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一種QLED器件的制作方法

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一種QLED器件的制作方法與工藝

本發(fā)明屬于平板顯示技術(shù)領(lǐng)域,尤其涉及一種QLED器件。



背景技術(shù):

量子點(diǎn)發(fā)光二極管(QLED)近年來(lái)受到人們?cè)絹?lái)越多的關(guān)注,主要是由于量子點(diǎn)具有色純度高、發(fā)光效率高等優(yōu)點(diǎn),加上無(wú)機(jī)發(fā)光材料特有的水氧耐受性和穩(wěn)定性,使得QLED技術(shù)在顯示和照明領(lǐng)域的應(yīng)用具有非常大的前景。

QLED技術(shù)來(lái)源于有機(jī)發(fā)光二極管(OLED),最早的QLED器件只是把量子點(diǎn)(quantum dots)作為發(fā)光材料引入到OLED技術(shù)中。2011年無(wú)機(jī)納米氧化鋅作為電子傳輸材料引入到QLED器件中,氧化鋅更高的電子遷移率和穩(wěn)定性極大提高了QLED器件的效率和穩(wěn)定性,促使人們看到了QLED技術(shù)商業(yè)化應(yīng)用的可能。

目前QLED器件結(jié)構(gòu)中,空穴注入和傳輸材料還是以有機(jī)聚合物PEDOT和TFB、poly-TPD等為主。其中PEDOT自身含有PSS等酸性物質(zhì),對(duì)透明電極和其他器件功能層都具有潛在破壞作用;而TFB和poly-TPD等有機(jī)聚合物空穴傳輸材料,由于對(duì)水氧敏感,以及能級(jí)位置(能級(jí)淺,靠近真空能級(jí))等原因,成為限制QLED器件效率和穩(wěn)定性進(jìn)一步提高的瓶頸。



技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素:

本發(fā)明的目的在于提供一種QLED器件,旨在解決現(xiàn)有QLED器件中,空穴注入、傳輸材料多為有機(jī)物,或?qū)LED器件其他功能層有潛在破壞作用,或?qū)λ趺舾小⒛芗?jí)位置不佳,導(dǎo)致QLED器件效率和穩(wěn)定性差的問題。

本發(fā)明是這樣實(shí)現(xiàn)的,一種QLED器件,包括依次設(shè)置的襯底、底電極、 空穴功能層、量子點(diǎn)發(fā)光層、電子功能層和頂電極,所述空穴功能層、所述電子功能層均由無(wú)機(jī)材料制成,且所述空穴功能層和/或所述電子功能層采用MOCVD法制備獲得,其中,所述空穴功能層包括空穴注入層、空穴傳輸層、電子阻擋層中的至少一層,所述電子功能層包括電子注入層、電子傳輸層、空穴阻擋層中的至少一層。

本發(fā)明提供的QLED器件,具有以下優(yōu)點(diǎn):

首先,所述空穴功能層、所述電子功能層均采用無(wú)機(jī)材料制備獲得,形成全無(wú)機(jī)QLED器件。所述無(wú)機(jī)材料可以避免對(duì)所述QLED器件各功能層造成破壞,同時(shí),所述無(wú)機(jī)材料的抗水氧滲透性能較好、晶體結(jié)構(gòu)穩(wěn)定,能夠提高所述QLED器件的整體穩(wěn)定性。此外,所述無(wú)機(jī)材料的能級(jí)深,能夠提高所述QLED器件的效率。

其次,本發(fā)明通過(guò)MOCVD法制備QLED器件中空穴功能層和/或電子功能層,可以減少無(wú)機(jī)材料的缺陷,改善無(wú)機(jī)材料的結(jié)晶度,使得到的無(wú)機(jī)材料的缺陷少、結(jié)晶度高,不僅提高了電子或者空穴的遷移率/傳輸能力,而且極大改善了QLED器件的穩(wěn)定性,延長(zhǎng)了QLED器件的使用壽命,提高了QLED器件的整體性能。

附圖說(shuō)明

圖1是本發(fā)明實(shí)施例提供的QLED器件的結(jié)構(gòu)示意圖;

