技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明公開了一種高效率發(fā)光的納米ZnO/AlN異質(zhì)結(jié)的制備方法，其步驟如下：一、將襯底浸入濃硫酸和雙氧水混合溶液中，在80～100℃保溫5～15min，去除表面氧化物，然后分別在丙酮、去離子水以及乙醇溶液中各超聲清洗5～15min，浸泡在乙醇中待用；二、通過磁控濺射技術(shù)在襯底上制備氧化鋅種子層；三、通過化學(xué)溶液法在濺射有氧化鋅種子層的襯底上生長(zhǎng)氧化鋅納米陣列；四、通過磁控濺射技術(shù)在氧化鋅納米陣列上濺射氮化鋁薄膜，形成ZnO/AlN異質(zhì)結(jié)。本發(fā)明獲得了低成本高效發(fā)光的ZnO/AlN異質(zhì)結(jié)，其光致發(fā)光性能十分顯著，可為ZnO低維結(jié)構(gòu)材料在高量子效率光電器件方面，特別是高效藍(lán)光LED的應(yīng)用方面提供有效的技術(shù)支撐。

技術(shù)研發(fā)人員：王金忠;趙迎春;王琳
受保護(hù)的技術(shù)使用者：哈爾濱工業(yè)大學(xué)
文檔號(hào)碼：201610587257
技術(shù)研發(fā)日：2016.07.25
技術(shù)公布日：2016.12.07