技術(shù)編號(hào)：11409751
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。等離子清洗機(jī)【技術(shù)領(lǐng)域】本發(fā)明涉及半導(dǎo)體制造加工領(lǐng)域，尤其涉及一種去除框架上污染物的等離子清洗機(jī)?！颈尘凹夹g(shù)】引線框架作為集成電路的芯片載體，是一種借助于鍵合材料(金絲、鋁絲、銅絲)實(shí)現(xiàn)芯片內(nèi)部電路引出端與外引線的電氣連接，形成電氣回路的關(guān)鍵結(jié)構(gòu)件，它起到了和外部導(dǎo)線連接的橋梁作用，絕大部分的半導(dǎo)體集成塊中都需要使用引線框架，是電子信息產(chǎn)業(yè)中重要的基礎(chǔ)材料。在半導(dǎo)體制造加工過程中會(huì)在引線框架上遺留溢膠、氧化物等污染物，影響焊線效果，因此需要等離子清洗技術(shù)清洗該污染物。目前對(duì)引線框架進(jìn)行清洗時(shí)，缺...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。