本申請要求2015年6月19日在韓國知識產(chǎn)權(quán)局提交的韓國專利申請案第10-2015-0087823號的權(quán)益，所述專利申請案以全文引用的方式并入本文中。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及一種有機(jī)發(fā)光二極管顯示器設(shè)備。

背景技術(shù)：

有機(jī)發(fā)光二極管易因濕氣和/或氣體受損。有機(jī)發(fā)光二極管可能因濕氣而在金屬區(qū)域與發(fā)光層之間的界面遭受分層。有機(jī)發(fā)光二極管可能因金屬氧化而具有高電阻，并且在發(fā)光層中可能因濕氣和/或氧氣而遭受有機(jī)物質(zhì)降解。有機(jī)發(fā)光二極管可能因通過在有機(jī)發(fā)光二極管內(nèi)部或外部除氣而發(fā)光層或金屬區(qū)域發(fā)生氧化而遭受發(fā)光劣化。因此，有機(jī)發(fā)光二極管必須由能夠保護(hù)有機(jī)發(fā)光二極管免受濕氣和/或氣體的包封組成物包封。

有機(jī)發(fā)光二極管可以由具有多層結(jié)構(gòu)的包封層包封，其中有機(jī)層和無機(jī)層一個(gè)在另一個(gè)上交替堆疊。有機(jī)層可以由等離子沉積形成。然而，有機(jī)層可以由等離子進(jìn)行蝕刻。有機(jī)層的蝕刻可能降低有機(jī)層的包封功能并且對無機(jī)層的形成造成不良影響。有機(jī)層中的每一個(gè)形成于兩個(gè)相鄰無機(jī)層之間。如果有機(jī)層呈現(xiàn)低等離子抗性，那么可能難以形成無機(jī)層。因此，有機(jī)發(fā)光二極管的發(fā)光特性和可靠性可能遭受劣化。

包封層包含襯底上的多個(gè)無機(jī)層。因此，包封層可能遭受無機(jī)層之間的略微提升和/或分層或襯底與無機(jī)層之間的略微提升。因此，無機(jī)層不足以防止?jié)駳夂?或氧氣滲透有機(jī)發(fā)光二極管。

韓國專利早期公開案第2011-0071039號中公開了本發(fā)明的背景技術(shù)。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本發(fā)明的一個(gè)方面提供一種包含展現(xiàn)高等離子抗性的有機(jī)層的有機(jī)發(fā)光二極管顯示器設(shè)備。

本發(fā)明的另一方面提供一種包含水蒸氣滲透性和氧氣滲透性顯著低的有機(jī)層的有機(jī)發(fā)光二極管顯示器設(shè)備。

本發(fā)明的另一方面提供一種包含展現(xiàn)優(yōu)良透光度的有機(jī)層的有機(jī)發(fā)光二極管顯示器設(shè)備。

本發(fā)明的又一方面為提供一種有機(jī)發(fā)光二極管顯示器設(shè)備，所述顯示器設(shè)備包含能夠通過保護(hù)有機(jī)發(fā)光二極管顯示器設(shè)備免受包括濕氣和氣體的圍繞而在運(yùn)行時(shí)間內(nèi)確?？煽啃缘挠袡C(jī)層。

本發(fā)明的又一方面為提供一種有機(jī)發(fā)光二極管顯示器設(shè)備，其中形成與無機(jī)層相比的更易因濕氣和/或氧氣受損的有機(jī)層以便不會(huì)在包封層的邊緣暴露，由此改進(jìn)運(yùn)行時(shí)間內(nèi)的可靠性。

本發(fā)明的又一方面提供一種有機(jī)發(fā)光二極管顯示器設(shè)備，其中形成兩個(gè)相鄰無機(jī)層以彼此接觸以防止無機(jī)層之間或襯底與無機(jī)層之間的略微提升和/或分層，由此抑制濕氣和/或氧氣經(jīng)由其邊緣滲透到包封層中。

根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)方面，有機(jī)發(fā)光二極管顯示器設(shè)備包含：襯底；安置于所述襯底上的有機(jī)發(fā)光二極管；以及包封所述有機(jī)發(fā)光二極管的包封層，其中所述包封層具有兩個(gè)或多于兩個(gè)無機(jī)層和一個(gè)或多個(gè)有機(jī)層一個(gè)在另一個(gè)上交替堆疊的結(jié)構(gòu)，兩個(gè)相鄰無機(jī)層至少部分彼此接觸，并且所述有機(jī)層由包封組成物形成，且其中所述包封組成物包含：10重量％到70重量％的(A)非硅類二(甲基)丙烯酸酯、20重量％到70重量％的(B)硅類二(甲基)丙烯酸酯、5重量％到40重量％的(C)單(甲基)丙烯酸酯以及1重量％到10重量％的(D)起始劑，所述(B)硅類二(甲基)丙烯酸酯由式1表示：

(其中R₁、R₂、R₃、R₄、X₁、X₂、X₃、X₄、X₅、X₆以及n與以下實(shí)施方式中所定義相同)。

本發(fā)明提供一種包含展現(xiàn)高等離子抗性的有機(jī)層的有機(jī)發(fā)光二極管顯示器設(shè)備。

本發(fā)明提供一種包含具有顯著低水蒸氣滲透性和氧氣滲透性的有機(jī)層的有機(jī)發(fā)光二極管顯示器設(shè)備。

本發(fā)明提供一種包含展現(xiàn)優(yōu)良透光度的有機(jī)層的有機(jī)發(fā)光二極管顯示器設(shè)備。

本發(fā)明提供一種有機(jī)發(fā)光二極管顯示器設(shè)備，其包含能夠通過保護(hù)所述有機(jī)發(fā)光二極管顯示器設(shè)備免受包括濕氣和氣體的圍繞而在運(yùn)行時(shí)間內(nèi)確?？煽啃缘挠袡C(jī)層。

本發(fā)明提供一種有機(jī)發(fā)光二極管顯示器設(shè)備，其中形成與無機(jī)層相比的更易因濕氣和/或氧氣受損的有機(jī)層以便不會(huì)在包封層的邊緣暴露，由此改進(jìn)運(yùn)行時(shí)間內(nèi)的可靠性。

本發(fā)明提供一種有機(jī)發(fā)光二極管顯示器設(shè)備，其中形成兩個(gè)相鄰無機(jī)層以彼此接觸以防止無機(jī)層之間或襯底與無機(jī)層之間的略微提升和/或分層，由此抑制濕氣和/或氧氣經(jīng)由其邊緣滲透到包封層中。

附圖說明

圖1為根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例的有機(jī)發(fā)光二極管顯示器設(shè)備的截面視圖。

圖2為根據(jù)本發(fā)明的另一實(shí)施例的有機(jī)發(fā)光二極管顯示器設(shè)備的截面視圖。

具體實(shí)施方式

下文將參照附圖詳細(xì)描述本發(fā)明的實(shí)施例。應(yīng)理解，本發(fā)明不限于以下實(shí)施例且可以不同方式實(shí)施，且給出以下實(shí)施例是為了提供本發(fā)明的完整公開內(nèi)容并且便于所屬領(lǐng)域的技術(shù)人員透徹理解本發(fā)明。應(yīng)注意，附圖的比例并不是精確的，而且為了便于附圖中清楚地描述，有些尺寸，例如寬度、長度、厚度等，可能經(jīng)過放大。此外，盡管為方便描述起見僅說明一部分組分，但對于所屬領(lǐng)域的技術(shù)人員組分的其它部分可以變得顯而易見。此外，應(yīng)了解，在不背離本發(fā)明的精神和范圍的情況下，本發(fā)明可以由所屬領(lǐng)域的技術(shù)人員以不同方式實(shí)施。

如本文所用，如“上”和“下”的空間上相對的術(shù)語為參照附圖定義的。因此，應(yīng)了解，“上”與“下”可以互換使用。應(yīng)了解，當(dāng)將一個(gè)層稱為“在”另一層“上”時(shí)，這個(gè)層可以直接形成于另一層上或還可以存在插入層。因此，應(yīng)了解，當(dāng)將層稱為“直接在”另一層“上”時(shí)，其間不插入插入層。

如本文所用，術(shù)語“(甲基)丙烯酰基”是指丙烯?；?或甲基丙烯酰基。

除非另外說明，否則在本文中，術(shù)語“經(jīng)取代的”意思是官能團(tuán)中的至少一個(gè)氫原子經(jīng)以下各者取代：鹵素原子(例如(F、Cl、Br或I)、羥基、硝基、氰基、亞氨基(＝NH、＝NR，R為C₁到C₁₀烷基))、氨基(-NH₂、-NH(R′)、-N(R″)(R″′)，R′、R″以及R″′各自獨(dú)立地為C₁到C₁₀烷基)、脒基、肼基、腙基、羧酸基、C₁到C₂₀烷基、C₆到C₃₀芳基、C₃到C₃₀環(huán)烷基、C₃到C₃₀雜芳基或C₂到C₃₀雜環(huán)烷基。

如本文所用，術(shù)語“芳基”是指環(huán)狀取代基的所有元素具有p軌道并且這些p軌道共軛的官能團(tuán)。芳基包含單環(huán)、非稠合多環(huán)或稠合多環(huán)官能團(tuán)。此處，術(shù)語“稠合”意思是相鄰環(huán)共享一對碳原子。芳基還包含聯(lián)苯基(biphenyl group)、聯(lián)三苯基(terphenyl group)或聯(lián)四苯基(quaterphenyl group)，其中至少兩個(gè)芳基通過σ鍵(sigma bond)彼此連接。芳基可以指苯基、萘基、蒽基、菲基、芘基、2-乙基-1-苯并菲基(chrysenyl group)等。