圖2a是本發(fā)明實(shí)施例提供的QLED器件不同組分條件下AlxGa1-xN的禁帶寬度示意圖;

圖2b是本發(fā)明實(shí)施例提供的QLED器件和不同組分條件下AlxGa1-xN的導(dǎo)帶能級(jí)示意圖。

具體實(shí)施方式

為了使本發(fā)明要解決的技術(shù)問題、技術(shù)方案及有益效果更加清楚明白,以 下結(jié)合實(shí)施例,對(duì)本發(fā)明進(jìn)行進(jìn)一步詳細(xì)說(shuō)明。應(yīng)當(dāng)理解,此處所描述的具體實(shí)施例僅僅用以解釋本發(fā)明,并不用于限定本發(fā)明。

結(jié)合圖1、2a、2b,本發(fā)明實(shí)施例提供了一種QLED器件,包括依次設(shè)置的襯底1、底電極2、空穴功能層3、量子點(diǎn)發(fā)光層4、電子功能層5和頂電極6,所述空穴功能層3、所述電子功能層5均由無(wú)機(jī)材料制成,且所述空穴功能層3和/或所述電子功能層5采用MOCVD法制備獲得,其中,所述空穴功能層3包括空穴注入層、空穴傳輸層、電子阻擋層中的至少一層,所述電子功能層5包括電子注入層、電子傳輸層、空穴阻擋層中的至少一層。

具體的,本發(fā)明實(shí)施例中,所述襯底1的選擇沒有明確限制,可以采用柔性襯底,也可以采用硬質(zhì)襯底,如玻璃襯底。所述底電極2、所述量子點(diǎn)發(fā)光層4、所述頂電極6均可以采用本領(lǐng)域的常規(guī)材料和厚度,本發(fā)明實(shí)施例沒有嚴(yán)格限定。

由于有機(jī)材料的遷移率低,采用有機(jī)材料制備傳輸層得到的QLED器件內(nèi)阻高,且有機(jī)材料對(duì)水氧敏感,影響了QLED器件的整體穩(wěn)定性。本發(fā)明實(shí)施例中,所述空穴功能層3、所述電子功能層5均由無(wú)機(jī)材料制成。采用無(wú)機(jī)材料制成的所述空穴功能層3、所述電子功能層5,可以避免對(duì)所述QLED器件其他各功能層造成破壞,同時(shí),所述無(wú)機(jī)材料的抗水氧滲透性能較好、能級(jí)深,能夠提高所述QLED器件的效率和整體穩(wěn)定性。

QLED器件中,通常采用無(wú)機(jī)納米材料作為載流子傳輸層,而無(wú)機(jī)納米材料比表面大、缺陷多,一方面會(huì)引入大量的無(wú)輻射復(fù)合中心,降低QLED器件的發(fā)光效率;另一方面這些缺陷位置都是引起QLED器件衰減的地方,減少了QLED器件的使用壽命。有鑒于此,本發(fā)明實(shí)施例所述空穴功能層3采用MOCVD法制備獲得;和/或所述電子功能層5采用MOCVD法制備獲得,或者所述電子功能層5采用無(wú)機(jī)納米氧化鋅。通過(guò)所述MOCVD法制備QLED器件中空穴功能層3和/或所述電子功能層5,可以減少無(wú)機(jī)材料的缺陷,改善無(wú)機(jī)材料的結(jié)晶度,使得到的無(wú)機(jī)材料的缺陷少、結(jié)晶度高,不僅提高了載流子(電 子、空穴)的遷移率/傳輸能力,而且極大改善了QLED器件的穩(wěn)定性,延長(zhǎng)了QLED器件的使用壽命,提高了QLED器件的整體性能。

