1.一種背鈍化太陽能電池的激光脈沖方法,包括以下步驟:
A、對單晶硅片進(jìn)行制絨處理,形成金字塔絨面;
B、擴(kuò)散制備PN結(jié);
C、拋光去除邊結(jié)及表面缺陷,使背表面平整;
D、通過ALD、PECVD使正背面形成鈍化膜層;
E、在背表面采用激光設(shè)備進(jìn)行激光開槽,開槽采用脈沖方式為多脈沖,脈沖數(shù)為2-5;
F、絲網(wǎng)印刷形成正電極,背電極及背場;
G、燒結(jié)使金屬與硅之間形成良好的歐姆接觸。
2.按照權(quán)利要求1所述的背鈍化太陽能電池的激光脈沖方法,其特征在于:所述步驟G完成后進(jìn)行測試電池的電性能。
3.按照權(quán)利要求1或2所述的背鈍化太陽能電池的激光脈沖方法,其特征在于:所述步驟E中,輸出功率為10-40W,頻率為400-1000KHz,頻率與脈沖數(shù)相對應(yīng),頻率與脈沖數(shù)乘積小于2000。
4.按照權(quán)利要求1所述的背鈍化太陽能電池的激光脈沖方法,其特征在于:所述鈍化膜為氧化鋁、氮化硅或氧化硅薄膜或其中至少兩種材料的疊層膜,膜層厚度為50-300 nm。
5.按照權(quán)利要求1所述的背鈍化太陽能電池的激光脈沖方法,其特征在于:所述激光設(shè)備為皮秒、亞秒或納秒激光器。