如本文所用，術(shù)語“雜芳基”是指其中芳基含有1個(gè)到3個(gè)由以下各者組成的族群中選出的雜原子的官能團(tuán)：N、O、S、P以及Si，并且所述芳基中的其它原子為碳。雜芳基還包含至少兩個(gè)雜芳基通過σ鍵直接連接的官能團(tuán)。雜芳基還包含至少兩個(gè)雜芳基發(fā)生稠合的官能團(tuán)。如果雜芳基發(fā)生稠合，那么每一環(huán)可以包括1到3個(gè)如上文所述的雜原子。雜芳基可以指例如吡啶基、嘧啶基、吡嗪基、噠嗪基、三嗪基、喹啉基、異喹啉基等。

更具體來說，C₆到C₃₀芳基和/或C₃到C₃₀雜芳基可以為經(jīng)取代或未經(jīng)取代的苯基、經(jīng)取代或未經(jīng)取代的萘基、經(jīng)取代或未經(jīng)取代的蒽基、經(jīng)取代或未經(jīng)取代的菲基、經(jīng)取代或未經(jīng)取代的稠四苯基、經(jīng)取代或未經(jīng)取代的芘基、經(jīng)取代或未經(jīng)取代的聯(lián)苯基、經(jīng)取代或未經(jīng)取代的對聯(lián)三苯基、經(jīng)取代或未經(jīng)取代的間聯(lián)三苯基、經(jīng)取代或未經(jīng)取代的2-乙基-1-苯并菲基、經(jīng)取代或未經(jīng)取代的三亞苯基、經(jīng)取代或未經(jīng)取代的亞苯基、經(jīng)取代或未經(jīng)取代的茚基、經(jīng)取代或未經(jīng)取代的呋喃基、經(jīng)取代或未經(jīng)取代的噻吩基、經(jīng)取代或未經(jīng)取代的吡咯基、經(jīng)取代或未經(jīng)取代的吡唑基、經(jīng)取代或未經(jīng)取代的咪唑基、經(jīng)取代或未經(jīng)取代的三唑基、經(jīng)取代或未經(jīng)取代的惡唑基、經(jīng)取代或未經(jīng)取代的噻唑基、經(jīng)取代或未經(jīng)取代的惡二唑基、經(jīng)取代或未經(jīng)取代的噻二唑基、經(jīng)取代或未經(jīng)取代的吡啶基、經(jīng)取代或未經(jīng)取代的嘧啶基、經(jīng)取代或未經(jīng)取代的吡嗪基、經(jīng)取代或未經(jīng)取代的三嗪基、經(jīng)取代或未經(jīng)取代的苯并呋喃基、經(jīng)取代或未經(jīng)取代的苯并噻吩基、經(jīng)取代或未經(jīng)取代的苯并咪唑基、經(jīng)取代或未經(jīng)取代的吲哚基、經(jīng)取代或未經(jīng)取代的喹啉基、經(jīng)取代或未經(jīng)取代的異喹啉基、經(jīng)取代或未經(jīng)取代的喹唑啉基、經(jīng)取代或未經(jīng)取代的喹喔啉基、經(jīng)取代或未經(jīng)取代的萘啶基、經(jīng)取代或未經(jīng)取代的苯并惡嗪基、經(jīng)取代或未經(jīng)取代的苯并噻嗪基、經(jīng)取代或未經(jīng)取代的吖啶基、經(jīng)取代或未經(jīng)取代的啡嗪基、經(jīng)取代或未經(jīng)取代的啡噻嗪基、經(jīng)取代或未經(jīng)取代的啡惡嗪基、經(jīng)取代或未經(jīng)取代的二苯并呋喃基、經(jīng)取代或未經(jīng)取代的二苯并噻吩基或其組合，但不限于這些。

如本文所用，術(shù)語“歸因于等離子的有機(jī)層的蝕刻率”或″等離子蝕刻率″是指在以下程序之后由等式2計(jì)算的值：測量由將包封組成物沉積到預(yù)定厚度并且使所述組成物光固化所形成的有機(jī)層的初始高度T1(單位微米)，之后測量在以下條件下等離子處理后的有機(jī)層的高度T2(單位：微米)：電感耦合等離子(ICP)功率：2500瓦、射頻(RF)功率：300瓦、直流偏壓：200伏、Ar流量：50sccm、蝕刻時(shí)間：1分鐘以及壓力：10毫托。此處，有機(jī)層的初始高度(T1)可以在1微米到10微米的范圍內(nèi)。通過等式2計(jì)算的值與有機(jī)層的等離子抗性成反比。

<等式2>

歸因于等離子的有機(jī)層的蝕刻率(％)＝(T1-T2)/T1×100

根據(jù)本發(fā)明的有機(jī)發(fā)光二極管顯示器設(shè)備包含襯底、安置于所述襯底上的有機(jī)發(fā)光二極管以及包封所述有機(jī)發(fā)光二極管的包封層，其中所述包封層具有兩個(gè)或多于兩個(gè)無機(jī)層和一個(gè)或多個(gè)有機(jī)層一個(gè)在另一個(gè)上交替堆疊的結(jié)構(gòu)，兩個(gè)相鄰無機(jī)層至少部分彼此接觸，并且所述有機(jī)層由根據(jù)本發(fā)明的包封組成物形成。

根據(jù)本發(fā)明的包封組成物可以實(shí)現(xiàn)具有優(yōu)良等離子抗性，并且具有低粗糙度以確保優(yōu)良平坦度的有機(jī)層。因此，在根據(jù)本發(fā)明的有機(jī)發(fā)光二極管顯示器設(shè)備中，這類有機(jī)層形成于無機(jī)層之間以提供平坦包封層，由此實(shí)現(xiàn)厚度薄的包封層。

根據(jù)本發(fā)明的包封組成物可以實(shí)現(xiàn)展現(xiàn)顯著低水蒸氣滲透性和氧氣滲透性的有機(jī)層。因此，根據(jù)本發(fā)明的有機(jī)發(fā)光二極管顯示器設(shè)備可以進(jìn)一步防止因外部濕氣和/或氧氣滲透所致的有機(jī)發(fā)光二極管的腐蝕和發(fā)光效率劣化，同時(shí)改進(jìn)運(yùn)行時(shí)間內(nèi)有機(jī)發(fā)光二極管的可靠性。

在根據(jù)本發(fā)明的包封層中，兩個(gè)相鄰無機(jī)層可以至少部分彼此接觸。因此，根據(jù)本發(fā)明的有機(jī)發(fā)光二極管顯示器設(shè)備可以進(jìn)一步抑制濕氣和/或氧氣向無機(jī)層中的滲透并且可以抑制無機(jī)層之間的分層或略微提升。

舉例來說，在根據(jù)本發(fā)明的有機(jī)發(fā)光二極管顯示器設(shè)備中，所述無機(jī)層包括第一無機(jī)層和第二無機(jī)層；所述有機(jī)層包括第一有機(jī)層；并且所述包封層包括一個(gè)在另一個(gè)上交替堆疊的所述第一無機(jī)層、所述第一有機(jī)層以及所述第二無機(jī)層。

包封層可以具有所述第一無機(jī)層和所述第二無機(jī)層在其邊緣依序堆疊的結(jié)構(gòu)。

在一些實(shí)施例中，包封層可以具有所述第一無機(jī)層和所述第二無機(jī)層在其邊緣依序堆疊的結(jié)構(gòu)。在一些實(shí)施例中，第二無機(jī)層可以具有上表面、下表面或接觸第一無機(jī)層的邊緣。

在一個(gè)實(shí)施例中，第一無機(jī)層和第二無機(jī)層可以具有相同面積。在另一實(shí)施例中，第二無機(jī)層可以形成以包圍第一有機(jī)層。在其它實(shí)施例中，無機(jī)層可以具有相同面積或面積可以隨距所述有機(jī)發(fā)光二極管的距離增加而逐漸遞增。

接下來，將參看圖1描述根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例的有機(jī)發(fā)光二極管顯示器設(shè)備。圖1為根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例的有機(jī)發(fā)光二極管顯示器設(shè)備的部分截面視圖。

參看圖1，根據(jù)一個(gè)實(shí)施例的有機(jī)發(fā)光二極管顯示器設(shè)備100包含襯底110、有機(jī)發(fā)光二極管120以及包封層130，所述包封層可以包封所述有機(jī)發(fā)光二極管120。

襯底110可以安置于有機(jī)發(fā)光二極管120和包封層130之下以支撐所述有機(jī)發(fā)光二極管120和所述包封層130。襯底110可以包括其中形成有機(jī)發(fā)光二極管120的發(fā)光區(qū)域，和與不包括發(fā)光區(qū)域的區(qū)域?qū)?yīng)的非發(fā)光區(qū)域。

襯底110可以為玻璃襯底、石英襯底或透明塑料襯底。透明塑料襯底可以通過為有機(jī)發(fā)光二極管顯示器設(shè)備提供柔性而用于柔性產(chǎn)品。透明塑料襯底可以由以下各者中的至少一個(gè)形成：聚酰亞胺樹脂、丙烯酸樹脂、聚丙烯酸酯樹脂、聚碳酸酯樹脂、聚醚樹脂、包括聚對苯二甲酸乙二酯的聚酯樹脂以及磺酸樹脂，但不限于這些。

