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電子器件及制造其的方法與流程

文檔序號:12552694閱讀:來源:國知局

技術(shù)特征:

1.一種半導(dǎo)體器件,包括:

多個第一接觸,沿第一方向和與第一方向交叉的第二方向以預(yù)定距離布置;

多個第二接觸,交替地布置在第一接觸之間,且沿第一方向和第二方向以預(yù)定距離布置;

多個狗骨頭型導(dǎo)線,分別連接至所述多個第二接觸之中的沿第二方向布置的第二接觸,且具有凹部和凸部;以及

多個刻蝕阻止圖案,分別形成在所述多個導(dǎo)線之上以與導(dǎo)線交疊。

2.如權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體器件,其中,刻蝕阻止圖案的線寬等于或大于導(dǎo)線的線寬。

3.如權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體器件,其中,導(dǎo)線的凹部位于與第一接觸相對應(yīng)的位置處。

4.如權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體器件,其中,導(dǎo)線的凸部位于沿第二方向布置的第二接觸之上。

5.如權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體器件,其中,刻蝕阻止圖案以具有凹部和凸部的狗骨頭型來形成,且刻蝕阻止圖案的線寬等于或大于導(dǎo)線的線寬。

6.如權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體器件,其中,刻蝕阻止圖案具有凹部和凸部,且以反狗骨頭型來形成,所述反狗骨頭型的凸部和凹部分別與導(dǎo)線的凹部和凸部交疊。

7.如權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體器件,其中,刻蝕阻止圖案以線型來形成,且刻蝕阻止圖案的線寬等于或大于導(dǎo)線的凸部的線寬。

8.如權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體器件,還包括形成在導(dǎo)線的兩個側(cè)表面上的間隔物。

9.如權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體器件,還包括以網(wǎng)格型布置而與第一接觸交疊的多個第三接觸。

10.如權(quán)利要求9所述的半導(dǎo)體器件,還包括布置在第三接觸之上以與第三接觸接觸的數(shù)據(jù)儲存元件。

11.如權(quán)利要求10所述的半導(dǎo)體器件,其中,數(shù)據(jù)儲存元件包括電容器或可變電阻元件。

12.如權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體器件,其中,刻蝕阻止圖案包括絕緣材料。

13.如權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體器件,其中,刻蝕阻止圖案包括氮化物材料。

14.一種半導(dǎo)體器件,包括:

多個第一接觸,沿第一方向和與第一方向交叉的第二方向以預(yù)定距離布置;

多個第二接觸,交替地布置在第一接觸之間,且沿第一方向和第二方向以預(yù)定距離布置;

多個導(dǎo)線,分別連接至所述多個第二接觸之中的沿第二方向布置的第二接觸;以及

多個刻蝕阻止圖案,分別形成在所述多個導(dǎo)線之上以與導(dǎo)線交疊,且刻蝕阻止圖案的線寬等于或大于導(dǎo)線的線寬。

15.如權(quán)利要求14所述的半導(dǎo)體器件,其中,刻蝕阻止圖案包括線圖案。

16.如權(quán)利要求14所述的半導(dǎo)體器件,其中,刻蝕阻止圖案以具有凹部和凸部的狗骨頭型來形成,且刻蝕阻止圖案的凸部位于與第一接觸相對應(yīng)的位置處。

17.如權(quán)利要求14所述的半導(dǎo)體器件,還包括形成在導(dǎo)線的兩個側(cè)表面上的間隔物。

18.如權(quán)利要求14所述的半導(dǎo)體器件,還包括以網(wǎng)格型布置以與第一接觸交疊的多個第三接觸。

19.如權(quán)利要求14所述的半導(dǎo)體器件,其中,刻蝕阻止圖案包括絕緣材料。

20.如權(quán)利要求14所述的半導(dǎo)體器件,其中,刻蝕阻止圖案包括氮化物材料。

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