技術(shù)編號：11955500
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明屬于微機(jī)電系統(tǒng)技術(shù)和半導(dǎo)體技術(shù)領(lǐng)域，具體地涉及一種采用MEMS工藝制備有機(jī)微通道板的方法。背景技術(shù)微通道板(MCP)是20世紀(jì)60年代末開發(fā)成功的一種簡單緊湊的電子倍增器件,由光纖,玻璃,鉛等材料組成。它實(shí)際上是一塊通道內(nèi)壁具有良好二次發(fā)射特性和一定導(dǎo)電性能的微細(xì)空心通道鉛玻璃纖維面板。微通道板(MCP)分幅管是MCP行波選通X射線分幅相機(jī)(MCP－XFC)最關(guān)鍵的組成部分，由鍍制有光電陰極構(gòu)成的微帶線的MCP和制作在光纖面板上的熒光屏組成。一束X光或是紫外光照射光電陰極，就會產(chǎn)生光電子，...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。