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用于植物照明的發(fā)光二極管及其制作方法與流程

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技術(shù)特征:

1.用于植物照明的發(fā)光二極管外延片,從下到上依次包括:生長(zhǎng)襯底、第一紅光發(fā)光外延疊層、DBR半導(dǎo)體疊層及第二紅光發(fā)光外延疊層,其中第一紅光發(fā)光外延疊層包含第一N型歐姆接觸層、第一N型覆蓋層、第一發(fā)光層、第一P型覆蓋層及第一P型歐姆接觸層,所述第二紅光發(fā)光外延疊層包含第二N型歐姆接觸層、第二N型覆蓋層、第二發(fā)光層、第二P型覆蓋層及第二P型歐姆接觸層。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于植物照明的發(fā)光二極管外延片,其特征在于:所述DBR半導(dǎo)體疊層的摻雜溶度不大于5E17,形成一高阻值界面。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于植物照明的發(fā)光二極管外延片,其特征在于:所述第一發(fā)光層的發(fā)光波長(zhǎng)為710nm~750nm,所述第二發(fā)光層的發(fā)光波長(zhǎng)為640~680nm。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于植物照明的發(fā)光二極管外延片,其特征在于:所述DBR半導(dǎo)體疊層與第二紅光發(fā)光外延疊層之間還設(shè)有一蝕刻截止層。

5.用于植物照明的發(fā)光二極管芯片,從上至下包括:第一紅光發(fā)光外延疊層、DBR半導(dǎo)體疊層、第二紅光發(fā)光外延疊層及導(dǎo)電基板;所述第一紅光發(fā)光外延疊層包含第一N型歐姆接觸層、第一N型覆蓋層、第一發(fā)光層、第一P型覆蓋層及第一P型歐姆接觸層;所述第二紅光發(fā)光外延疊層包含第二N型歐姆接觸層、第二N型覆蓋層、第二發(fā)光層、第二P型覆蓋層及第二P型歐姆接觸層;所述第二紅光發(fā)光外延疊層所述第一紅光發(fā)光外延疊層的發(fā)光面積小于所述第二紅光發(fā)光外延疊層的發(fā)光面積;所述第一N型歐姆接觸層上設(shè)有第一電極,所述第一P型歐姆接觸層與所述第二N型歐姆接觸層之間設(shè)有電連接結(jié)構(gòu),第二P型歐姆接觸層上設(shè)有第二電極。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的用于植物照明的發(fā)光二極管芯片,其特征在于:所述第一發(fā)光層的發(fā)光波長(zhǎng)為710nm~750nm,所述第二發(fā)光層的發(fā)光波長(zhǎng)為640~680nm。

7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的用于植物照明的發(fā)光二極管芯片,其特征在于:所述DBR半導(dǎo)體疊層與第二紅光發(fā)光外延疊層之間還設(shè)有一蝕刻截止層。

8.根據(jù)權(quán)利要求5所述的用于植物照明的發(fā)光二極管芯片,其特征在于:所述DBR半導(dǎo)體疊層的摻雜溶度不大于5E17,形成一高阻值界面。

9.根據(jù)權(quán)利要求5所述的用于植物照明的發(fā)光二極管芯片,其特征在于:所述第二紅光發(fā)光外延疊層的表面預(yù)設(shè)為發(fā)光區(qū)和非發(fā)光區(qū),所述DBR半導(dǎo)體疊層形成于所述第二紅光發(fā)光外延疊層的非發(fā)光區(qū)之上。

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的用于植物照明的發(fā)光二極管芯片,其特征在于:所述DBR半導(dǎo)體疊層的面積小于所述第二紅光發(fā)光外延疊層的發(fā)光面積,但大于所述第一紅光發(fā)光外延疊層的發(fā)光面積。

11.根據(jù)權(quán)利要求9所述的用于植物照明的發(fā)光二極管芯片,其特征在于:所述第二N型歐姆接觸層表面上的發(fā)光區(qū)設(shè)有電流擴(kuò)展結(jié)構(gòu)。

12.用于植物照明的發(fā)光二極管芯片的制作方法,包括步驟:

1)外延生長(zhǎng):提供一生長(zhǎng)襯底,在其表面上形成權(quán)利要求1至5所述的任意一種外延片;

2)襯底轉(zhuǎn)移:在前述形成的外延片表面上粘結(jié)導(dǎo)電基板,并去除生長(zhǎng)襯底,裸露出所述外延片的第一N型歐姆接觸層表面;

3)定義發(fā)光區(qū):在所述外延片的表面上定義第一發(fā)光區(qū)和第二發(fā)光區(qū),去除第二發(fā)光區(qū)的第一N型歐姆接觸層、第一N型覆蓋層、第一發(fā)光層、第一P型覆蓋層,裸露出所述第一P型歐姆接觸層;

4)制作電極:去除所述第二發(fā)光區(qū)的DBR半導(dǎo)體疊層,裸露出第二N型歐姆接觸層的表面,在所述第一N型歐姆接觸層的表面上制作N型電極,并制作電連接結(jié)構(gòu),電性連接所述第一P型歐姆接觸層和第二N型歐姆接觸層。

13.根據(jù)權(quán)利要求12所述的用于植物照明的發(fā)光二極管芯片的制作方法,其特征在于:所述步驟3)中,所述外延片的表面還定義有隔離區(qū),其位于所述第一發(fā)光區(qū)和第二發(fā)光區(qū)之間。

14.根據(jù)權(quán)利要求13所述的用于植物照明的發(fā)光二極管芯片的制作方法,其特征在于:所述步驟3)中,去除第二發(fā)光區(qū)和隔離區(qū)的第一N型歐姆接觸層、第一N型覆蓋層、第一發(fā)光層、第一P型覆蓋層。

15.根據(jù)權(quán)利要求14所述的用于植物照明的發(fā)光二極管芯片的制作方法,其特征在于:完成所述步驟4)后,所述DBR層的面積大于所述第一發(fā)光區(qū)的面積,但小于所述第二發(fā)光區(qū)的面積。

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