有機(jī)發(fā)光二極管120可以形成于襯底110的發(fā)光區(qū)域上，以驅(qū)動(dòng)有機(jī)發(fā)光二極管顯示器設(shè)備。有機(jī)發(fā)光二極管為自發(fā)光裝置并且可以包括所屬領(lǐng)域中公開已知的典型結(jié)構(gòu)。

具體來說，有機(jī)發(fā)光二極管可以具有其中陽極、空穴傳輸區(qū)域、發(fā)光層、電子傳輸區(qū)域以及陰極以這一次序依序堆疊的結(jié)構(gòu)。空穴傳輸區(qū)域可以包括空穴注入層、空穴傳輸層以及電子阻擋層中的至少一個(gè)。電子傳輸區(qū)域可以包含空穴阻擋層、電子傳輸層以及電子注入層中的至少一個(gè)。光通過在發(fā)光層中重組由陽極產(chǎn)生的空穴和由陰極產(chǎn)生的電子由發(fā)光層發(fā)出。陽極、空穴傳輸區(qū)域、發(fā)光層、電子傳輸區(qū)域以及陰極的細(xì)節(jié)為所屬領(lǐng)域的技術(shù)人員所熟知。

具體來說，陽極可以由具有高功函數(shù)的材料形成以使得空穴有效注入到發(fā)光層中。用于陽極的材料的實(shí)例可以包含金屬，如鎳、鉑、釩、鉻、銅、鋅以及金、其金屬合金；金屬氧化物，如氧化鋅、氧化銦、氧化銦錫以及氧化銦鋅，金屬和金屬氧化物的組合，如氧化鋅和鋁的組合；氧化鋅和銻的組合。陰極可以由具有低功函數(shù)的材料形成以允許電子容易注入到有機(jī)發(fā)光層中。用于陰極的材料的實(shí)例可以包含金屬，如鎂、鈣、鈉、鉀、鈦、銦、釔、鋰、釓、鋁、銀、錫、鉛、銫、鋇或其金屬合金。

發(fā)光層可以包含所屬領(lǐng)域的技術(shù)人員已知的材料。舉例來說，發(fā)光層可以包含氟衍生物和金屬絡(luò)合物，但不限于這些。

空穴傳輸區(qū)域可以由如下的材料形成：間-MTDATA(m-MTDATA)、TDATA、2-TNATA、NPB、β-NPB、TPD、螺-TPD(spiro-TPD)、螺-NPB(spiro-NPB)、α-NPB、TAPC、HMTPD、PEDOTT/PSS(聚(3，4-亞乙二氧基噻吩)/聚(4-苯乙烯磺酸酯))以及PANI/PSS(聚苯胺/聚(4-苯乙烯磺酸酯))，但不限于這些。

在電子傳輸區(qū)域中，空穴阻擋層可以包含如下BCP和Bphen中的至少一個(gè)，但不限于這些。

電子傳輸層可以包含如上BCP和Bphen中的至少一個(gè)和如下Alq₃、BAlq、TAZ、NTAZ、ET1以及ET2，但不限于這些。

電子注入層可以包含LiF、NaCl、CsF、Li₂O以及BaO中的至少一個(gè)，但不限于這些。

包封層130可以直接形成于有機(jī)發(fā)光二極管120上以包封有機(jī)發(fā)光二極管120。在本文中，表達(dá)“直接形成于……上”意思是包封層與有機(jī)發(fā)光二極管之間無粘合劑層、結(jié)合層和/或空氣層插入。

包封層130可以具有其中兩個(gè)或多于兩個(gè)無機(jī)層和一個(gè)或多個(gè)有機(jī)層一個(gè)在另一個(gè)上交替堆疊的多層結(jié)構(gòu)。圖1展示包括包封層的有機(jī)發(fā)光二極管顯示器設(shè)備，其中兩個(gè)無機(jī)層和一個(gè)有機(jī)層交替堆疊，總計(jì)為三層。具體來說，圖1展示包括包封層的有機(jī)發(fā)光二極管顯示器設(shè)備，其中第一無機(jī)層131、第一有機(jī)層132以及第二無機(jī)層133交替堆疊。在其它實(shí)施例中，包封層可以具有其它類型的多層結(jié)構(gòu)，其中無機(jī)層和有機(jī)層交替堆疊，總計(jì)為5層到15層，具體來說，5層、6層或7層。舉例來說，在包封層包含總計(jì)5層的結(jié)構(gòu)中，包封層可以包含一個(gè)在另一個(gè)上交替堆疊的第一無機(jī)層、第一有機(jī)層、第二無機(jī)層、第二有機(jī)層以及第三無機(jī)層。在包封層包含總計(jì)7層的結(jié)構(gòu)中，包封層可以包含一個(gè)在另一個(gè)上交替堆疊的第一無機(jī)層、第一有機(jī)層、第二無機(jī)層、第二有機(jī)層、第三無機(jī)層、第三有機(jī)層以及第四無機(jī)層。一般來說，包封層的最外層可以為無機(jī)層。在這一結(jié)構(gòu)下，有機(jī)發(fā)光二極管顯示器設(shè)備可以有助于維持性和可加工性。

參看圖1，將更詳細(xì)描述包封層的結(jié)構(gòu)，其中無機(jī)層包含第一無機(jī)層131和第二無機(jī)層133并且有機(jī)層包含第一有機(jī)層132。

第一無機(jī)層131和第二無機(jī)層133中的每一個(gè)具有與第一有機(jī)層132相比不同的組成，并且可以補(bǔ)償?shù)谝挥袡C(jī)層132的影響。第一無機(jī)層131和第二無機(jī)層133中的每一個(gè)可以抑制氧氣或濕氣向有機(jī)發(fā)光二極管120滲透。

第一無機(jī)層131形成以直接接觸有機(jī)發(fā)光二極管120和襯底110。在這一結(jié)構(gòu)下，第一無機(jī)層131可以抑制外部濕氣和/或氧氣向有機(jī)發(fā)光二極管120中滲透。如本文所用，表達(dá)“形成以直接接觸”意思是在有機(jī)發(fā)光二極管120與第一無機(jī)層131之間無粘合劑層、結(jié)合層和/或空氣層插入。

第二無機(jī)層133直接形成于第一有機(jī)層132上。第一有機(jī)層132具有高等離子抗性。因此，第二無機(jī)層133可以確保厚度均勻并且包封層130可以確保表面粗糙度均勻。

第二無機(jī)層133形成以至少部分接觸第一無機(jī)層131。因此，包封層130可以具有第一無機(jī)層131和第二無機(jī)層133依序堆疊于襯底110上的結(jié)構(gòu)。在這一結(jié)構(gòu)下，包封層130可以進(jìn)一步抑制外部濕氣和/或氧氣向有機(jī)發(fā)光二極管120中滲透，同時(shí)進(jìn)一步改進(jìn)有機(jī)發(fā)光二極管120側(cè)表面的包封功能。此外，包封層130可以通過防止第一無機(jī)層131與第二無機(jī)層133之間的略微提升和/或分層改良有機(jī)發(fā)光二極管120的可靠性。參看圖1，包封層130具有第一無機(jī)層131和第二無機(jī)層133依序堆疊于其邊緣的結(jié)構(gòu)。

第二無機(jī)層133具有接觸第一無機(jī)層131的下表面。在這一結(jié)構(gòu)下，第一無機(jī)層131與第二無機(jī)層133之間的接觸面積放大，由此進(jìn)一步改進(jìn)包封作用。在一些實(shí)施例中，可以形成第二無機(jī)層133以在第二無機(jī)層133的邊緣(尤其在第二無機(jī)層133的厚度部分或下表面)接觸第一無機(jī)層131。

第二無機(jī)層133圍繞第一有機(jī)層132并且依序堆疊于第一無機(jī)層131上。在這一結(jié)構(gòu)中，第一無機(jī)層131具有與第二無機(jī)層133相同的面積?；蛘?，第二無機(jī)層133可以形成以圍繞第一有機(jī)層132與第一無機(jī)層131?；蛘?，無機(jī)層的面積可以隨距有機(jī)發(fā)光二極管120的距離增加而逐漸遞增。在這一結(jié)構(gòu)下，包封層130可以抑制外部濕氣和/或氧氣向有機(jī)發(fā)光二極管120中滲透，同時(shí)進(jìn)一步抑制第一無機(jī)層131與第二無機(jī)層133之間的分層和/或略微提升。

第一無機(jī)層131和第二無機(jī)層133中的每一個(gè)可以由具有優(yōu)良透光率的無機(jī)材料形成。第一無機(jī)層131和第二無機(jī)層133可以由相同或不同的無機(jī)材料形成。具體來說，無機(jī)材料可以包含金屬、非金屬、金屬間化合物或合金、非金屬間化合物或合金、金屬或非金屬的氧化物、金屬或非金屬的氟化物、金屬或非金屬的氮化物、金屬或非金屬的碳化物、金屬或非金屬的氮氧化物、金屬或非金屬的硼化物、金屬或非金屬的硼氧化物、金屬或非金屬的硅化物以及其混合物。金屬或非金屬可以包含硅(Si)、鋁(Al)、硒(Se)、鋅(Zn)、銻(Sb)、銦(In)、鍺(Ge)、錫(Sn)、鉍(Bi)、過渡金屬以及鑭系金屬，但不限于這些。具體來說，無機(jī)材料可以包含氧化硅(SiO_x)、氮化硅(SiN_x)、氮氧化硅(SiO_xN_y)、ZnSe、ZnO、Sb₂O₃、AlO_x(包括Al₂O₃)、In₂O₃或SnO₂。此處，x和y中的每一個(gè)在1到5的范圍內(nèi)。

