)構(gòu)210和第一載物臺320之間，用于將從料盒推出的引線框架傳送至第一載物臺320。

第一載物臺320和第二載物臺330通過一條閉合的同步傳送帶340實(shí)現(xiàn)同步傳送，具體地說，第一載物臺320固定連接到同步傳送帶340的第一側(cè)邊帶340a，第二載物臺330固定連接到同步傳送帶340的第二側(cè)邊帶340b。同步傳送帶340安裝到第一傳動輪342和第二傳動輪344，同步驅(qū)動件350驅(qū)動第一傳動輪342轉(zhuǎn)動從而帶動同步傳送帶340移動。同步傳送帶340內(nèi)表面具有鋸齒，以便更好地與設(shè)有鋸齒的第一傳動輪342和第二傳動輪344配合。第一傳動輪342和第二傳動輪344支撐同步傳送帶340形成第一側(cè)邊帶340a和第二側(cè)邊帶340b。

載物臺移送組件310還包括沿x軸方向延伸的一對第一導(dǎo)軌362、第一連接件364，第一連接件364包括垂直于第一載物臺320的第一固定安裝部365、從第一固定安裝部365的第一側(cè)邊365a伸出的第一滑動安裝部366，第一固定安裝部365固定連接到同步傳送帶340的第一側(cè)邊帶340a，第一滑動安裝部366滑動連接到第一導(dǎo)軌362，第一載物臺320通過第一連接件364安裝到第一導(dǎo)軌362并可沿第一導(dǎo)軌362移動。第一連接件364固定安裝到第一載物臺320。

載物臺移送組件310還包括與所述第一導(dǎo)軌362平行的第二導(dǎo)軌372、第二連接件374，第二連接件374包括固定連接到所述第二側(cè)邊帶340b的第二固定安裝部375、固定連接第二固定安裝部375的第二滑動安裝部(圖中未顯示)，第二固定安裝部375固定連接到同步傳送帶的第二側(cè)邊帶340b，第二滑動安裝部滑動連接到第二導(dǎo)軌372，第二載物臺330通過第二連接件374安裝到第二導(dǎo)軌372并可沿第二導(dǎo)軌372移動。第二連接件374固定安裝到第二載物臺330。該成對的第二導(dǎo)軌372在成對的第一導(dǎo)軌362內(nèi)側(cè)，第一連接件364將第一載物臺320支撐起一定高度使第二載物臺330能夠從第一載物臺320下方穿過。為使第一載物臺320能夠沿z軸升降，第一載物臺320安裝有第一升降驅(qū)動件323，為使第二載物臺330能夠沿著z軸升降，第二載物臺330安裝有第二升降驅(qū)動件333。

第一載物臺320和第二載物臺330各設(shè)有若干用于放置引線框架的收容件382，每對收容件382包括兩根平行的收容條383，兩根收容條之間放置一個引線框架。兩根收容條之間的相對距離可調(diào)節(jié)，兩根收容條相對的內(nèi)側(cè)具有沿x軸延伸的收容槽384，用于收容引線框架的邊緣。收容槽384與第一載物臺320和/或第二載物臺330之間有一定高度，使引線框架底部懸空以達(dá)到更好的清洗效果。

參考圖7-12，第一推片機(jī)構(gòu)210設(shè)于料盒放置座110的第一端，用于將料盒內(nèi)的引線框架推出,第一推片機(jī)構(gòu)210包括傳送軌道220、第一推片組件230、推片傳送組件270、控制組件(圖中未顯示)。其中第一推片組件230滑動連接到傳送軌道220，推片傳送組件270用于驅(qū)動第一推片組件230沿傳送軌道220往復(fù)移動，控制組件用于在第一推片組件230受到阻力時輸出報警信號，使第一推片組件230停止推動，防止損壞引線框架。

第一推片組件230包括第一推動件232、連接到第一推動件232的第一彈性組件239、連接到第一彈性組件239的傳感器260，傳感器260感知到第一彈性組件239受到阻力時控制組件輸出報警信號使第一推片組件230停止推動。第一推動件232包括推動件安裝部234和第一推動部236a，第一推動部236a位于第一推動件232的第一端，推動件安裝部234位于第一推動件232的第二端，推動件安裝部234具有相對第一推動部236a凸起的凸起部234a，第一推片組件230還包括第一擋板262和第二擋板264，用于限制第一推動件232的移動距離，第一擋板262安裝到推動件安裝部234和第一推動部236a的連接處，第一彈性組件239安裝到第一推動件232和第二擋板264之間。第一推動件232通過滑塊265安裝到直線滑軌266，直線滑軌266安裝到第一擋板262和第二擋板264之間，使第一推動件232沿直線做往復(fù)運(yùn)動。第一推動部236a的自由端具有橫向的凹槽237，用于收容引線框架的邊緣使推動引線框架更穩(wěn)定。

