技術特征：

技術總結
所公開的是一種用于處理基板的設備，該設備具有用于裝載、加工、傳遞以及卸載基板的多級室結構，由此減小占用面積，并且該設備包括設置在裝載室和卸載室的內部的傳遞單元中的大的輥子，使得基板能夠在與基板的傳遞方向平行的方向上裝載和卸載，由此簡化了用于裝載和卸載基板的結構，并且縮短了用于處理基板的生產(chǎn)節(jié)拍。

技術研發(fā)人員：高永旭
受保護的技術使用者：威海機械系統(tǒng)顯示有限公司
技術研發(fā)日：2016.07.07
技術公布日：2017.07.28