第一無機(jī)層131和第二無機(jī)層133可具有相同或不同的厚度。具體來說，第一無機(jī)層131和第二無機(jī)層133中的每一個(gè)的厚度可以為40納米到1000納米，更具體來說100納米到1000納米。在這一厚度范圍內(nèi)，第一無機(jī)層131和第二無機(jī)層133可以阻斷濕氣和氧氣的滲透。

第一有機(jī)層132可以安置在界定于第一無機(jī)層131與第二無機(jī)層133之間的區(qū)域內(nèi)。也就是說，第一有機(jī)層132可以由第一無機(jī)層131和第二無機(jī)層133完全圍繞。第一有機(jī)層132可以由根據(jù)本發(fā)明的包封組成物形成。因此，第一有機(jī)層132可以通過阻斷無機(jī)層的缺損，同時(shí)使無機(jī)層平坦化來實(shí)現(xiàn)阻斷外部濕氣和氧氣的滲透的作用。

圖1展示其中包封層130僅包含第一有機(jī)層132作為有機(jī)層的結(jié)構(gòu)。在另一實(shí)施例中，包封層130可以更包含依序形成于第二無機(jī)層133上的第二有機(jī)層和第三無機(jī)層。在這個(gè)實(shí)施例中，第一有機(jī)層132和第二有機(jī)層可以具有相同的面積。或者，第二有機(jī)層可以具有與第一有機(jī)層相比較大的面積。也就是說，有機(jī)層可以具有相同的面積或面積可以隨距有機(jī)發(fā)光二極管120的距離增加而逐漸遞增。

第一有機(jī)層132的厚度可為0.2微米到15微米，具體來說為1微米、2微米、3微米、4微米、5微米、6微米、7微米、8微米、9微米、10微米、11微米、12微米、13微米、14微米或15微米。在這一厚度范圍內(nèi)，第一有機(jī)層132可以通過阻斷無機(jī)層的缺損，同時(shí)使無機(jī)層平坦化來實(shí)現(xiàn)阻斷外部濕氣和氧氣的滲透的作用。

第一有機(jī)層132可以由根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例的包封組成物形成。因此，根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例的有機(jī)層可以通過保護(hù)有機(jī)發(fā)光二極管顯示器設(shè)備免受包括濕氣和氣體的圍繞而在運(yùn)行時(shí)間內(nèi)確保有機(jī)發(fā)光二極管顯示器設(shè)備的可靠性。

接下來，將描述根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例的包封組成物。

根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例的包封組成物包含：10重量％到70重量％的(A)非硅類二(甲基)丙烯酸酯；20重量％到70重量％的(B)硅類二(甲基)丙烯酸酯；5重量％到40重量％的(C)單(甲基)丙烯酸酯；以及1重量％到10重量％的(D)起始劑，其中所述(B)硅類二(甲基)丙烯酸酯可以由式1表示：

(其中下文將詳細(xì)描述R₁、R₂、R₃、R₄、X₁、X₂、X₃、X₄、X₅、X₆以及n)。

根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例的包封組成物可以包含(A)非硅類二(甲基)丙烯酸酯、(B)由式1表示的硅類二(甲基)丙烯酸酯、(C)單(甲基)丙烯酸酯以及(D)起始劑。另外，根據(jù)實(shí)施例的包封組成物可以包含如上文所述的特定量的(A)非硅類二(甲基)丙烯酸酯、(B)由式1表示的硅類二(甲基)丙烯酸酯、(C)單(甲基)丙烯酸酯以及(D)起始劑。因此，包封組成物可以呈現(xiàn)顯著改進(jìn)的光固化率。此外，包封組成物可以實(shí)現(xiàn)在固化之后展現(xiàn)優(yōu)良透光率，同時(shí)展現(xiàn)顯著高的等離子抗性的有機(jī)層。因此，根據(jù)實(shí)施例的包封組成物可以實(shí)現(xiàn)歸因于用于形成無機(jī)層的等離子的具有低蝕刻率的有機(jī)層，并且因此可以改進(jìn)有機(jī)發(fā)光二極管的可靠性。

具體來說，根據(jù)實(shí)施例的包封組成物的光固化率可以為88％或大于88％，具體來說88％到99％、更具體來說90％到99％，例如90％、91％、92％、93％、94％、95％、96％、97％、98％或99％。另外，根據(jù)實(shí)施例的包封組成物在380納米到700納米的波長下固化后的透光率可以為93％，例如93.5％到100％、94.2％到100％、95％到99％、或96％到99％。此外，根據(jù)實(shí)施例的包封組成物的固化后的歸因于等離子的有機(jī)層的蝕刻率可以為20％或小于20％，例如0.1％、1％、2％、3％、4％、5％、6％、7％、8％、9％、10％、11％、12％、13％、14％、15％、16％、17％、18％、19％或20％。在光固化率、透光率以及歸因于等離子的有機(jī)層的蝕刻率的這些范圍內(nèi)，根據(jù)實(shí)施例的包封組成物可以顯著改進(jìn)有機(jī)發(fā)光二極管的可靠性。

在一個(gè)實(shí)施例中，包封組成物可以包含以(A)、(B)、(C)以及(D)的總重量計(jì)10重量％到50重量％的(A)非硅類二(甲基)丙烯酸酯、20重量％到70重量％的(B)硅類二(甲基)丙烯酸酯、5重量％到40重量％的(C)單(甲基)丙烯酸酯以及1重量％到10重量％的(D)起始劑。

本文所用的(A)非硅類二(甲基)丙烯酸酯、(B)硅類二(甲基)丙烯酸酯、(C)單(甲基)丙烯酸酯以及(D)起始劑為不同化合物。

在下文中，將更詳細(xì)描述(A)非硅類二(甲基)丙烯酸酯、(B)硅類二(甲基)丙烯酸酯、(C)單(甲基)丙烯酸酯以及(D)起始劑。

(A)非硅類二(甲基)丙烯酸酯

(A)非硅類二(甲基)丙烯酸酯為不包含硅(Si)并且具有兩個(gè)(甲基)丙烯酸酯基的光可固化單體。因此，包封組成物可以具有改進(jìn)的光固化率和改進(jìn)的固化后透光率。另外，(A)非硅類二(甲基)丙烯酸酯在25℃下具有低粘度，并且因此可以降低包封組成物的粘度。因此，包封組成物可以有助于使用如噴墨印刷等方法在有機(jī)發(fā)光二極管上或在包封有機(jī)發(fā)光二極管的無機(jī)層上形成有機(jī)層。

(A)非硅類二(甲基)丙烯酸酯為不含有芳香族基團(tuán)的非芳香族非硅類二(甲基)丙烯酸酯，并且可以包含含經(jīng)取代或未經(jīng)取代的長鏈亞烷基的非硅類二(甲基)丙烯酸酯。在這種情況下，包封組成物有助于使用如沉積等方法在有機(jī)發(fā)光二極管上或在包封有機(jī)發(fā)光二極管的無機(jī)層上形成有機(jī)層。

具體來說，(A)非硅類二(甲基)丙烯酸酯可以為含有經(jīng)取代或未經(jīng)取代的C₁到C₂₀亞烷基的二(甲基)丙烯酸酯。更具體來說，(A)非硅類二(甲基)丙烯酸酯可以包含(甲基)丙烯酸酯基之間具有未經(jīng)取代的C₁到C₁₅亞烷基的二(甲基)丙烯酸酯。此處，亞烷基中的碳原子數(shù)是指不包括二(甲基)丙烯酸酯基中存在的碳原子的僅在亞烷基中存在的碳原子的數(shù)量。

在一個(gè)實(shí)施例中，(A)非硅類二(甲基)丙烯酸酯可以由式2表示：

其中R₃和R₄各自獨(dú)立地為氫或甲基，并且R₅為經(jīng)取代或未經(jīng)取代的C₁到C₂₀亞烷基。

因?yàn)楦鶕?jù)本發(fā)明的包封組成物包含(A)由式2表示的非硅類二(甲基)丙烯酸酯，所以包封組成物可以呈現(xiàn)較高光固化率并且因其低粘度而更容易沉積。

舉例來說，式2中的R₅可以為未經(jīng)取代的C₈到C₁₂亞烷基。更具體來說，(A)非硅類二(甲基)丙烯酸酯可以包含辛二醇二(甲基)丙烯酸酯、壬二醇二(甲基)丙烯酸酯、癸二醇二(甲基)丙烯酸酯、十一烷二醇二(甲基)丙烯酸酯以及十二烷二醇二(甲基)丙烯酸酯中的至少一種。

(A)非硅類二(甲基)丙烯酸酯可以單獨(dú)使用或以組合形式用于包封組成物中。

(A)非硅類二(甲基)丙烯酸酯可以按(A)、(B)、(C)以及(D)的總重量計(jì)以10重量％到70重量％的量存在。舉例來說，(A)非硅類二(甲基)丙烯酸酯可以按(A)、(B)、(C)以及(D)的總重量計(jì)以10重量％到50重量％，例如35重量％、36重量％、37重量％、38重量％、39重量％、40重量％、41重量％、42重量％、43重量％、44重量％、45重量％、46重量％、47重量％或48重量％的量存在。在這一范圍內(nèi)，包封組成物可以呈現(xiàn)改進(jìn)的光固化率，并且可以實(shí)現(xiàn)展現(xiàn)高透光率和低等離子蝕刻率的有機(jī)層。

