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制造薄膜晶體管的方法、薄膜晶體管及顯示裝置與流程

文檔序號(hào):11836927閱讀:來(lái)源:國(guó)知局

技術(shù)特征:

1.一種制造薄膜晶體管的方法,其特征在于,包括:

在基底上形成包括源極區(qū)、漏極區(qū)和溝道區(qū)的半導(dǎo)體層;

在所述半導(dǎo)體層上制備金屬層;

將所述金屬層的特定區(qū)域進(jìn)行預(yù)設(shè)化學(xué)反應(yīng),形成覆蓋于所述溝道區(qū)的絕緣區(qū)域、與所述源極區(qū)接觸的第一金屬區(qū)域及與所述漏極區(qū)接觸的第二金屬區(qū)域;

形成與所述第一金屬區(qū)域電連接的源極、與所述第二金屬區(qū)域電連接的漏極以及設(shè)置于所述絕緣區(qū)域上的柵極。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的制造薄膜晶體管的方法,其特征在于,所述絕緣區(qū)域與所述第一金屬區(qū)域之間設(shè)有第一待處理區(qū)域,在所述第一待處理區(qū)域中的部分區(qū)域進(jìn)行所述預(yù)設(shè)化學(xué)反應(yīng);和/或

所述絕緣區(qū)域與所述第二金屬區(qū)域之間設(shè)有第二待處理區(qū)域,在所述第二待處理區(qū)域中的部分區(qū)域進(jìn)行所述預(yù)設(shè)化學(xué)反應(yīng)。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的制造薄膜晶體管的方法,其特征在于,所述第一待處理區(qū)域和/或所述第二待處理區(qū)域中的被反應(yīng)區(qū)域間隔設(shè)置,在所述被反應(yīng)區(qū)域進(jìn)行所述預(yù)設(shè)化學(xué)反應(yīng)。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的制造薄膜晶體管的方法,其特征在于,位于所述所述柵極之下的被反應(yīng)區(qū)域間隔設(shè)置。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的制造薄膜晶體管的方法,其特征在于,所述絕緣區(qū)域的面積大于所述溝道區(qū)的面積。

6.一種薄膜晶體管,其特征在于,包括:

源極;

漏極,與所述源極間隔設(shè)置;

柵極,與所述源極、漏極間隔設(shè)置;

半導(dǎo)體層,包括源極區(qū)、漏極區(qū)和位于所述源極區(qū)和漏極區(qū)之間的溝道區(qū);

金屬層,包括位于所述源極區(qū)和所述源極之間的且與所述源極區(qū)及所述源極接觸的第一金屬區(qū)域,位于所述漏極區(qū)和所述漏極之間的且與所述漏極區(qū)及所述漏極接觸的第二金屬區(qū)域,以及位于所述溝道區(qū)和所述柵極之間的且與所述溝道區(qū)及所述柵極接觸的絕緣區(qū)域。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的薄膜晶體管,其特征在于,所述絕緣區(qū)域與所述第一金屬區(qū)域之間設(shè)有第一待處理區(qū)域,在所述第一待處理區(qū)域中的部分區(qū)域進(jìn)行所述預(yù)設(shè)化學(xué)反應(yīng);和/或

所述絕緣區(qū)域與所述第二金屬區(qū)域之間設(shè)有第二待處理區(qū)域,所述第二待處理區(qū)域中的部分區(qū)域進(jìn)行所述預(yù)設(shè)化學(xué)反應(yīng)。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的薄膜晶體管,其特征在于,所述第一待處理區(qū)域和/或所述第二待處理區(qū)域中的被反應(yīng)區(qū)域間隔設(shè)置,所述被反應(yīng)區(qū)域進(jìn)行所述預(yù)設(shè)化學(xué)反應(yīng)。

9.根據(jù)權(quán)利要求6所述的薄膜晶體管,其特征在于,位于所述所述柵極之下的被反應(yīng)區(qū)域間隔設(shè)置。

10.一種顯示裝置,其特征在于,包括上述權(quán)利要求6~9中任意一項(xiàng)所述的薄膜晶體管。

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