技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明屬于半導(dǎo)體及微電子器件領(lǐng)域，特別涉及一種高遷移率銦鎵鋅氧薄膜晶體管的低溫液相制備方法。包括如下步驟：稱取可溶性的鋅鹽、錫鹽，量取溶劑，配置濃度為0.01?0.5摩爾/升的銦鎵鋅氧前驅(qū)體溶液，經(jīng)過(guò)0.1?3小時(shí)的磁力攪拌和超聲分散形成澄清透明的銦鎵鋅氧前驅(qū)體溶液；制備銦鎵鋅氧薄膜：將銦鎵鋅氧前驅(qū)體溶液涂覆到預(yù)先涂有介電層/柵極薄膜的襯底上形成銦鎵鋅氧前驅(qū)體薄膜，進(jìn)行50?150?℃的預(yù)熱處理，然后經(jīng)過(guò)一定功率、時(shí)間和溫度的光波退火，根據(jù)銦鎵鋅氧薄膜的厚度要求可多次涂覆前驅(qū)體銦鎵鋅氧溶液并退火處理，即得到銦鎵鋅氧透明半導(dǎo)體薄膜。在銦鎵鋅氧透明半導(dǎo)體薄膜上沉積源漏電極，即得到銦鎵鋅氧薄膜晶體管。本發(fā)明所得銦鎵鋅氧薄膜晶體管性能高，在信息電子領(lǐng)域有重要應(yīng)用前景。通過(guò)本發(fā)明的工藝可以避免通常的高溫溶液工藝、工藝周期長(zhǎng)或昂貴設(shè)備等，成本低，適合工業(yè)化大規(guī)模生產(chǎn)。

技術(shù)研發(fā)人員：夏國(guó)棟;張倩;王素梅
受保護(hù)的技術(shù)使用者：齊魯工業(yè)大學(xué)
文檔號(hào)碼：201610821769
技術(shù)研發(fā)日：2016.09.14
技術(shù)公布日：2016.12.07