本發(fā)明屬于半導體二極管生產(chǎn)技術領域，具體是一種二極管管芯總成酸洗裝置及酸洗方法。

背景技術：

半導體二極管，是電子線路中常用的電子零件，可應用于整流，檢波，限幅等電路中。半導體二極管生產(chǎn)過程中，半導體二極管的管芯是由晶圓制成，通常一片晶圓上會有很多二極管單元。通過對晶圓進行切割，可以得到二極管管芯，再把二極管的管芯按一定形式封裝即可以得到電子線路中所使用的二極管。在進行封裝時，需要把引腳通過錫焊的形式，焊接到管芯的兩出線端。將管芯與引腳焊接好以后，得到半導體二極管管芯總成。在半導體二極管管芯焊接引腳的時候，需要使用到助焊劑，導致所焊接出來的半導體二極管管芯總成含有一定的污染雜質。如果不進行清洗就進入塑料封裝環(huán)節(jié)，管芯總成上的污染雜質會影響到半導體二極管P-N結的電性能。目前在工業(yè)生產(chǎn)上，對半導體二極管管芯總成進行酸洗，都是在采用在酸洗設備中進行，但目前常用的酸冼設備整機設置比較分散，設備集中度不高，導致酸洗設備點用很大的廠房面積，一方面對廠房是一種浪費，另一方面整體酸洗的工作效率也不高。

技術實現(xiàn)要素：

本發(fā)明針對上述不足，提供了一種二極管管芯總成酸洗裝置。

一種二極管管芯總成酸洗裝置，包括機架，機架上設置工作傳送帶，工作傳送帶進料端側面設置進料板，工作傳送帶進料端設置與工作傳送帶正對的推料氣缸，推料氣缸的缸桿自由端設置推料塊，工作傳送帶下方沿送料方向依次設置腐蝕液收集箱、鈍化液收集箱，清洗液收集箱，工作傳送帶上方設置腐蝕液噴管與所述腐蝕液收集箱正對，工作傳送帶上方設置鈍化液噴管與所述鈍化液收集箱正對，工作傳送帶上方設置清洗液噴管與所述清洗液收集箱正對，所述腐蝕液噴管、鈍化液噴管、清洗液噴管之間通過隔料板分隔；

工作傳送帶出料端外設置漂洗箱，所述漂洗箱內傾斜設置漂洗傳送帶，漂洗傳送帶出料端高于水面，漂洗傳送帶進料端低于水面，漂洗傳送帶進料端與工作傳送帶出料端之間固定傾斜設置滑板，漂洗箱一側壁設置進水口，底面遠離進水口位置設置排水口；

漂洗傳送帶出料端外側設置超聲波清洗槽，超聲波清洗槽底部設置超聲波發(fā)生器；

超聲波清洗槽后端設置離心脫水裝置，離心脫水裝置后端設置酒精清洗箱。

進一步地，離心脫水裝置包括設置于外部的離心殼體，所述離心殼體為頂部開放的中空圓筒，離心殼體內部設置離心轉子，離心轉子中軸位置設置中心固定架，所述離心轉子內部圓壁設置轉子卡槽，所述轉子卡槽與中心固定架外圓壁上設置的中心卡槽相配對。

進一步地，清洗液儲存箱通過清洗液進料管與清洗液噴管連接，收集箱頂部設置鈍化液儲存箱，所述鈍化液儲存箱通過鈍化液進料管與鈍化液噴管連接，收集箱頂部設置腐蝕液儲存箱，所述腐蝕液儲存箱通過腐蝕液進料管與腐蝕液噴管相連接。

