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芯片封裝的制作方法

文檔序號:12613101閱讀:來源:國知局

技術(shù)特征:

1.一種嵌入式芯片封裝,其包括芯片,所述芯片具有在鈍化層中的芯片接觸焊盤,所述芯片接觸焊盤通過粘附/阻擋層連接至特征層的第一面,從所述特征層的第二面延伸出通孔柱層,所述芯片、特征層和通孔柱層被介電材料包封。

2.如權(quán)利要求1所述的嵌入式芯片封裝,其中所述芯片接觸焊盤包括鋁。

3.如權(quán)利要求1所述的嵌入式芯片封裝,其中所述鈍化層包括聚酰亞胺或SiN。

4.如權(quán)利要求1所述的嵌入式芯片封裝,其中所述粘附/阻擋層選自Ti/Cu、Ti/W/Cu、Ti/Ta/Cu、Cr/Cu和Ni/Cr。

5.如權(quán)利要求4所述的嵌入式芯片封裝,其中所述粘附/阻擋層的厚度范圍為0.05~1微米。

6.如權(quán)利要求1所述的嵌入式芯片封裝,其中所述特征層包括銅。

7.如權(quán)利要求6所述的嵌入式芯片封裝,其中所述特征層的厚度范圍為1~25微米。

8.如權(quán)利要求6所述的嵌入式芯片封裝,其中所述通孔柱層的高度范圍為15~50微米。

9.如權(quán)利要求1所述的嵌入式芯片封裝,其中所述特征層具有扇出形式。

10.如權(quán)利要求1所述的嵌入式芯片封裝,其中所述特征層具有扇入形式。

11.如權(quán)利要求1所述的嵌入式芯片封裝,其中所述芯片和所述通孔柱層嵌入在不同的聚合物介電材料中。

12.如權(quán)利要求1所述的嵌入式芯片封裝,其中所述通孔柱層包括焊盤柵格陣列,所述焊盤柵格陣列用作連接所述芯片與基板的觸點。

13.如權(quán)利要求12所述的嵌入式芯片封裝,其中所述基板是印刷電路板。

14.如權(quán)利要求12所述的嵌入式芯片封裝,其中所述基板是用于制造封裝上封裝的封裝。

15.如權(quán)利要求12所述的嵌入式芯片封裝,其中所述焊盤柵格陣列延伸超出介電材料至多10微米或者與所述介電材料齊平,從而提供LGA焊盤。

16.如權(quán)利要求15所述的嵌入式芯片封裝,其中所述焊盤柵格陣列采用選自電解Ni/Au、ENIG或ENEIG的端子進行端子化。

17.如權(quán)利要求12所述的嵌入式芯片封裝,其中所述焊盤柵格陣列凹陷低于所述介電材料至多10微米或者與所述介電材料齊平,從而提供BGA焊盤。

18.如權(quán)利要求17所述的嵌入式芯片封裝,其中所述焊盤柵格陣列采用有機保焊劑OSP進行端子化。

19.一種制造嵌入式芯片封裝的方法,包括:

·獲得由聚合物框架包圍的芯片插座柵格;

·將所述芯片插座柵格放置在膠帶上;

·將芯片面朝下(倒裝芯片)放入所述芯片插座柵格的插座中;

·在所述芯片和芯片插座柵格上層壓介電材料;

·在所述介電材料上施加載體;

·沉積粘附/阻擋層,所述粘附/阻擋層包括選自鈦、鉭、鎢、鉻和/或鎳中的至少其一,隨后在新暴露的表面上沉積銅種子層;

·施加第一光刻膠層,并顯影出具有特征層的圖案;

·在所述具有特征層的圖案中電鍍銅,形成銅特征結(jié)構(gòu);

·剝除所述第一光刻膠層;

·施加第二光刻膠層,并將其圖案化形成通孔柱圖案;

·在所述通孔柱圖案中電鍍銅以形成通孔柱;

·剝除所述第二光刻膠層;

·蝕刻掉所述粘附/阻擋層和所述銅種子層的暴露部分;

·施加介電材料阻擋層以覆蓋所述銅特征結(jié)構(gòu)、通孔柱和芯片的底面;

·移除載體;

·在芯片陣列的背面上層壓黑色介電材料薄層;

·減薄所述介電材料阻擋層以暴露出銅通孔柱;

·施加端子;和

·將所述柵格切割成單獨的封裝芯片。

20.如權(quán)利要求19所述的方法,還包括激光標(biāo)記所述黑色介電材料的附加步驟。

21.如權(quán)利要求19所述的方法,其中芯片陣列被定位在每個插座內(nèi)。

22.如權(quán)利要求19所述的方法,其中其上具有芯片陣列的晶片被定位在每個插座內(nèi)。

23.如權(quán)利要求19所述的方法,其中所述通孔柱包括觸點柵格陣列LGA,其 特征在于以下限制條件中的至少其一:

·正方形或長方形的形狀;

·外表面鍍有最終金屬鍍層,包括化學(xué)鍍鎳/化學(xué)鍍鈀/浸金(ENEPIG)或化學(xué)鍍鎳/浸金(ENIG)或電解鎳和金(Ni/Au)的端子化技術(shù),以及

·任選從周圍介電材料突起至多10微米。

24.如權(quán)利要求19所述的方法,其中所述銅通孔柱包括球柵陣列BGA,其特征在于以下限制條件中的至少其一:

·相對于周圍介電材料凹陷至多10微米;

·具有圓形端部的圓柱形狀,以易于被焊料潤濕;和

·涂有有機保焊劑OSP。

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