技術(shù)特征：

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明提供一種雙向瞬態(tài)電壓抑制二極管及其制作方法，制作方法至少包括以下步驟：1）提供一第一摻雜類型的襯底，所述第一摻雜類型的襯底包括第一表面及第二表面；2）在所述第一摻雜類型的襯底的第一表面形成第一摻雜類型的第一外延層；3）在所述第一摻雜類型的第一外延層的表面形成第二摻雜類型的外延層；4）在所述第二摻雜類型的外延層的表面形成第一摻雜類型的第二外延層；5）在所述第一摻雜類型的第二外延層的表面形成第一電極；6）在所述第一摻雜類型的襯底的第二表面形成第二電極。本發(fā)明僅對(duì)第一摻雜類型的襯底正面進(jìn)行加工，制作工藝簡單；同時(shí)，根據(jù)二極管的耐壓等級(jí)，可以選擇各外延層的外延和注入次數(shù)，獲得均勻的濃度分布。

技術(shù)研發(fā)人員：吳多武
受保護(hù)的技術(shù)使用者：中航（重慶）微電子有限公司
技術(shù)研發(fā)日：2016.05.06
技術(shù)公布日：2017.11.14