進一步地，收集罩頂部設置抽風管。

進一步地，工作傳送帶中，靠近腐蝕液噴管的側邊高于對面?zhèn)冗叀?/p>

進一步地，腐蝕液收集箱底部設置腐蝕液排料口，鈍化液收集箱底部設置鈍化液排料口，清洗液收集箱底部設計清洗液排料口。

本發(fā)明還提供了一種半導體二極管管芯總成酸洗裝置的酸洗方法，包括以下步驟：

S1，將二極管管芯總成裝入工裝，送入腐蝕液噴管下方，腐蝕液噴管噴灑腐蝕液，所采用腐蝕液為硝酸、氫氟酸、乙酸、硫酸按體積比8：8：13：4混合而成，其中所使用的硝酸濃度為69％，所使用的氫氟酸濃度為40％，所使用的乙酸濃度為98％，所使用的硫酸濃度為98.3％，腐蝕液溫度為15度，腐蝕液噴管噴灑腐蝕液，腐蝕液噴灑時間120秒；

S2，工裝帶二極管管芯總成送入鈍化液噴管下方，所采用鈍化液為磷酸、雙氧水、去離子水按體積比1：1：4混合而成，所使用磷酸濃度為80％，所使用雙氧水濃度為30％，鈍化液噴管噴灑鈍化液，所使用鈍化液溫度為70度，鈍化液噴灑時間為55秒；

S3，工裝帶二極管管芯總成送入清洗液噴管下方，所采用清洗液為氨水、雙氧水、去離子水按體積比1：1：18混合而成，所使用的氨水濃度為15％，所使用雙氧水濃度為30％，清洗液噴管噴灑清洗液，所使用清洗液溫度為18度，清洗液噴灑時間為135秒；

S4，工裝帶二極管管芯總成送入漂洗箱，所采用的漂洗液為去離子水，漂洗采用浸泡方式進行，所使用漂洗液采用循環(huán)更新方式；

S5，將漂洗后的二極管管芯總成進行超聲波清洗，超聲波清洗采用的清洗劑為去離子不；

S6，將超聲波清洗后的二極管管芯總成采用離心脫水裝置去除水分；

S7，將去水后的二極管管芯采用酒精清洗，酒精清洗所使用的酒精純度大于98％；

S8，將酒精清洗后的二極管管芯總成在無塵室內風干去除酒精。

本發(fā)明的二極管管芯總成酸洗裝置，通過在工作傳送帶上方設置腐蝕液噴管，鈍化液噴和清洗液噴管的方式，可以使幾個工作步驟在一條傳送帶上方完成，可以有效減少各個工序之間的物料搬運時間。在用漂洗環(huán)節(jié)，通過工作傳送帶和漂洗傳送帶之間設置的滑板，裝有二極管管芯總成的工裝自動滑到漂洗箱中進行漂洗，可以省去人工搬運。漂洗后的二極管管芯總成在集中到超聲波清洗槽中，開啟超聲波發(fā)生器，使得清洗更徹底。通過超聲波清洗后，再放入到離心脫水裝置中，對二極管管芯上的水分去除。最后再放入酒精清洗箱中，采用酒精清洗，一方面可以進一步去除雜質，另一方面也可以把二極管管芯總成上的水分稀釋到酒精中，最出二極管管芯總成工裝，待酒精揮發(fā)后，二極管管芯總成徹底清洗干凈。

附圖說明

圖1為本發(fā)明主視示意圖。

圖2為本發(fā)明俯視示意圖。

圖3為本發(fā)明的腐蝕噴液管噴灑狀態(tài)圖。

附圖中：1-超聲波清洗槽，2-進水口，3-漂洗傳送帶，4-滑板，5-清洗液儲存箱，6-清洗液噴管，7-鈍化液儲存箱，8-鈍化液噴管，9-腐蝕液儲存箱，10-腐蝕液噴管，11-收集罩，12-工作傳送帶，13-推料塊，14-推料氣缸，15-機架，16-腐蝕液收集箱，17-腐蝕液排料口，18-鈍化液收集箱，19-鈍化液排料口，20- 清洗液收集箱，21-清洗液排料口，22-排水口，23-漂洗箱，24-超聲波發(fā)生器，25-離心脫水裝置，25a-離心殼體，25b-離心轉子，25c-中心固定架，25d-中心止槽，25e-轉子卡槽,26-酒精清洗箱，27-隔料板，28-清洗液進料管，29-鈍化液進料管，30-腐蝕液進料管，31-進料板，32-抽風管，33-工裝。