應(yīng)當(dāng)理解的是，傳感器260可以為壓力傳感器也可以為光電傳感器，壓力傳感器能夠直接檢測彈性組件的壓力，光電傳感器可以通過彈性組件經(jīng)過的位移判斷受到了壓力。

推片傳送組件270包括驅(qū)動電機(jī)272、連接到驅(qū)動電機(jī)272的輸出軸274、連接到輸出軸274的第一驅(qū)動輪276、與第一驅(qū)動輪276連接的第二驅(qū)動輪278、連接第一驅(qū)動輪276和第二驅(qū)動輪278的驅(qū)動傳送帶280，第一推片組件230直接或間接地連接到驅(qū)動傳送帶280，第一驅(qū)動輪276靠近傳送軌道220的第一端，第二驅(qū)動輪278靠近傳送軌道220的第二端。驅(qū)動電機(jī)272和輸出軸274直接通過聯(lián)軸器273連接。

本實(shí)施例中，第一推片機(jī)構(gòu)210包括若干并排的第一推片組件230，若干第一推片組件230連接到一塊第一連接板282，第一連接板282連接到滑動座288，通過滑動座288固定連接到驅(qū)動傳送帶280，第一連接板282通過滑動座288滑動連接到傳送軌道220。

第二推片機(jī)構(gòu)250能夠在料盒放置座110與反應(yīng)倉510之間沿x軸移動，用于引線框架在所述料盒放置座110、載物臺移送組件310、反應(yīng)倉510三者之間的相互移送。第二推片機(jī)構(gòu)250具有與第一推片機(jī)構(gòu)210相似的傳送軌道(圖中未顯示)、推片傳送組件(圖中未顯示)、控制組件(圖中未顯示)，第二推片組件230’連接到一塊第一連接板282，第一連接板282再通過第二連接板286連接到第二推片機(jī)構(gòu)250的傳送軌道，第一連接板282與第二連接板286之間連接有氣缸284，用于使第一連接板282帶動推片組件230沿z軸升降。

參考圖13，第二推片組件230’包括第二推動件232’、連接到第二推動件232’的第二彈性組件239’、連接到第二彈性組件239’的傳感器260，傳感器260感知到第二彈性組件239’受到阻力時控制組件輸出報警信號使第二推片組件230’停止推動。第二推動件232’包括第二推動件安裝部234’、第二推動部236a’和第三推動部236b’，第二推動部236a’位于第二推動件安裝部234’的第一端，第三推動部236b’位于第二推動件安裝部234’的第二端。第二推片組件230’還包括第三擋板262’和第四擋板264’，用于限制第二推動件232’的移動距離，第二彈性組件239’包括安裝到第三擋板262’和第二推動件安裝部234’之間的第一彈簧252’、安裝到第二推動件安裝部234’和第四擋板264’之間的第二彈簧254’，第二推動件232’通過滑塊265’安裝到直線滑軌266’，直線滑軌266’安裝到第三擋板262’和第四擋板264’之間，使第二推動件232’沿直線做往復(fù)運(yùn)動。第二推動部236a’、第三推動部236b’的自由端具有橫向的凹槽237，用于收容引線框架的邊緣使推動引線框架更穩(wěn)定。

應(yīng)當(dāng)理解的是，傳感器260’可以為壓力傳感器也可以為光電傳感器，壓力傳感器能夠直接檢測彈性組件的壓力，光電傳感器可以通過彈性組件經(jīng)過的位移判斷受到了壓力。

參考圖14，傳送帶輸送組件410設(shè)于料盒放置座110與第一載物臺320之間，用于將引線框架從料盒放置座110傳送至載物臺移送組件。傳送帶輸送組件410與引線框架之間為滾動摩擦，可以減少粉塵污染的產(chǎn)生。傳送帶輸送組件410包括兩組傳送單元412，每組傳送單元412包括與引線框架接觸的主傳送裝置414、輔傳送裝置416，傳送帶輸送組件410還包括同時驅(qū)動所有傳送單元的第一驅(qū)動件418，第一驅(qū)動件418通過聯(lián)動軸419連接到所有傳送單元412的主傳送裝置414。主傳送裝置414包括與引線框架直接接觸的第一傳動帶420以及驅(qū)動第一傳動帶420的第一傳動輪組422，第一傳動輪組422連接到聯(lián)動軸419。

但并不能因此而理解為對本發(fā)明專利范圍的限制。應(yīng)當(dāng)指出的是，對于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來說，在不脫離本發(fā)明構(gòu)思的前提下，還可以做出若干變形和改進(jìn)，如對各個實(shí)施例中的不同特征進(jìn)行組合等，這些都屬于本發(fā)明的保護(hù)范圍。