技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明提供一種采用MEMS工藝制備有機(jī)微通道板的方法，包括以下步驟：采用MEMS工藝制備出具有高深寬比結(jié)構(gòu)的硅基基底；2)采用ALD或化學(xué)氣相沉積的方法在步驟1)制備的硅基基底上沉積有機(jī)物；3)通過(guò)機(jī)械減薄方式將硅基基底表面多余的有機(jī)物去除，露出基底上表面；4)通過(guò)化學(xué)腐蝕的方式將硅基底去除，形成有機(jī)微通道；5)通過(guò)原子層沉積工藝在有機(jī)微通道內(nèi)部沉積導(dǎo)電層和二次電子發(fā)射層，最終得到有機(jī)微通道板。本發(fā)明方法制備的有機(jī)微通道板具有介電常數(shù)低，介電損耗小的有點(diǎn)，能夠保證分幅相機(jī)中脈沖電壓的高幅度和低損耗性能，進(jìn)而提高分幅相機(jī)的增益強(qiáng)度和增益均勻性。

技術(shù)研發(fā)人員：曹偉偉;朱炳利;秦君軍;白永林;王博;白曉紅;緱永勝;劉百玉;徐鵬
受保護(hù)的技術(shù)使用者：中國(guó)科學(xué)院西安光學(xué)精密機(jī)械研究所
文檔號(hào)碼：201610565485
技術(shù)研發(fā)日：2016.07.18
技術(shù)公布日：2016.12.07