具體的,本發(fā)明實(shí)施例中,所述空穴功能層3空穴注入層、空穴傳輸層、電子阻擋層中的至少一層。優(yōu)選的,所述空穴功能層3為p型InxGa1-xN、p型GaN:Mg、p型AlxGa1-xAsyP1-y、p型AlxGa1-xN中的至少一種形成的材料層,其中,所述x、y的取值范圍滿足:0≤x≤1,0≤y≤1。此處,應(yīng)當(dāng)理解,所述空穴注入層、空穴傳輸層、電子阻擋層可以采用各不相同的材料制成,當(dāng)然,所述空穴注入層、空穴傳輸層、電子阻擋層的兩層或三層可同為p型InxGa1-xN、p型GaN:Mg、p型AlxGa1-xAsyP1-y或p型AlxGa1-xN。本發(fā)明實(shí)施例可以通過(guò)調(diào)整所述p型InxGa1-xN、p型GaN:Mg、p型AlxGa1-xAsyP1-y或p型AlxGa1-xN的材料組份、摻雜濃度等來(lái)優(yōu)化空穴功能層3的遷移率和能級(jí)位置,最終使得針對(duì)不同紅綠藍(lán)發(fā)光量子點(diǎn)材料來(lái)說(shuō),電子和空穴都具有最小的注入勢(shì)壘以及平衡的載流子注入。

當(dāng)然,值得注意的是,當(dāng)所述空穴注入層、空穴傳輸層、電子阻擋層的兩層或三層采用同類型材料時(shí),并不表示各層完全一致。具體的,當(dāng)所述空穴注入層、空穴傳輸層、電子阻擋層中的兩層或三層同為p型InxGa1-xN時(shí),各層x的取值范圍不同;當(dāng)所述空穴注入層、空穴傳輸層、電子阻擋層中的兩層或三層同為p型AlxGa1-xAsyP1-y時(shí),各層x的取值范圍不同,各層y的取值范圍不同;當(dāng)所述空穴注入層、空穴傳輸層、電子阻擋層中的兩層或三層同為p型GaN:Mg時(shí),各層Mg的摻雜濃度不同。當(dāng)所述空穴注入層、空穴傳輸層、電子阻擋層中的兩層或三層同為p型AlxGa1-xN時(shí),各層x的取值范圍不同。

進(jìn)一步的,本發(fā)明實(shí)施例通過(guò)所述MOCVD方法制備高遷移率、高穩(wěn)定性的p型InxGa1-xN、p型GaN:Mg、p型AlxGa1-xAsyP1-y或p型AlxGa1-xN,作為所述QLED器件的空穴功能層3,從而改善所述QLED器件的傳輸性能和穩(wěn)定性。

更進(jìn)一步,所述空穴功能層3的厚度D1優(yōu)選滿足:0<D1≤1000nm。若所述空穴功能層3的厚度過(guò)高,則電阻較大,影響所述QLED的性能。

本發(fā)明實(shí)施例中,所述電子功能層5包括電子注入層、電子傳輸層、空穴阻擋層中的至少一層。優(yōu)選的,所述電子功能層5為無(wú)機(jī)納米氧化鋅、n型GaN:Si/GaN雙層結(jié)構(gòu)、n型AlxGa1-xAsyP1-y、n型GaSb或n型AlxGa1-xN中的至少一種形成的材料層,其中,所述x、y的取值范圍滿足:0≤x≤1,0≤y≤1。此處,應(yīng)當(dāng)理解,所述電子注入層、電子傳輸層、空穴阻擋層可以采用各不相同的材料制成,當(dāng)然,所述電子注入層、電子傳輸層、空穴阻擋層的兩層或三層可同為n型GaN:Si/GaN雙層結(jié)構(gòu)、n型AlxGa1-xAsyP1-y或n型AlxGa1-xN。本發(fā)明實(shí)施例可以通過(guò)調(diào)整所述n型GaN:Si/GaN雙層結(jié)構(gòu)、n型AlxGa1-xAsyP1-y或n型AlxGa1-xN的材料組份、摻雜濃度等來(lái)優(yōu)化電子功能層5的遷移率和能級(jí)位置,最終使得針對(duì)不同紅綠藍(lán)發(fā)光量子點(diǎn)材料來(lái)說(shuō),電子和空穴都具有最小的注入勢(shì)壘以及平衡的載流子注入。其中,圖2a、圖2b分別表示不同組份條件下AlxGa1-xN的禁帶寬度和導(dǎo)帶能級(jí)示意圖。