具體實施方式

結合圖1-3，一種二極管管芯總成酸洗裝置，包括機架15，機架15上設置工作傳送帶12，工作傳送帶12進料端側面設置進料板31，工作傳送帶12進料端設置與工作傳送帶12正對的推料氣缸14，推料氣缸14的缸桿自由端設置推料塊13，工作傳送帶12下方沿送料方向依次設置腐蝕液收集箱16、鈍化液收集箱18，清洗液收集箱20，工作傳送帶12上方設置腐蝕液噴管10與所述腐蝕液收集箱16正對，工作傳送帶12上方設置鈍化液噴管8與所述鈍化液收集箱18正對，工作傳送帶12上方設置清洗液噴管6與所述清洗液收集箱20正對，所述腐蝕液噴管10、鈍化液噴管8、清洗液噴管6之間通過隔料板27分隔；

工作傳送帶12出料端外設置漂洗箱23，所述漂洗箱23內傾斜設置漂洗傳送帶3，漂洗傳送帶3出料端高于水面，漂洗傳送帶3進料端低于水面，漂洗傳送帶3進料端與工作傳送帶12出料端之間固定傾斜設置滑板4，漂洗箱23一側壁設置進水口2，底面遠離進水口2位置設置排水口22；

漂洗傳送帶3出料端外側設置超聲波清洗槽1，超聲波清洗槽1底部設置超聲波發(fā)生器24；

超聲波清洗槽1后端設置離心脫水裝置25，離心脫水裝置25后端設置酒精清洗箱26。

進一步地，離心脫水裝置25包括設置于外部的離心殼體25a，所述離心殼體25a為頂部開放的中空圓筒，離心殼體25a內部設置離心轉子25b，離心轉子25b中軸位置設置中心固定架25c，所述離心轉子25b內部圓壁設置轉子卡槽25e，所述轉子卡槽25e與中心固定架25c外圓壁上設置的中心卡槽25d相配對。

進一步地，清洗液儲存箱5通過清洗液進料管28與清洗液噴管6連接，收集箱頂部設置鈍化液儲存箱7，所述鈍化液儲存箱7通過鈍化液進料管29與鈍化液噴管8連接，收集箱頂部設置腐蝕液儲存箱9，所述腐蝕液儲存箱9通過腐蝕液進料管30與腐蝕液噴管10相連接。

進一步地，收集罩11頂部設置抽風管32。

進一步地，工作傳送帶12中，靠近腐蝕液噴管10的側邊高于對面?zhèn)冗?。結合圖3，圖3中所示中，工裝33放置于工作傳送帶12上方，工作傳送帶12在圖的左側邊靠近腐蝕液噴管10，左側邊在水平方向的位置，高于對面?zhèn)冗叄簿褪菆D3工作傳送帶12右側邊。

對于鈍化液噴管8以及清洗液噴管6也是按圖3所示設置。通過傾斜設置，可以方便腐蝕液，鈍化液，以及清洗液從工作傳送帶12上排出。

腐蝕液收集箱16底部設置腐蝕液排料口17，鈍化液收集箱18底部設置鈍化液排料口19，清洗液收集箱20底部設計清洗液排料口21。各排液口連接到相應的處理裝置上，把這些含有對環(huán)境會造成污染的液體經(jīng)處理后，再進行排放。

本發(fā)明還提供了一種半導體二極管管芯總成酸洗裝置的酸洗方法，包括以下步驟：

S1，將二極管管芯總成裝入工裝33，送入腐蝕液噴管10下方，腐蝕液噴管10噴灑腐蝕液，所采用腐蝕液為硝酸、氫氟酸、乙酸、硫酸按體積比8：8：13：4混合而成，其中所使用的硝酸濃度為69％，所使用的氫氟酸濃度為40％，所使用的乙酸濃度為98％，所使用的硫酸濃度為98.3％，腐蝕液溫度為15度，腐蝕液噴管10噴灑腐蝕液，腐蝕液噴灑時間120秒；