(B)硅類二(甲基)丙烯酸酯

(B)硅類二(甲基)丙烯酸酯包含至少一個(gè)連接到硅原子的經(jīng)取代或未經(jīng)取代的C₆到C₃₀芳基。因此，包封組成物可以實(shí)現(xiàn)具有極高等離子抗性，由此展現(xiàn)低等離子蝕刻率的有機(jī)層。

(B)硅類二(甲基)丙烯酸酯可以由式1表示：

其中R₁和R₂各自獨(dú)立地為單鍵、經(jīng)取代或未經(jīng)取代的C₁到C₂₀亞烷基、經(jīng)取代或未經(jīng)取代的C₁到C₃₀亞烷基醚、*-N(R′)-(R″)-*(*表示元素的結(jié)合位點(diǎn)，R′為氫或經(jīng)取代或未經(jīng)取代的C₁到C₃₀烷基，并且R″為經(jīng)取代或未經(jīng)取代的C₁到C₂₀亞烷基)、經(jīng)取代或未經(jīng)取代的C₆到C₃₀亞芳基、經(jīng)取代或未經(jīng)取代的C₇到C₃₀芳基亞烷基或*-(R′)-O-**(*表示式1中O的結(jié)合位點(diǎn)，**表示式1中Si的結(jié)合位點(diǎn)，并且R′為經(jīng)取代或未經(jīng)取代的C₁到C₃₀亞烷基)；

X₁、X₂、X₃、X4、X₅以及X₆各自獨(dú)立地為氫、羥基、鹵素、氰基、經(jīng)取代或未經(jīng)取代的C₁到C₃₀烷基、經(jīng)取代或未經(jīng)取代的C₁到C₃₀雜環(huán)烷基、經(jīng)取代或未經(jīng)取代的C₃到C₃₀環(huán)烷基、經(jīng)取代或未經(jīng)取代的C₁到C₃₀烷基醚基、*-N(R′)-(R″)-*(*表示元素的結(jié)合位點(diǎn)，并且R′和R″各自獨(dú)立地為氫或經(jīng)取代或未經(jīng)取代的C₁到C₃₀烷基)、經(jīng)取代或未經(jīng)取代的C₁到C₃₀硫化烷基(alkyl sulfide group)、經(jīng)取代或未經(jīng)取代的C₆到C₃₀芳基、經(jīng)取代或未經(jīng)取代的C₂到C₃₀雜芳基或經(jīng)取代或未經(jīng)取代的C₇到C₃₀芳基烷基；

X₁、X₂、X₃、X4、X₅以及X₆中的至少一個(gè)為經(jīng)取代或未經(jīng)取代的C₆到C₃₀芳基或經(jīng)取代或未經(jīng)取代的C₂到C₃₀雜芳基；

R₃和R₄各自獨(dú)立地為氫或甲基；以及

n為0到30的整數(shù)，或平均在0到30的范圍內(nèi)。

術(shù)語“單鍵”意思是在式1中Si和O直接連接(Si-O)。

具體來說，在式1中，R₁和R₂可以各自獨(dú)立地為單鍵、經(jīng)取代或未經(jīng)取代的C₁到C₂₀亞烷基或經(jīng)取代或未經(jīng)取代的C₁到C₃₀亞烷基醚基(alkylene ether group)。具體來說，X₁、X₂、X₃、X₄、X₅以及X₆可以各自獨(dú)立地為氫、經(jīng)取代或未經(jīng)取代的C₁到C₃₀烷基、經(jīng)取代或未經(jīng)取代的C₃到C₃₀環(huán)烷基、經(jīng)取代或未經(jīng)取代的C₁到C₃₀烷基醚基、經(jīng)取代或未經(jīng)取代的C₆到C₃₀芳基、經(jīng)取代或未經(jīng)取代的C₂到C₃₀雜芳基、或經(jīng)取代或未經(jīng)取代的C₇到C₃₀芳基烷基；并且X₁、X₂、X₃、X₄、X₅以及X₆中的至少一個(gè)可以為經(jīng)取代或未經(jīng)取代的C₆到C₃₀芳基。

更具體來說，在式1中，R₁和R₂可以各自獨(dú)立地為單鍵或經(jīng)取代或未經(jīng)取代的C₁到C₂₀亞烷基。在這種情況下，包封組成物可以進(jìn)一步降低等離子蝕刻率。

更具體來說，在式1中，X₁、X₂、X₃、X₄、X₅以及X₆可以各自獨(dú)立地為經(jīng)取代或未經(jīng)取代的C₁到C₁₀烷基、或經(jīng)取代或未經(jīng)取代的C₆到C₁₀芳基；并且X₁、X₂、X₃、X₄、X₅以及X₆中的至少一個(gè)可以為經(jīng)取代或未經(jīng)取代的C₆到C₁₀芳基。更具體來說，X₁、X₂、X₃、X₄、X₅以及X₆可以各自獨(dú)立地為甲基、乙基、丙基、丁基、戊基、苯基、聯(lián)苯基或萘基；并且X₁、X₂、X₃、X₄、X₅以及X₆中的一個(gè)、兩個(gè)、三個(gè)或六個(gè)可以為苯基或萘基。在這種情況下，包封組成物可以進(jìn)一步降低等離子蝕刻率。

更具體來說，n為1到5的整數(shù)。在這種情況下，包封組成物可以進(jìn)一步降低等離子蝕刻率。

更具體來說，(B)硅類二(甲基)丙烯酸酯可以由式3到式8中的任一個(gè)表示。

<式3>

<式4>

<式5>

<式6>

<式7>

<式8>

(B)硅類二(甲基)丙烯酸酯可單獨(dú)使用或以組合形式使用。

(B)硅類二(甲基)丙烯酸酯可以按(A)、(B)、(C)以及(D)的總重量計(jì)以20重量％到70重量％的量存在。舉例來說，(B)硅類二(甲基)丙烯酸酯可以按(A)、(B)、(C)以及(D)的總重量計(jì)以25重量％到45重量％，例如28重量％、29重量％、30重量％、31重量％、32重量％、33重量％、34重量％、35重量％、36重量％、37重量％、38重量％、39重量％、40重量％或41重量％的量存在。在這一范圍內(nèi)，包封組成物可以呈現(xiàn)高光固化率。另外，包封組成物可以實(shí)現(xiàn)展現(xiàn)高透光率和低等離子蝕刻率的有機(jī)層。

(A)非硅類二(甲基)丙烯酸酯和(B)由式1表示的硅類二(甲基)丙烯酸酯可以按(A)、(B)、(C)以及(D)的總重量計(jì)以50重量％到90重量％，具體來說60重量％到90重量％的總量存在。在這一范圍內(nèi)，包封組成物可以實(shí)現(xiàn)展現(xiàn)低等離子蝕刻率的有機(jī)層。

(A)非硅類二(甲基)丙烯酸酯和(B)由式1表示的硅類二(甲基)丙烯酸酯可以例如1∶0.1到1∶1、1∶0.1到1∶85、1∶0.1到1∶80、1∶0.1到1∶75、1∶0.1到1∶70、1∶0.1到1∶0.65、或1∶0.1到1∶0.6的重量比(A∶B)存在。在這一范圍內(nèi)，包封組成物可以實(shí)現(xiàn)展現(xiàn)進(jìn)一步降低的等離子蝕刻率的有機(jī)層。

(B)硅類二(甲基)丙烯酸酯可以通過典型方法制備。舉例來說，(B)硅類二(甲基)丙烯酸酯可以通過使經(jīng)取代或未經(jīng)取代的C₆到C₃₀芳基或經(jīng)取代或未經(jīng)取代的C₂到C₃₀雜芳基連接到至少一個(gè)硅原子的硅氧烷化合物與擴(kuò)展碳鏈的化合物(例如烯丙醇)反應(yīng)，之后與(甲基)丙烯酰氯反應(yīng)來制備，但不限于此?；蛘?，(B)硅類二(甲基)丙烯酸酯可以通過使經(jīng)取代或未經(jīng)取代的C₆到C₃₀芳基或經(jīng)取代或未經(jīng)取代的C₂到C₃₀雜芳基連接到至少一個(gè)硅原子的硅氧烷化合物與(甲基)丙烯酰氯反應(yīng)來制備，但不限于此。

(C)單(甲基)丙烯酸酯

包封組成物中所包括的(C)單(甲基)丙烯酸酯可以增加包封組成物的光固化率。另外，(C)單(甲基)丙烯酸酯可以降低有機(jī)層的等離子蝕刻率，同時(shí)增加有機(jī)層的透光率。

(C)單(甲基)丙烯酸酯可以包含不含硅的非硅類單(甲基)丙烯酸酯。具體來說，(C)單(甲基)丙烯酸酯可以包含含有芳香族基團(tuán)的芳香族單(甲基)丙烯酸酯和不含芳香族基團(tuán)的非芳香族單(甲基)丙烯酸酯中的至少一個(gè)。

(C)單(甲基)丙烯酸酯可以單獨(dú)使用或以組合形式使用。(C)單(甲基)丙烯酸酯中的芳香族單(甲基)丙烯酸酯可以單獨(dú)使用或以組合形式使用。(C)單(甲基)丙烯酸酯中的非芳香族單(甲基)丙烯酸酯可以單獨(dú)使用或以組合形式使用。

