1.一種互連線結(jié)構(gòu)，其特征在于，包括：
一第一介電層；
一導(dǎo)電特征，存在于該第一介電層中；
一第二介電層，存在于該第一介電層上，且該第二介電層中具有一孔洞；
一導(dǎo)體，存在于該孔洞中及電連接至該導(dǎo)電特征；以及
多個含鋁碎片，至少部分地存在于該孔洞的至少一個側(cè)壁上，其中該孔洞的該側(cè)壁的底部處的所述含鋁碎片的密度大于該孔洞的該側(cè)壁的中部中的所述含鋁碎片的密度。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的互連線結(jié)構(gòu)，其特征在于，還包括：
一含鋁蝕刻停止層，存在于該第一介電層與該第二介電層之間。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的互連線結(jié)構(gòu)，其特征在于，該含鋁蝕刻停止層的材料為氮化鋁、氮氧化鋁、碳化鋁或其組合。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的互連線結(jié)構(gòu)，其特征在于，該孔洞具有至少一個底部轉(zhuǎn)角，所述多個含鋁碎片中的至少一者存在于該孔洞的該底部轉(zhuǎn)角。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的互連線結(jié)構(gòu)，其特征在于，還包含一阻障層，至少部分存在于該導(dǎo)體與該第二介電層之間。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的互連線結(jié)構(gòu)，其特征在于，該導(dǎo)體由一無鋁材料制成。
7.一種互連線結(jié)構(gòu)，其特征在于，包括：
一第一介電層；
一導(dǎo)電特征，存在于該第一介電層中；
一第二介電層，存在于該第一介電層上；
一含鋁蝕刻停止層，存在于該第一介電層與該第二介電層之間；
一導(dǎo)電通孔，至少存在于該第二介電層中且電連接至該導(dǎo)電特征；以及
至少一個含鋁碎片，至少存在于該導(dǎo)電通孔的一底部轉(zhuǎn)角處。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的互連線結(jié)構(gòu)，其特征在于，多個所述含鋁碎片存在于該導(dǎo)電通孔的至少一個側(cè)壁上。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的互連線結(jié)構(gòu)，其特征在于，該導(dǎo)電通孔的該側(cè)壁具有一底部部分及一中間部分，該底部部分比該中間部分更靠近該含鋁蝕刻停止層，該導(dǎo)電通孔的該側(cè)壁的該底部部分上的所述含鋁碎片的密度小于該導(dǎo)電通孔的該側(cè)壁的該中間部分上的所述含鋁碎片的密度。
10.一種用于制造一互連線結(jié)構(gòu)的方法，其特征在于，包括：
在一第一介電層中形成一導(dǎo)電特征；
在該導(dǎo)電特征及該第一介電層上形成一含鋁蝕刻停止層；
在該含鋁蝕刻停止層上形成一第二介電層；以及
蝕刻該第二介電層及該含鋁蝕刻停止層以在該第二介電層及該含鋁蝕刻停止層中形成一孔洞，其中該導(dǎo)電特征至少部分地由該孔洞曝露，該蝕刻該含鋁蝕刻停止層的步驟使得至少一個含鋁碎片重新濺射在該孔洞的至少一個側(cè)壁上。