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陣列基板及其制作方法、液晶顯示面板與流程

文檔序號:12370185閱讀:來源:國知局

技術特征:

1.一種陣列基板,其特征在于,所述陣列基板包括依次層疊設置的玻璃基板、光刻膠層、第一金屬層、介電層、緩沖層和第二金屬層,所述光刻膠層靠近所述第一金屬層的一側設有多個凸起結構,所述第一金屬層覆蓋所述凸起結構,所述第一金屬層、所述介電層、所述緩沖層和所述第二金屬層呈現(xiàn)與所述凸起結構相同的形狀。

2.如權利要求1所述的陣列基板,其特征在于,所述第一金屬層、所述介電層、所述緩沖層和所述第二金屬層截面為波浪形或折線形或鋸齒形。

3.如權利要求1所述的陣列基板,其特征在于,所述介電層材料為TiO2、Ta2O5或HfO2

4.如權利要求1所述的陣列基板,其特征在于,所述緩沖層材料為SiNx或SiO2。

5.一種液晶顯示面板,其特征在于,包括權利要求1-4任意一項所述的陣列基板。

6.一種陣列基板的制作方法,其特征在于,包括如下步驟:

提供一玻璃基板,在所述玻璃基板上涂覆光刻膠,形成光刻膠層;

在所述光刻膠層上遮蓋多灰階掩膜版并對該光刻膠層進行光刻,以在所述光刻膠層上形成多個凸起結構;

在所述光刻膠層上依次形成第一金屬層、介電層、緩沖層和第二金屬層,其中,所述第一金屬層、所述介電層、所述緩沖層和所述第二金屬層與所述凸起結構的形狀相同。

7.如權利要求6所述的陣列基板的制作方法,其特征在于,在所述光刻膠層上依次形成第一金屬層、介電層、緩沖層和第二金屬層,包括:在所述光刻膠層上濺射第一金屬,刻蝕出設計的圖案形成所述第一金屬層。

8.如權利要求6所述的陣列基板的制作方法,其特征在于,所述多灰階掩膜版為半色調掩膜版或灰色調掩膜版。

9.如權利要求8所述的陣列基板的制作方法,其特征在于,在所述光刻膠層上遮蓋多灰階掩膜版進行光刻,以在所述光刻膠層上形成凸起結構步驟中,包括:光線通過所述半色調掩膜版或灰色調掩膜版后,在所述光刻膠層上形成周期性的光形,光刻出所述凸起結構。

10.如權利要求6所述的陣列基板的制作方法,其特征在于,所述介電層材料為TiO2、Ta2O5或HfO2,所述緩沖層材料為SiNx或SiO2。

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