在一個(gè)實(shí)施例中，(C)單(甲基)丙烯酸酯可以包含含芳香族基團(tuán)的單(甲基)丙烯酸酯。因?yàn)槿缟衔乃龅暮枷阕寤鶊F(tuán)的單(甲基)丙烯酸酯與(B)硅類二(甲基)丙烯酸酯都含有芳香族基團(tuán)，所以當(dāng)一起使用含芳香族基團(tuán)的單(甲基)丙烯酸酯和(B)硅類二(甲基)丙烯酸酯時(shí)呈現(xiàn)在包封組成物中進(jìn)一步改進(jìn)的相容性。因此，(C)單(甲基)丙烯酸酯可以呈現(xiàn)進(jìn)一步改進(jìn)的與(B)硅類二(甲基)丙烯酸酯的混溶性。在這種情況下，包封組成物可以具有改進(jìn)的降低有機(jī)層的等離子蝕刻率的作用。

芳香族單(甲基)丙烯酸酯可以包含含經(jīng)取代或未經(jīng)取代的芳香族基團(tuán)的單(甲基)丙烯酸酯。此處，術(shù)語“芳香族基團(tuán)”是指單環(huán)芳香族基團(tuán)或指包括稠合形式等或是指多個(gè)單環(huán)通過σ鍵彼此連接的形式的多環(huán)芳香族基團(tuán)。舉例來說，芳香族基團(tuán)可以指經(jīng)取代或未經(jīng)取代的C₆到C₅₀芳基、經(jīng)取代或未經(jīng)取代的C₇到C₅₀芳基烷基、經(jīng)取代或未經(jīng)取代的C₃到C₅₀雜芳基以及經(jīng)取代或未經(jīng)取代的C₃到C₅₀雜芳基烷基中的至少一個(gè)。更具體來說，芳香族基團(tuán)可以包含以下各個(gè)中的至少一個(gè)：苯基、聯(lián)苯基、聯(lián)三苯基、聯(lián)四苯基、萘基、蒽基、菲基、2-乙基-1-苯并菲基、三亞苯基、并四苯基、芘基、苯并芘基、稠五苯基、蔻基、莪基、碗烯基、苯甲基、吡啶基、吡嗪基、嘧啶基、噠嗪基、三嗪基、喹啉基、異喹啉基、喹喔啉基、吖啶基、喹唑啉基、噌啉基、酞嗪基、噻唑基、苯并噻唑基、異惡唑基、苯并異惡唑基、惡唑基、苯并惡唑基、吡唑基、吲唑基、咪唑基、苯并咪唑基、嘌呤基、噻吩基、苯并噻吩基、呋喃基、苯并呋喃基以及異苯并呋喃基。

舉例來說，芳香族單(甲基)丙烯酸酯可以由式9表示：

其中R₃為氫或甲基；s為0到10的整數(shù)；并且R₆為經(jīng)取代或未經(jīng)取代的C₆到C₅₀芳基或經(jīng)取代或未經(jīng)取代的C₆到C₅₀芳氧基。

舉例來說，R₆可以為苯基苯氧基乙基、苯氧基乙基、苯甲基、苯基、苯基苯氧基、苯氧基、苯乙基、苯丙基、苯丁基、甲基苯基乙基、丙基苯基乙基、甲氧基苯乙基、環(huán)己基苯乙基、氯苯乙基、溴苯乙基、甲基苯基、甲基乙基苯基、甲氧苯基、丙基苯基、環(huán)己基苯基、氯苯基、溴苯基、苯基苯基、聯(lián)苯基、聯(lián)三苯基、聯(lián)四苯基、蒽基、萘基、三亞苯基(triphenylenyl group)、甲基苯氧基、乙基苯氧基、甲基乙基苯氧基、甲氧基苯氧基、丙基苯氧基、環(huán)己基苯氧基、氯苯氧基、溴苯氧基、聯(lián)苯氧基、聯(lián)三苯氧基、聯(lián)四苯氧基、蒽氧基、萘氧基或三亞苯氧基。

具體來說，芳香族單(甲基)丙烯酸酯可以包含以下各個(gè)中的至少一個(gè)：(甲基)丙烯酸2-苯基苯氧基乙酯、(甲基)丙烯酸苯氧基乙酯、(甲基)丙烯酸苯酯、(甲基)丙烯酸苯氧酯、(甲基)丙烯酸2-乙基苯氧酯、(甲基)丙烯酸苯甲酯、(甲基)丙烯酸2-苯乙酯、(甲基)丙烯酸3-苯丙酯、(甲基)丙烯酸4-苯丁酯、(甲基)丙烯酸2-(2-甲基苯基)乙酯、(甲基)丙烯酸2-(3-甲基苯基)乙酯、(甲基)丙烯酸2-(4-甲基苯基)乙酯、(甲基)丙烯酸2-(4-丙基苯基)乙酯、(甲基)丙烯酸2-(4-(1-甲基乙基)苯基)乙酯、(甲基)丙烯酸2-(4-甲氧苯基)乙酯、(甲基)丙烯酸2-(4-環(huán)己基苯基)乙酯、(甲基)丙烯酸2-(2-氯苯基)乙酯、(甲基)丙烯酸2-(3-氯苯基)乙酯、(甲基)丙烯酸2-(4-氯苯基)乙酯、(甲基)丙烯酸2-(4-溴苯基)乙酯、(甲基)丙烯酸2-(3-苯基苯基)乙酯、(甲基)丙烯酸4-(聯(lián)苯-2-基氧基)丁酯、(甲基)丙烯酸3-(聯(lián)苯-2-基氧基)丁酯、(甲基)丙烯酸2-(聯(lián)苯-2-基氧基)丁酯、(甲基)丙烯酸1-(聯(lián)苯-2-基氧基)丁酯、(甲基)丙烯酸4-(聯(lián)苯-2-基氧基)丙酯、(甲基)丙烯酸3-(聯(lián)苯-2-基氧基)丙酯、(甲基)丙烯酸2-(聯(lián)苯-2-基氧基)丙酯、(甲基)丙烯酸1-(聯(lián)苯-2-基氧基)丙酯、(甲基)丙烯酸4-(聯(lián)苯-2-基氧基)乙酯、(甲基)丙烯酸3-(聯(lián)苯-2-基氧基)乙酯、(甲基)丙烯酸2-(聯(lián)苯-2-基氧基)乙酯、(甲基)丙烯酸1-(聯(lián)苯-2-基氧基)乙酯、(甲基)丙烯酸2-(4-苯甲基苯基)乙酯、(甲基)丙烯酸1-(4-苯甲基苯基)乙酯以及其結(jié)構(gòu)性異構(gòu)體，但不限于這些。另外，應(yīng)了解本文所述的(甲基)丙烯酸酯僅以舉例的方式提供并且本發(fā)明不限于這些。此外，根據(jù)本發(fā)明的(甲基)丙烯酸酯包含與結(jié)構(gòu)性異構(gòu)體對應(yīng)的所有丙烯酸酯。舉例來說，盡管僅以舉例方式提及(甲基)丙烯酸2-苯乙酯，但根據(jù)本發(fā)明的(甲基)丙烯酸酯包含所有(甲基)丙烯酸3-苯乙酯和(甲基)丙烯酸4-苯酯。

非芳香族單(甲基)丙烯酸酯可以為含有經(jīng)取代或未經(jīng)取代的C₁到C₂₀烷基的單(甲基)丙烯酸酯。具體來說，非芳香族單(甲基)丙烯酸酯可以為含有未經(jīng)取代的直鏈C₁到C₂₀烷基的單(甲基)丙烯酸酯，更具體來說含有未經(jīng)取代的直鏈C₁₀到C₂₀烷基的單(甲基)丙烯酸酯。舉例來說，非芳香族單(甲基)丙烯酸酯可以包含以下各個(gè)中的至少一個(gè)：(甲基)丙烯酸癸酯、(甲基)丙烯酸十一烷酯、(甲基)丙烯酸月桂酯、(甲基)丙烯酸十三烷酯、(甲基)丙烯酸十四烷酯、(甲基)丙烯酸十五烷酯、(甲基)丙烯酸十六烷酯、(甲基)丙烯酸十七烷酯、(甲基)丙烯酸十八烷酯、(甲基)丙烯酸十九烷酯以及(甲基)丙烯酸二十烷酯，但不限于這些。

(C)單(甲基)丙烯酸酯可以按(A)、(B)、(C)以及(D)的總重量計(jì)以5重量％到40重量％的量存在。舉例來說，(C)單(甲基)丙烯酸酯可以按(A)、(B)、(C)以及(D)的總重量計(jì)以5重量％到30重量％的量存在。在這一范圍內(nèi)，包封組成物可以呈現(xiàn)高光固化率。另外，包封組成物可以實(shí)現(xiàn)展現(xiàn)高透光率和低等離子蝕刻率的有機(jī)層。

(D)起始劑

(D)起始劑使得通過固化(A)非硅類二(甲基)丙烯酸酯、(B)硅類二(甲基)丙烯酸酯以及(C)單(甲基)丙烯酸酯形成有機(jī)層，并且可以包含(但不限于)任何典型光聚合起始劑。

