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形成背接觸太陽能電池發(fā)射極的方法與流程

文檔序號(hào):12725644閱讀:來源:國知局

技術(shù)特征:

1.一種形成背接觸太陽能電池發(fā)射極的方法,所述方法包括:

通過化學(xué)氣相沉積在基板上方形成第一導(dǎo)電類型的第一固態(tài)摻雜劑源,所述第一固態(tài)摻雜劑源包括通過間隙分開的多個(gè)區(qū)域;

通過印刷而在所述基板上方在所述第一固態(tài)摻雜劑源的所述多個(gè)區(qū)域的所述間隙中形成不與所述第一固態(tài)摻雜劑源的所述多個(gè)區(qū)域接觸的第二導(dǎo)電類型的第二固態(tài)摻雜劑源的區(qū)域,其中所述第一導(dǎo)電類型與所述第二導(dǎo)電類型相反;

在形成所述第一固態(tài)摻雜劑源之前,在所述基板上形成薄介質(zhì)層;以及

在所述薄介質(zhì)層上形成多晶硅層,其中所述第一固態(tài)摻雜劑源和所述第二固態(tài)摻雜劑源在所述多晶硅層上形成。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法,還包括:

在所述第二固態(tài)摻雜劑源的所述區(qū)域與所述第一固態(tài)摻雜劑源的所述多個(gè)區(qū)域之間形成部分地處于所述基板中的溝槽。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的方法,還包括:

加熱所述基板以驅(qū)入所述第一固態(tài)摻雜劑源和所述第二固態(tài)摻雜劑源中的摻雜劑,其中所述加熱使所述第二固態(tài)摻雜劑源硬化。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的方法,還包括:

在形成所述溝槽以及在所述加熱之后,對(duì)所述溝槽所暴露出的所述基板部分進(jìn)行紋理化,其中硬化的所述第二固態(tài)摻雜劑源在所述紋理化期間用作掩模。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法,還包括:

加熱所述基板以將所述第一固態(tài)摻雜劑源和所述第二固態(tài)摻雜劑源中的摻雜劑驅(qū)入所述多晶硅層。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法,其中所述基板為塊體結(jié)晶硅基板。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法,其中所述第二固態(tài)摻雜劑源包含旋涂玻璃前體材料或納米顆粒材料。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法,其中所述第一導(dǎo)電類型為p型,所述第二導(dǎo)電類型為n型,并且所述第一固態(tài)摻雜劑源包含硼硅酸鹽玻璃(BSG)。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法,其中所述第一導(dǎo)電類型為n型,所述第二導(dǎo)電類型為p型,并且所述第一固態(tài)摻雜劑源包含磷硅酸鹽玻璃(PSG)。

10.一種根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法制造的太陽能電池。

11.一種形成太陽能電池發(fā)射極的方法,所述方法包括:

通過印刷而在形成于基板上的薄介質(zhì)層上所形成的半導(dǎo)體層上方形成第一導(dǎo)電類型的第一固態(tài)摻雜劑源,所述第一固態(tài)摻雜劑源包括間隔開的多個(gè)區(qū)域;

通過化學(xué)氣相沉積在所述第一固態(tài)摻雜劑源的上方以及在所述第一固態(tài)摻雜劑源的所述間隔開的多個(gè)區(qū)域之間形成第二導(dǎo)電類型的第二固態(tài)摻雜劑源,其中所述第一導(dǎo)電類型與所述第二導(dǎo)電類型相反;

圖案化所述第二固態(tài)摻雜劑源以形成與所述第一固態(tài)摻雜劑源的所述間隔開的多個(gè)區(qū)域交替而不與所述第一固態(tài)摻雜劑源的所述間隔開的多個(gè)區(qū)域接觸的所述第二固態(tài)摻雜劑源的多個(gè)第一區(qū)域,以及在所述第一固態(tài)摻雜劑源的所述間隔開的多個(gè)區(qū)域上形成所述第二固態(tài)摻雜劑源的多個(gè)第二區(qū)域;以及

將所述第二固態(tài)摻雜劑源的所述多個(gè)第一區(qū)域中的和所述第一固態(tài)摻雜劑源中的摻雜劑驅(qū)入所述半導(dǎo)體層,而防止所述第二固態(tài)摻雜劑源的所述多個(gè)第二區(qū)域中的摻雜劑驅(qū)入所述半導(dǎo)體層。

12.根據(jù)權(quán)利要求11所述的方法,其中所述第一固態(tài)摻雜劑源的所述間隔開的多個(gè)區(qū)域包括所述第一固態(tài)摻雜劑源的多個(gè)不連續(xù)區(qū)域。

13.根據(jù)權(quán)利要求11所述的方法,還包括:

在所述第二固態(tài)摻雜劑源的所述多個(gè)第一區(qū)域與所述第一固態(tài)摻雜劑源的所述間隔開的多個(gè)區(qū)域之間形成處于所述半導(dǎo)體層中的并且部分地處于所述基板中的溝槽。

14.根據(jù)權(quán)利要求13所述的方法,其中驅(qū)入摻雜劑包括加熱所述基板,其中加熱使所述第一固態(tài)摻雜劑硬化。

15.根據(jù)權(quán)利要求14所述的方法,還包括:

在形成所述溝槽以及在所述加熱之后,對(duì)所述溝槽所暴露出的所述基板部分進(jìn)行紋理化,其中硬化的所述第一固態(tài)摻雜劑源在所述紋理化期間用作掩模。

16.根據(jù)權(quán)利要求11所述的方法,其中印刷所述第一固態(tài)摻雜劑源包括印刷旋涂玻璃前體材料或納米顆粒材料。

17.根據(jù)權(quán)利要求11所述的方法,其中所述第一導(dǎo)電類型為n型,所述第二導(dǎo)電類型為p型,并且其中沉積所述第二固態(tài)摻雜劑源包括沉積硼硅酸鹽玻璃(BSG)材料。

18.根據(jù)權(quán)利要求11所述的方法,其中所述第一導(dǎo)電類型為p型,所述第二導(dǎo)電類型為n型,并且其中沉積所述第二固態(tài)摻雜劑源包括沉積磷硅酸鹽玻璃(PSG)材料。

19.一種根據(jù)權(quán)利要求11所述的方法制造的太陽能電池。

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