S2，工裝33帶二極管管芯總成送入鈍化液噴管8下方，所采用鈍化液為磷酸、雙氧水、去離子水按體積比1：1：4混合而成，所使用磷酸濃度為80％，所使用雙氧水濃度為30％，鈍化液噴管8噴灑鈍化液，所使用鈍化液溫度為70度，鈍化液噴灑時間為55秒；

S3，工裝33帶二極管管芯總成送入清洗液噴管6下方，所采用清洗液為氨水、雙氧水、去離子水按體積比1：1：18混合而成，所使用的氨水濃度為15％，所使用雙氧水濃度為30％，清洗液噴管6噴灑清洗液，所使用清洗液溫度為18度，清洗液噴灑時間為135秒；

S4，工裝33帶二極管管芯總成送入漂洗箱23，所采用的漂洗液為去離子水，漂洗采用浸泡方式進行，所使用漂洗液采用循環(huán)更新方式；

S5，將漂洗后的二極管管芯總成進行超聲波清洗，超聲波清洗采用的清洗劑為去離子不；

S6，將超聲波清洗后的二極管管芯總成采用離心脫水裝置25去除水分；

S7，將去水后的二極管管芯采用酒精清洗，酒精清洗所使用的酒精純度大于98％；

S8，將酒精清洗后的二極管管芯總成在無塵室內風干去除酒精。

本發(fā)明的二極管管芯總成酸洗裝置在工作時，二極管管芯總成用盛放到酸洗工裝33上，一件工裝33可以盛放多件二極管管芯總成。采用人工，或其它自動輸送裝置把整個工裝33進料板31上，推料氣缸14動作時，通過推料塊13，將工裝33在工作傳送帶12上推動，推料氣缸14動作一次，可以推動一個工裝33的位置。當裝有二極管管芯總成的工裝33到達腐蝕液噴管10下方，腐蝕液噴管10噴出腐蝕液，對二極管管芯總成進行腐蝕，當推料氣缸14不停地間隙式推動時，工裝33也會從腐蝕液噴管10下方移動，腐蝕液噴管10的噴液時間與推料氣缸14的結合，可以使二極管管芯按要求進行腐蝕。經(jīng)過腐蝕以后，工裝33自然到達鈍化液噴管8下方，鈍化液噴管8所噴出的鈍化液對二極管管芯進行鈍化，經(jīng)過鈍化后，工裝33再進放到清洗液噴管6下方，清洗液噴管6噴出清洗液對二極管管芯總成進行清洗。再經(jīng)過在漂洗箱23中，進行浸泡式漂洗去除雜物。經(jīng)過漂洗后，再用超聲波進行清洗，可以去除死角雜物，通過離心脫水裝置25去除多數(shù)水分，再進入到酒精中浸泡清先，最后從酒精中取出后風干即可得到酸洗后的二極管管芯總成，可以進行二極管加工的下一步工序。

本發(fā)明的二極管管芯總成酸洗方法，通過提高腐蝕液噴灑時間，使二極管管芯總成腐蝕更徹底，更有效地去除二極管管芯總成表面的雜質。通過提高鈍化液的鈍化溫度，提高了鈍化效果，提高了二極管成品參數(shù)一致性。在腐蝕、鈍化和清洗過程中，采用噴灑方式施加藥劑，由于二極管管芯總成所接觸的都是新鮮藥劑，整體上提高了加工效果。在清洗后再加入漂洗過程，去除了二極管管芯總成表面殘留的藥劑，防止在后續(xù)工藝中對二極管成品質量造成影響。通過超聲波清洗，可以去除表面粘接的雜質，也及一些死角里用水無法沖洗掉的雜質，進一步提高二極管管芯總成的清潔度。去水后再酒精清洗，一方面酒精與水可以去除二極管管芯表面的水，另一方面，酒精也可以容易一些雜質，進一步提高清洗效果。酒精清洗結束后，通過風干的方式，酒精快速揮發(fā)，使二極管管芯可以快速干燥。

本發(fā)明的二極管管芯總成酸洗方法，所得到的二極管成品參數(shù)一致性高。