當(dāng)然,值得注意的是,當(dāng)所述電子注入層、電子傳輸層、空穴阻擋層的兩層或三層采用同類型材料時(shí),并不表示各層完全一致。具體的,當(dāng)所述電子注入層、電子傳輸層、空穴阻擋層中的兩層或三層同為n型AlxGa1-xAsyP1-y時(shí),各層x的取值范圍不同,各層y的取值范圍不同;當(dāng)所述電子注入層、電子傳輸層、空穴阻擋層中的兩層或三層同為n型GaN:Si/GaN雙層結(jié)構(gòu)時(shí),各層Si的摻雜濃度不同;當(dāng)所述電子注入層、電子傳輸層、空穴阻擋層中的兩層或三層同為n型AlxGa1-xN時(shí),各層x的取值范圍不同。

進(jìn)一步的,本發(fā)明實(shí)施例通過(guò)所述MOCVD方法制備無(wú)機(jī)納米氧化鋅、n型GaN:Si/GaN雙層結(jié)構(gòu)、n型AlxGa1-xAsyP1-y或n型GaSb,作為所述QLED器件的電子功能層5,從而改善電子的注入和傳輸能力,從而有效地提高了QLED器件的整體性能。

更進(jìn)一步,所述電子功能層5的厚度D1優(yōu)選滿足:0<D2≤1000nm。若所述電子功能層5的厚度過(guò)高,則電阻較大,影響所述QLED的性能。

作為最佳實(shí)施例,所述空穴功能層3為p型InxGa1-xN、p型GaN:Mg、p 型AlxGa1-xAsyP1-y中的至少一種形成的材料層,所述電子功能層5為無(wú)機(jī)納米氧化鋅、n型GaN:Si/GaN雙層結(jié)構(gòu)、n型AlxGa1-xAsyP1-y、n型GaSb中的至少一種形成的材料層,其中,所述x、y的取值范圍滿足:0≤x≤1,0≤y≤1,且所述空穴功能層3和所述電子功能層5均采用MOCVD法制備獲得。

最佳實(shí)施例中,所述空穴功能層3和所述電子功能層5都由無(wú)機(jī)材料制成,且均采用MOCVD方法制備獲得。由此得到的所述空穴功能層3和所述電子功能層5結(jié)晶度高、缺陷少,極大改善了QLED器件的載流子注入和傳輸效率,提高了QLED器件的效率和器件穩(wěn)定性。

由于紅綠藍(lán)量子點(diǎn)發(fā)光材料中,不同的核殼結(jié)構(gòu)和材料組份以及發(fā)光峰位,具有不同的能級(jí)結(jié)構(gòu)。因此,除了遷移率之外,本發(fā)明實(shí)施例還可以根據(jù)選擇的量子點(diǎn)發(fā)光材料來(lái)針對(duì)性地調(diào)節(jié)載流子傳輸材料的能級(jí)位置,從而達(dá)到降低注入勢(shì)壘的目的。而高遷移率和優(yōu)化的界面能級(jí)會(huì)極大的改善QLED的傳輸能力,并通過(guò)平衡載流子的注入,提高QLED器件效率。

作為一個(gè)具體優(yōu)選實(shí)施例,提供了一種QLED器件,包括依次設(shè)置的襯底1、底電極2、空穴功能層3、量子點(diǎn)發(fā)光層4、電子功能層5和頂電極6,所述空穴功能層3、所述電子功能層5均由無(wú)機(jī)材料制成,且所述空穴功能層3和/或所述電子功能層5采用MOCVD法制備獲得,所述空穴功能層3包括空穴注入層、空穴傳輸層、電子阻擋層中的至少一層,所述電子功能層5包括電子注入層、電子傳輸層、空穴阻擋層中的至少一層,其中,所述量子點(diǎn)發(fā)光層4由紅色量子點(diǎn)CdSe/ZnS、CdSe/CdS/ZnS、CdSe/ZnSe/ZnS、CdSe/CdS/ZnSe/ZnS中的至少一種制成,更優(yōu)選為所述量子點(diǎn)發(fā)光層4由紅色量子點(diǎn)CdSe/ZnS制成,且所述空穴傳輸層為MOCVD法制備的In0.8Ga0.2N,所述電子傳輸層為無(wú)機(jī)納米氧化鋅。