(D)起始劑可以包含三嗪、苯乙酮、二苯甲酮、噻噸酮、安息香、磷以及肟起始劑中的至少一個(gè)，但不限于這些。舉例來說，磷起始劑可以包含二苯基(2，4，6-三甲基苯甲?；?氧化膦、苯甲基(二苯基)氧化膦、雙(2，6-二甲氧基苯甲?；?(2，4，4-三甲基苯基)氧化膦以及其混合物。舉例來說，在長波長的紫外光下在根據(jù)本發(fā)明的組成物中磷起始劑可以呈現(xiàn)較好的起始性能。

在包封組成物中，(D)起始劑可以單獨(dú)使用或以組合形式使用。

(D)起始劑可以按(A)、(B)、(C)以及(D)的總重量計(jì)以1重量％到10重量％的量存在。在這一范圍內(nèi)，包封組成物允許在曝露于光下的足夠光聚合。另外，可以降低在光聚合之后剩余的未反應(yīng)起始劑，由此有機(jī)層可以呈現(xiàn)進(jìn)一步改進(jìn)的透光率。具體來說，(D)起始劑可以按(A)、(B)、(C)以及(D)的總重量計(jì)以2重量％、3重量％、4重量％或5重量％的量存在。

包封組成物可以由混合(A)非硅類二(甲基)丙烯酸酯、(B)硅類二(甲基)丙烯酸酯、(C)單(甲基)丙烯酸酯以及(D)起始劑形成。舉例來說，包封組成物可以不含溶劑的無溶劑組成物形式形成。舉例來說，當(dāng)用于包封有機(jī)發(fā)光二極管的組成物為無溶劑組成物時(shí)，重量％是基于(A)非硅類二(甲基)丙烯酸酯、(B)硅類二(甲基)丙烯酸酯、(C)單(甲基)丙烯酸酯以及(D)起始劑的總重量。

包封組成物可以包含10重量％到50重量％的Si。在這一范圍內(nèi)，組成物可以進(jìn)一步降低有機(jī)層的等離子蝕刻率。

包封組成物在25℃±2℃(23℃到27℃)下的粘度可以為0厘泊(cPs)到200厘泊，具體來說100厘泊或小于100厘泊，更具體來說5厘泊到50厘泊、5厘泊到40厘泊、或5厘泊到30厘泊。在這一范圍內(nèi)，包封組成物可以有助于形成有機(jī)層。在這一范圍內(nèi)，有利的是在形成有機(jī)層時(shí)進(jìn)行如沉積和噴墨印刷的方法。

包封組成物為光可固化組成物，并且可以通過100毫瓦/平方厘米(mW/cm²)到500毫瓦/平方厘米的紫外線照射1秒到100秒來固化，但不限于這些。

包封組成物可以更包含熱穩(wěn)定劑。

在下文中，將詳細(xì)地描述根據(jù)本發(fā)明的另一個(gè)實(shí)施例的包封組成物。

根據(jù)本發(fā)明的另一個(gè)實(shí)施例，包封組成物可以包含(A)非硅類二(甲基)丙烯酸酯、(B)硅類二(甲基)丙烯酸酯、(C)單(甲基)丙烯酸酯、(D)起始劑以及(E)熱穩(wěn)定劑，其中(B)硅類二(甲基)丙烯酸酯可以由式1表示，且其中包封組成物可以按(A)、(B)、(C)以及(D)的總重量計(jì)包含：10重量％到70重量％的(A)非硅類二(甲基)丙烯酸酯；20重量％到70重量％的(B)硅類二(甲基)丙烯酸酯；5重量％到40重量％的(C)單(甲基)丙烯酸酯；以及1重量％到10重量％的(D)起始劑。

根據(jù)這一實(shí)施例的包封組成物可以抑制在室溫下的粘度變化。與不包含熱穩(wěn)定劑的包封材料組合物相比，根據(jù)這一實(shí)施例的包封組成物可以呈現(xiàn)較高透光率、較高光固化率以及較低等離子蝕刻率。除了熱穩(wěn)定劑，根據(jù)這一實(shí)施例的包封組成物的組分與根據(jù)以上實(shí)施例的組成物的組分相同。因此，將在下文中僅詳細(xì)地描述熱穩(wěn)定劑。

(E)熱穩(wěn)定劑包含于用于包封的組成物中以抑制室溫下的粘度變化，并且可以包含任何典型熱穩(wěn)定劑。在一些實(shí)施例中，(E)熱穩(wěn)定劑可以為空間位阻酚系熱穩(wěn)定劑。

具體來說，(E)熱穩(wěn)定劑可以包含以下各個(gè)中的至少一個(gè)：季戊四醇-四[3-(3，5-二叔丁基-4-羥苯基)丙酸酯]、硬脂基-3-(3，5-二叔丁基-4-羥苯基)丙酸酯、1，3，5-三(2，6-二甲基-3-羥基-4-叔丁基苯甲基)異氰尿酸酯、1，3，5-三(3，5-二叔丁基-4-羥基苯甲基)異氰尿酸酯、1，3，5-三(2-羥乙基)異氰尿酸酯、季戊四醇-四[3-(3，5-二叔丁基羥苯基)丙酸酯]及三(4-叔丁基-3-羥基-2，6-二甲基芐基)異氰尿酸酯，但不限于這些。

(E)熱穩(wěn)定劑可以按(A)、(B)、(C)以及(D)的總重量計(jì)以2,000ppm或小于2,000ppm，具體來說0.01ppm到2,000ppm，更具體來說100ppm到800ppm，或100ppm到750ppm的量存在。在這一范圍內(nèi)，熱穩(wěn)定劑可以進(jìn)一步改進(jìn)液體狀態(tài)下包封組成物的存儲(chǔ)穩(wěn)定性和可加工性。

在一個(gè)實(shí)施例中，包封組成物可以包含(A)非硅類二(甲基)丙烯酸酯，其包含含C₁到C₂₀亞烷基的二(甲基)丙烯酸酯；(B)由式3到式8中的一個(gè)表示的硅類二(甲基)丙烯酸酯；(C)由式9表示的單(甲基)丙烯酸酯；(D)包括磷起始劑的起始劑；以及(E)熱穩(wěn)定劑。

根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例的包封組成物的總透光率為90％到100％，具體來說93％到100％，例如93.5％、94％、95％、96％、97％、98％或99％，由此提供透明的有機(jī)保護(hù)層?？梢栽?00納米到700納米的波長下使用濁度計(jì)NDH-5000(日本電色工業(yè)株式會(huì)社(Nippon DenshokuCo.，Ltd.))根據(jù)ASTM D1003-955測量總透光率。

根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例的包封組成物沉積在發(fā)光正面上并且需要為透明的而不展現(xiàn)色彩。當(dāng)包封材料展現(xiàn)色彩時(shí)，自顯示器光源發(fā)出并且通過沉積在發(fā)光正面上的包封材料穿透的光提供有偏差的色彩坐標(biāo)，因此導(dǎo)致色彩失真。此外，較低透光度提供更退化的通過正面發(fā)出光的效率，因此導(dǎo)致顯示器看起來不清楚。

盡管圖1中未示出，但有機(jī)發(fā)光二極管顯示器設(shè)備100可以包含用于驅(qū)動(dòng)有機(jī)發(fā)光二極管120的驅(qū)動(dòng)電路。在一些實(shí)施例中，盡管圖1中未示出，但有機(jī)發(fā)光二極管顯示器設(shè)備可以更包含薄膜晶體管(TFT)層和襯底110與有機(jī)發(fā)光二極管120之間的緩沖層。TFT層驅(qū)動(dòng)有機(jī)發(fā)光二極管并且可以包含柵極線、數(shù)據(jù)線、驅(qū)動(dòng)電力線、參比電力線以及電容器。

在一些實(shí)施例中，盡管圖1中未示出，但有機(jī)發(fā)光二極管顯示器設(shè)備可以更包含覆蓋包封層的結(jié)合層和結(jié)合到結(jié)合層以包封有機(jī)發(fā)光二極管的襯底。所述結(jié)合層可以為透明結(jié)合薄膜。結(jié)合層和襯底可以由所屬領(lǐng)域的技術(shù)人員已知的典型材料形成。

接下來，將參看圖2描述根據(jù)本發(fā)明的另一個(gè)實(shí)施例的有機(jī)發(fā)光二極管顯示器設(shè)備。

參看圖2，根據(jù)這一實(shí)施例的有機(jī)發(fā)光二極管顯示器設(shè)備200包含襯底110、有機(jī)發(fā)光二極管120以及包封層130′，所述包封層包封所述有機(jī)發(fā)光二極管120。

在根據(jù)這一實(shí)施例的有機(jī)發(fā)光二極管顯示器設(shè)備200中，包封層130′包含第一無機(jī)層131、第一有機(jī)層132、第二無機(jī)層133、第二有機(jī)層134以及第三無機(jī)層135。在這一實(shí)施例中，形成第二無機(jī)層133以接觸第三無機(jī)層135的至少一部分，并且第二有機(jī)層134安置在第二無機(jī)層133與第三無機(jī)層135之間的區(qū)域內(nèi)。

接下來，將描述制造根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例的有機(jī)發(fā)光二極管顯示器設(shè)備的方法。

制造根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例的有機(jī)發(fā)光二極管顯示器設(shè)備的方法可以包含在襯底上形成有機(jī)發(fā)光二極管，以及形成其中無機(jī)層和有機(jī)層交替形成于有機(jī)發(fā)光二極管上的包封層，其中有機(jī)層可以由本發(fā)明的實(shí)施例的包封組成物形成。

