圓形艙體雙面等離子清洗的制造方法
【專利摘要】本實用新型公開了一種圓形艙體雙面等離子清洗機(jī),它包括艙體、兩塊高壓極板、射頻高壓頭、治具承載片和支撐架；所述的艙體為一個一端敞開的容置體，在艙體的敞開端上安裝有艙門；所述的兩塊高壓極板通過支撐架安裝在艙體內(nèi)，兩塊高壓極板沿艙體的縱向設(shè)置且平行相對，兩塊高壓極板的尾端通過鋁板連接在一起，射頻高壓頭自艙體底面穿入且射頻高壓頭的穿入端與鋁板連接；所述的治具承載片固定在艙體內(nèi)壁上且位于兩塊高壓極板中間線。由于本實用新型設(shè)有兩塊高壓極板，可一次性完成樣品的雙面等離子清洗，從而大幅降低生產(chǎn)周期，提高生產(chǎn)效率。
【專利說明】圓形艙體雙面等離子清洗機(jī)

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型涉及一種等離子清洗設(shè)備，特別是涉及一種圓形艙體雙面等離子清洗機(jī)。

【背景技術(shù)】
[0002]目前在一些實驗及生產(chǎn)過程中，需要對一些樣品的上下表面都進(jìn)行等離子清洗，而常規(guī)圓形艙體等離子清洗機(jī)艙體內(nèi)只安裝一塊高壓極板，因而只能一次性對樣品的上表面或下表面進(jìn)行等離子清洗，當(dāng)有雙面清洗需求時，只能對樣品進(jìn)行二次重復(fù)操作，既增加了生產(chǎn)成本及工時，又有可能在樣品的翻面過程中造成樣品的二次污染。
實用新型內(nèi)容
[0003]本實用新型的目的在于提供一種生產(chǎn)周期短、生產(chǎn)效率高的圓形艙體雙面等離子清洗機(jī)。
[0004]為實現(xiàn)上述目的，本實用新型的技術(shù)解決方案是:
[0005]本實用新型是一種圓形艙體雙面等離子清洗機(jī)，它包括艙體、兩塊高壓極板、射頻高壓頭、治具承載片和支撐架；所述的艙體為一個一端敞開的容置體，在艙體的敞開端上安裝有艙門；所述的兩塊高壓極板通過支撐架安裝在艙體內(nèi)，兩塊高壓極板沿艙體的縱向設(shè)置且平行相對，兩塊高壓極板的尾端通過鋁板連接在一起，射頻高壓頭自艙體底面穿入且射頻高壓頭的穿入端與鋁板連接；所述的治具承載片固定在艙體內(nèi)壁上且位于兩塊高壓極板中間線。
[0006]所述的艙體底面設(shè)有螺紋孔，射頻高壓頭的螺紋體旋入艙體的螺紋口內(nèi)。
[0007]本實用新型還包括一清洗治具，該清洗治具放置在治具承載片上。
[0008]采用上述方案后，由于本實用新型設(shè)有兩塊高壓極板，可一次性完成樣品的雙面等離子清洗，從而大幅降低生產(chǎn)周期，提高生產(chǎn)效率。
[0009]下面結(jié)合附圖和具體實施例對本實用新型作進(jìn)一步的說明。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0010]圖1是本實用新型的正向軸測圖；
[0011]圖2是本實用新型的反向軸測圖；
[0012]圖3是本實用新型的左側(cè)視圖；
[0013]圖4是本實用新型的又側(cè)視圖；
[0014]圖5是本實用新型清洗的立體示意圖；
[0015]圖6是本實用新型清洗的正視圖；
[0016]圖7是本實用新型清洗治具的俯視圖。

【具體實施方式】
[0017]如圖1-圖4所示，本實用新型是一種圓形艙體雙面等離子清洗機(jī)，它包括艙體1、兩塊高壓極板2、射頻高壓頭3、兩塊治具承載片4、支撐架5、清洗治具6。
[0018]所述的艙體I為一個一端敞開的容置體，在艙體I的敞開端上安裝有艙門11，在艙體I的底面設(shè)有螺紋孔；所述的兩塊高壓極板2通過支撐架5安裝在艙體I內(nèi)，即，通過螺桿5將高壓極板2懸空吊裝在艙體I內(nèi)；兩塊高壓極板2沿艙體I的縱向設(shè)置且與上極板平行相對，兩塊高壓極板2的尾端通過鋁板7連接在一起，射頻高壓頭3自艙體I底面螺紋孔穿入，射頻高壓頭3的螺紋體螺接在艙體I底面螺紋孔內(nèi)且射頻高壓頭3的穿入端與鋁板7連接。所述的射頻高壓頭3為陶瓷密封的射頻高壓頭，具有永久性不漏氣和防漏電擊穿等優(yōu)勢。
[0019]所述的兩塊治具承載片4分別固定在艙體I內(nèi)壁上且位于兩塊高壓極板2中間線，即，兩塊治具承載片4之間連線與兩塊高壓極板2的距離相等，以便放置其上的清洗治具6可位于兩塊高壓極板2中間，且便于清洗治具6使用過程中的收取。
[0020]結(jié)合圖5所示，使用時，在清洗治具6上放置樣品10，將放置有樣品10的清洗治具6插入艙體1，清洗治具6的兩側(cè)邊分別搭在兩塊治具承載片4上，關(guān)上艙門11，進(jìn)行清洗。
[0021]如圖圖5-圖7所示，為實現(xiàn)樣品10的等離子雙面清洗，本發(fā)明同時開發(fā)一種針對現(xiàn)有樣品的清洗治具6，以方形樣品10為例，在樣品10放置后可達(dá)到樣品上下表面清洗部分完全暴漏的要求，最終實現(xiàn)雙面等離子清洗。
[0022]本實用新型的重點就在于:設(shè)置兩塊高壓極板。
[0023]以上所述，僅為本實用新型較佳實施例而已，兩塊高壓極板的固定方式可有多種，故不能以此限定本實用新型實施的范圍，即依本實用新型申請專利范圍及說明書內(nèi)容所作的等效變化與修飾，皆應(yīng)仍屬本實用新型專利涵蓋的范圍內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1.一種圓形艙體雙面等離子清洗機(jī)，其特征在于:它包括艙體、兩塊高壓極板、射頻高壓頭、治具承載片和支撐架；所述的艙體為一個一端敞開的容置體，在艙體的敞開端上安裝有艙門；所述的兩塊高壓極板通過支撐架安裝在艙體內(nèi)，兩塊高壓極板沿艙體的縱向設(shè)置且平行相對，兩塊高壓極板的尾端通過鋁板連接在一起，射頻高壓頭自艙體底面穿入且射頻高壓頭的穿入端與鋁板連接；所述的治具承載片固定在艙體內(nèi)壁上且位于兩塊高壓極板中間線。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的圓形艙體雙面等離子清洗機(jī)，其特征在于:所述的艙體底面設(shè)有螺紋孔，射頻高壓頭的螺紋體旋入艙體的螺紋口內(nèi)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的圓形艙體雙面等離子清洗機(jī)，其特征在于:它還包括一清洗治具，該清洗治具放置在治具承載片上。
【文檔編號】B08B7/00GK204074631SQ201420371200
【公開日】2015年1月7日 申請日期:2014年7月7日 優(yōu)先權(quán)日:2014年7月7日
【發(fā)明者】高峰, 林志峰 申請人:日芯光伏科技有限公司