作為一個(gè)具體優(yōu)選實(shí)施例,提供了一種QLED器件,包括依次設(shè)置的襯底1、底電極2、空穴功能層3、量子點(diǎn)發(fā)光層4、電子功能層5和頂電極6,所述空穴功能層3、所述電子功能層5均由無(wú)機(jī)材料制成,且所述空穴功能層3和/ 或所述電子功能層5采用MOCVD法制備獲得,所述空穴功能層3包括空穴注入層、空穴傳輸層、電子阻擋層中的至少一層,所述電子功能層5包括電子注入層、電子傳輸層、空穴阻擋層中的至少一層,其中,所述量子點(diǎn)發(fā)光層4由藍(lán)色量子點(diǎn)CdZnS/ZnS、ZnSe/ZnS、CdZnSe/ZnS中的至少一種制成,更優(yōu)選為所述量子點(diǎn)發(fā)光層4由藍(lán)色量子點(diǎn)CdZnS/ZnS制成,且所述空穴傳輸層為MOCVD法制備的In0.2Al0.8N,所述電子傳輸層為MOCVD法制備的Al0.6Ga0.4As0.6P0.4。

作為一個(gè)具體優(yōu)選實(shí)施例,提供了一種QLED器件,包括依次設(shè)置的襯底1、底電極2、空穴功能層3、量子點(diǎn)發(fā)光層4、電子功能層5和頂電極6,所述空穴功能層3、所述電子功能層5均由無(wú)機(jī)材料制成,且所述空穴功能層3和/或所述電子功能層5采用MOCVD法制備獲得,所述空穴功能層3包括空穴注入層、空穴傳輸層、電子阻擋層中的至少一層,所述電子功能層5包括電子注入層、電子傳輸層、空穴阻擋層中的至少一層,其中,所述量子點(diǎn)發(fā)光層4由綠色量子點(diǎn)CdSe/ZnSe/ZnS、CdSe/ZnS、CdSe/CdS/ZnS、CdSe/CdS/ZnSe/ZnS中的至少一種制成,更優(yōu)選為所述量子點(diǎn)發(fā)光層4由綠色量子點(diǎn)CdSe/ZnSe/ZnS制成,且所述空穴傳輸層為MOCVD法制備的In0.2Ga0.8N,所述電子傳輸層為MOCVD法制備的In0.1Ga0.9As0.8P0.2

本發(fā)明實(shí)施例提供的QLED器件,具有以下優(yōu)點(diǎn):

首先,所述空穴功能層、所述電子功能層均采用無(wú)機(jī)材料制備獲得,形成全無(wú)機(jī)QLED器件。所述無(wú)機(jī)材料可以避免對(duì)所述QLED器件各功能層造成破壞,同時(shí),所述無(wú)機(jī)材料的抗水氧滲透性能較好、晶體結(jié)構(gòu)穩(wěn)定,能夠提高所述QLED器件的整體穩(wěn)定性。此外,所述無(wú)機(jī)材料的能級(jí)深,能夠提高所述QLED器件的效率。

其次,本發(fā)明實(shí)施例通過(guò)MOCVD法制備QLED器件中空穴功能層和/或電子功能層,可以減少無(wú)機(jī)材料的缺陷,改善無(wú)機(jī)材料的結(jié)晶度,使得到的無(wú)機(jī)材料的缺陷少、結(jié)晶度高,不僅提高了電子或者空穴的遷移率/傳輸能力,而 且極大改善了QLED器件的穩(wěn)定性,延長(zhǎng)了QLED器件的使用壽命,提高了QLED器件的整體性能。

以上所述僅為本發(fā)明的較佳實(shí)施例而已,并不用以限制本發(fā)明,凡在本發(fā)明的精神和原則之內(nèi)所作的任何修改、等同替換和改進(jìn)等,均應(yīng)包含在本發(fā)明的保護(hù)范圍之內(nèi)。

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