首先，有機(jī)發(fā)光二極管形成于襯底上。具體來說，陰極形成于襯底上；并且發(fā)光層和其它層通過如真空沉積、濺鍍、等離子鍍覆以及離子鍍覆的干式涂布或如旋轉(zhuǎn)涂布、浸漬以及流動(dòng)涂布的濕式涂布形成于其上，之后在其上形成陽極，由此在襯底上形成有機(jī)發(fā)光二極管。

無機(jī)層可以由包括以下各者的任何適合的真空方法形成：濺鍍、蒸發(fā)、升華、CVD、PECVD、ECR-PECVD(electron cyclotron resonance plasma enhanced chemical vapor deposition；電子回旋共振等離子增強(qiáng)式化學(xué)氣相沉積)以及其組合，但不限于這些。有機(jī)層可以由如沉積、旋轉(zhuǎn)涂布、印刷、噴墨印刷以及噴涂的任何方法形成，但不限于這些。

接下來，將參考一些實(shí)例更詳細(xì)描述本發(fā)明。應(yīng)了解，提供這些實(shí)例僅為進(jìn)行說明，并且這些實(shí)例不應(yīng)以任何方式理解為限制本發(fā)明。

制備實(shí)例1

在1000毫升具有冷卻管和攪拌棒的燒瓶中，放入300毫升乙酸乙酯、25克3-苯基-1，1，3，5，5-五甲基三硅氧烷(蓋勒斯特公司(Gelest Inc.))以及43克烯丙醇(大中化工與金屬有限公司(Daejung Chemicals&Materials Co.Ltd))，之后氮?dú)獯祾?0分鐘。接下來，將72ppm鉑/碳黑粉末(奧德里奇有限公司(Aldrich GmbH))添加到混合物中，之后將燒瓶加熱到80℃并且攪拌混合物4小時(shí)。通過蒸餾去除剩余溶劑，由此獲得化合物。依序?qū)?1.5克獲得的化合物和39克三乙胺添加到300毫升二氯甲烷中，之后緩慢添加34.3克丙烯酰氯，同時(shí)在0℃下攪拌混合物。通過蒸餾去除剩余溶劑，由此獲得由式3表示并且通過HPLC確定的純度為97％的單體(分子量：522.85克/摩爾)。(1H NMR：δ7.61，m，3H；δ7.12，m，2H；δ6.25，d，2H；δ6.02，dd，2H；δ5.82，t，1H；δ5.59，d，2H；δ3.87，m，4H；δ1.54，m，4H；δ0.58，m，4H；δ0.02，m，15H)

<式3>

制備實(shí)例2

由式4表示的單體(分子量：584.92克/摩爾)以與制備實(shí)例1中相同的方式制備，但其中改用21克3，3-二苯基-1，1，5，5-四甲基三硅氧烷替代25克3-苯基-1，1，3，5，5-五甲基三硅氧烷并且用30.2克甲基丙烯酰氯替代34.3克丙烯酰氯。由HPLC所確定獲得的單體的純度為96％。(1H NMR：δ7.52，m，6H；δ7.42，m，4H；δ6.25，d，2H；δ6.02，dd，2H；δ5.82，t，1H；δ5.59，d，2H；δ3.86，m，4H；δ1.52，m，4H；δ0.58，m，4H；δ0.04，m，12H)

<式4>

制備實(shí)例3

由式5表示的單體(分子量：646.99克/摩爾)以與制備實(shí)例1相同的方式制備，但其中改用21克3，3-二苯基-1，1，5，5-四甲基三硅氧烷替代25克3-苯基-1，1，3，5，5-五甲基三硅氧烷。由HPLC所確定獲得的單體的純度為94％。(1H NMR：δ7.61，m，6H；δ7.12，m，4H；δ6.25，d，2H；δ6.02，dd，2H；δ5.82，t，2H；δ3.87，m，4H；δ1.54，m，4H；δ0.58，m，4H；δ0.02，m，12H)。

<式5>

實(shí)例和比較例中所用的組分的詳情如下。

(A)非硅類二(甲基)丙烯酸酯：(A1)1，12-十二烷二醇二甲基丙烯酸酯(沙多瑪公司(Sartomer Co.，Ltd.))、(A2)1，10-癸二醇二甲基丙烯酸酯(新中村化學(xué)工業(yè)株式會(huì)社(Shin Nakamura Chemical Co.，Ltd.))。

(B)硅類二(甲基)丙烯酸酯：(B1)制備實(shí)例1的單體、(B2)制備實(shí)例2的單體、(B3)制備實(shí)例3的單體。

(C)單(甲基)丙烯酸酯：(C1)HRI-07(大林化學(xué)有限公司(Daelim Chemical Co.，Ltd.))、(C2)甲基丙烯酸芐酯(梯希愛有限公司(TCI Co.，Ltd.))、(C3)丙烯酸月桂酯(奧德里奇有限公司)。

(D)起始劑：德牢固(Darocur)TPO(巴斯夫有限公司(BASF GmbH))。

(E)熱穩(wěn)定劑：艷佳諾(IRGANOX)1010(巴斯夫有限公司)。

(F)由式10表示的單體(X-22-164，分子量：460.78克/摩爾，信越株式會(huì)社(Shin-Etsu Co.，Ltd.)

<式10>

實(shí)例1

將47.8重量份的(A1)、28.7重量份的(B1)、19.2重量份的(C1)以及4.3重量份的(D)放入125毫升棕色聚丙烯瓶中，之后在室溫下使用振蕩器混合3小時(shí)，由此制備包封組成物(25℃下的粘度：21厘泊)。

實(shí)例2到實(shí)例13和比較例1到比較例4

用于包封材料的組合物以與實(shí)例1相同的方式制備，但其中如表1中所列出改變(A)、(B)、(C)、(D)以及(E)的類別和/或量(單位：重量份)。

比較例5

包封組成物以與實(shí)例1相同的方式制備，但其中改用28.7重量份的(F)單體替代28.7重量份的制備實(shí)例1的(B1)單體。

如表1所列出，對用于實(shí)例和比較例中制備的包封材料的組合物中的每一個(gè)進(jìn)行關(guān)于特性的評估。結(jié)果示于表1和表2中。

表1

表2

如表1中所示，根據(jù)本發(fā)明的包封組成物可以實(shí)現(xiàn)展現(xiàn)高光固化率、高透光率以及低等離子蝕刻率的有機(jī)層。

相反，如表2中所示，包括根據(jù)本發(fā)明的范圍外的量的(A)、(B)和(C)的比較例1的包封組成物具有等離子蝕刻率高的問題。另外，不包含(B)和(C)中的任一個(gè)的比較例2到比較例4的包封組成物還具有等離子蝕刻率高的問題。此外，包括不含芳基的硅類二(甲基)丙烯酸酯的比較例5的包封組成物還具有等離子蝕刻率高的問題。

因此，用于根據(jù)本發(fā)明的有機(jī)發(fā)光二極管顯示器設(shè)備中的包封組成物展現(xiàn)高等離子抗性，并且因此提供與比較例相比較好的防止由外部因素所致的損傷的作用，由此確保根據(jù)本發(fā)明的有機(jī)發(fā)光二極管顯示器設(shè)備的優(yōu)良耐久性。

<特性的評估>

(1)光固化率：關(guān)于在1635cm^-1(C＝C)和1720cm^-1(C＝O)附近的吸收峰的強(qiáng)度，使用FT-IR(尼科勒特(NICOLET)4700，熱電有限公司(Thermo Co.，Ltd.))對包封組成物進(jìn)行測量。使用噴霧器將組成物涂布到玻璃襯底，之后通過以100毫瓦/平方厘米UV照射10秒進(jìn)行UV固化，由此獲得大小為20cm×20cm×3μm(寬度×長度×厚度)的樣本。接著，將經(jīng)固化的膜等分并且在1635cm^-1(C＝C)和17cm^-1(C＝O)附近使用FT-IR(尼科勒特4700，熱電有限公司)測量經(jīng)固化的膜的吸收峰的強(qiáng)度。通過等式1計(jì)算光固化率：

光固化率(％)＝|1-(A/B)|×100

(其中A為經(jīng)固化的膜的1635cm^-1附近的吸收峰強(qiáng)度與1720cm^-1附近的吸收峰強(qiáng)度的比率；并且B為包封組成物的1635cm^-1附近的吸收峰強(qiáng)度與1720cm^-1附近的吸收峰強(qiáng)度的比率)。

(2)透光率：包封組成物經(jīng)歷N₂下的UV固化以形成10微米厚的薄膜。接下來，使用拉姆達(dá)950(Lambda950)(珀金埃爾默有限公司(Perkin ElmerCo.，Ltd.))量測550納米可見光范圍中薄膜的透光率。

(3)等離子蝕刻率：將包封組成物涂布到預(yù)定厚度并且進(jìn)行光固化以形成有機(jī)層，之后測量有機(jī)層的初始涂層高度(T1，1微米到10微米)。在以下條件下使有機(jī)層經(jīng)歷等離子處理：ICP功率：2500瓦、RF功率：300瓦、直流偏壓：200伏、Ar流量：50sccm、蝕刻時(shí)間：1分鐘以及壓力：10毫托，之后測量有機(jī)層的高度(T2，單位：微米)。通過方程式2計(jì)算有機(jī)層的等離子蝕刻率：

歸因于等離子的有機(jī)層的蝕刻率(％)＝(T1-T2)/T1×100

應(yīng)了解，所屬領(lǐng)域的技術(shù)人員可以進(jìn)行各種修改、變化、更改以及等效實(shí)施例，而不脫離本發(fā)明的精神和范圍。