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一種基于LTPS的COMS器件及其制作方法與流程

文檔序號:11810069閱讀:來源:國知局

技術(shù)特征:

1.一種基于LTPS的COMS器件,包括NMOS型LTPS,其中,

在NMOS型LTPS的溝道內(nèi)設置有用以降低電子在溝道內(nèi)流通速度的PN結(jié),以避免熱電子效應。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的器件,其特征在于,在NMOS型LTPS的溝道兩端設置有P型重摻雜區(qū),用以在P型重摻雜區(qū)和NMOS型LTPS的溝道之間形成PN結(jié)。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的器件,其特征在于,在NMOS型LTPS的溝道內(nèi)部設置有一P型重摻雜區(qū),用以在P型重摻雜區(qū)和NMOS型LTPS的溝道之間形成PN結(jié)。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的器件,其特征在于,所述P型重摻雜區(qū)位于NMOS型LTPS的溝道的中間。

5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的器件,其特征在于,所述NMOS型LTPS還包括:

緩沖層,設置于NMOS型LTPS的溝道所在的溝道層下;

柵絕緣層,設置于NMOS型LTPS的溝道所在的溝道層和裸露的緩沖層上;

柵極層,設置于柵絕緣層上;

介質(zhì)層,設置于柵極層及裸露的柵絕緣層上;

源漏極,設置于介質(zhì)層上并與NMOS型LTPS的溝道兩端連通。

6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的器件,其特征在于,所述NMOS型LTPS還包括:

緩沖層,設置于NMOS型LTPS的溝道所在的溝道層下;

柵絕緣層,設置于NMOS型LTPS的溝道所在的溝道層和裸露的緩沖層上;

柵極層,設置于柵絕緣層上;

介質(zhì)層,設置于柵極層及裸露的柵絕緣層上;

源漏極,設置于介質(zhì)層上并與NMOS型LTPS的溝道兩端連通。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的器件,其特征在于,所述器件還包括一PMOS型LTPS,其中,所述PMOS型LTPS包括:

緩沖層,設置于基板上;

溝道層,設置于緩沖層上;

柵絕緣層,設置于PMOS型LTPS的溝道層和裸露的緩沖層上;

柵極層,設置于柵絕緣層上;

介質(zhì)層,設置于柵極層及裸露的柵絕緣層上;

源漏極,設置于介質(zhì)層上并與PMOS型LTPS的溝道兩端連通。

8.一種用于制作基于LTPS的COMS器件的方法,包括:

在基板上形成緩沖層;

在緩沖層上對應PMOS區(qū)域和NMOS區(qū)域均形成PMOS型LTPS溝道層;

對NMOS區(qū)域的PMOS型LTPS溝道層的溝道進行N型輕摻雜處理以形成NMOS型LTPS溝道層;

對NMOS區(qū)域的LTPS溝道兩端和PMOS區(qū)域的LTPS溝道兩端進行P型重摻雜處理;

在NMOS型LTPS溝道層、PMOS型LTPS溝道層和裸露的緩沖層上形成柵絕緣層;

在柵絕緣層上形成柵極層;

在柵極層及裸露的柵絕緣層上形成介質(zhì)層;

在介質(zhì)層上形成源漏極。

9.一種用于制作基于LTPS的COMS器件的方法,包括:

在基板上形成緩沖層;

在緩沖層上對應PMOS區(qū)域和NMOS區(qū)域均形成PMOS型LTPS溝道層;

對NMOS區(qū)域的PMOS型LTPS溝道層的溝道中間區(qū)域進行P型重摻雜處理;

對NMOS區(qū)域的LTPS溝道層的溝道進行N型輕摻雜處理以形成NMOS型LTPS溝道層;

對NMOS型LTPS溝道層的溝道兩端進行N型重摻雜處理;

對PMOS區(qū)域的LTPS溝道層的溝道兩端進行P型重摻雜處理;

在NMOS型LTPS溝道層、PMOS型LTPS溝道層和裸露的緩沖層上形成柵絕緣層;

在柵絕緣層上形成柵極層;

在柵極層及裸露的柵絕緣層上形成介質(zhì)層;

在介質(zhì)層上形成源漏極。

10.一種用于制作基于LTPS的COMS器件的方法,包括:

在基板上形成緩沖層;

在緩沖層上對應PMOS區(qū)域和NMOS區(qū)域均形成PMOS型LTPS溝道層;

對NMOS區(qū)域的PMOS型LTPS溝道層的溝道中間區(qū)域進行P型重摻雜處理;

對NMOS區(qū)域的LTPS溝道層的溝道進行N型輕摻雜處理以形成NMOS型LTPS溝道層;

對PMOS區(qū)域的LTPS溝道層的溝道兩端進行P型重摻雜處理;

對NMOS區(qū)域的LTPS溝道層的溝道兩端進行N型重摻雜處理;

在NMOS型LTPS溝道層、PMOS型LTPS溝道層和裸露的緩沖層上形成柵絕緣層;

在柵絕緣層上形成柵極層;

在柵極層及裸露的柵絕緣層上形成介質(zhì)層;

在介質(zhì)層上形成源漏極。

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